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公開番号2025163833
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024067389
出願日2024-04-18
発明の名称ウェーハの加工方法及び切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251023BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工品質の悪化を抑制することができること。
【解決手段】ウェーハの加工方法は、切削ブレード21でウェーハ200の外周に沿ってウェーハ200を環状に切削するウェーハの加工方法であって、ウェーハ200に切削液26を供給しつつウェーハ200の外周に沿って切削ブレード21でウェーハ200を環状に切削するとともにウェーハ200の半径方向で切削ブレード21の位置を変化させてウェーハ200を切削し、切削ブレード21がウェーハ200の外周縁206に重なる位置を切削する間の切削液26の供給量は、切削ブレード21がウェーハ200の外周縁206に重ならない位置を切削する間の切削液26の供給量よりも少量に設定される。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
切削ブレードでウェーハの外周に沿ってウェーハを環状に切削するウェーハの加工方法であって、
ウェーハに切削液を供給しつつウェーハの外周に沿って該切削ブレードでウェーハを環状に切削するとともにウェーハの半径方向で該切削ブレードの位置を変化させてウェーハを切削し、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間の該切削液の供給量は、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間の該切削液の供給量よりも少量に設定される、ウェーハの加工方法。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
該切削液は、該切削ブレードの厚み方向の両側にそれぞれ配設された一対のノズルから該切削ブレードに向かって噴射されることで該切削ブレードを介してウェーハに供給され、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間は、該一対のノズルのうちウェーハ中心側のノズルからのみ該切削液を噴射し、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間は、該一対のノズルの両方から該切削液を噴射する、請求項１に記載のウェーハの加工方法。
【請求項３】
ウェーハは、第１面と該第１面の背面の第２面とを有し、外周に面取り部が形成されることで該第１面と該第２面の直径はウェーハの最大外径よりも小さく設定され、
ウェーハは該第１面または該第２面に対応した吸着領域を有した吸着テーブルで該第１面側または該第２面側が吸着された状態で該切削ブレードで切削される、請求項１または２に記載のウェーハの加工方法。
【請求項４】
ウェーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持されたウェーハの外周に沿ってウェーハを環状に切削する切削ブレードと、
該切削ブレードで切削されるウェーハに切削液を供給する切削液供給ノズルと、を備え、
該切削液供給ノズルからウェーハに切削液を供給しつつ該切削ブレードでウェーハの外周に沿って該保持テーブルで保持されたウェーハを環状に切削するとともにウェーハの半径方向で該切削ブレードの位置を変化させてウェーハを切削し、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間の該切削液の供給量が、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間の該切削液の供給量よりも少量に設定される、切削装置。
【請求項５】
該切削液供給ノズルは、該切削ブレードの厚み方向の両側にそれぞれ配設された第１ノズルと第２ノズルとを含み、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間は、該第１ノズルと該第２ノズルのうちウェーハ中心側のノズルからのみ該切削液が供給され、
該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間は、該第１ノズルと該第２ノズルの両方から該切削液が供給される、請求項４に記載の切削装置。
【請求項６】
ウェーハは、第１面と該第１面の背面の第２面とを有し、外周に面取り部が形成されることで該第１面と該第２面の直径はウェーハの外径よりも小さく設定され、
該保持テーブルは、ウェーハの該第１面または該第２面に対応した吸着領域を有する、請求項４または請求項５に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードでウェーハの外周縁に沿ってウェーハを環状に切削するウェーハの加工方法及び切削装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハに所謂エッジトリミング加工を施す際にはウェーハへの切削屑の付着を防止するとともに切削で発生する加工熱を冷却するためにウェーハに切削液を供給している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１等に示された従来の加工方法は、ウェーハの外周縁からウェーハの中心側に向かった所定幅の環状領域を除去したい場合、切削ブレードの位置をウェーハの半径方向で変えて複数回環状に切削する、もしくは切削ブレードで渦巻き状に切削することを行なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－２２５６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１等に示された従来の加工方法は、切削ブレードがウェーハの最外周を切削する際には、切削液がウェーハの下面側に回り込み易く、ウェーハの下面側に切削液が回り込むと切削中にウェーハがばたついて加工品質が悪化するおそれもあるため、改善が切望されている。
【０００６】
本発明の目的は、加工品質の悪化を抑制することができるウェーハの加工方法及び切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウェーハの加工方法は、切削ブレードでウェーハの外周に沿ってウェーハを環状に切削するウェーハの加工方法であって、ウェーハに切削液を供給しつつウェーハの外周に沿って該切削ブレードでウェーハを環状に切削するとともにウェーハの半径方向で該切削ブレードの位置を変化させてウェーハを切削し、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間の該切削液の供給量は、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間の該切削液の供給量よりも少量に設定されることを特徴とする。
【０００８】
前記ウェーハの加工方法において、該切削液は、該切削ブレードの厚み方向の両側にそれぞれ配設された一対のノズルから該切削ブレードに向かって噴射されることで該切削ブレードを介してウェーハに供給され、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間は、該一対のノズルのうちウェーハ中心側のノズルからのみ該切削液を噴射し、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間は、該一対のノズルの両方から該切削液を噴射しても良い。
【０００９】
前記ウェーハの加工方法において、ウェーハは、第１面と該第１面の背面の第２面とを有し、外周に面取り部が形成されることで該第１面と該第２面の直径はウェーハの最大外径よりも小さく設定され、ウェーハは該第１面または該第２面に対応した吸着領域を有した吸着テーブルで該第１面側または該第２面側が吸着された状態で該切削ブレードで切削されても良い。
【００１０】
本発明の切削装置は、ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持されたウェーハの外周に沿ってウェーハを環状に切削する切削ブレードと、該切削ブレードで切削されるウェーハに切削液を供給する切削液供給ノズルと、を備え、該切削液供給ノズルからウェーハに切削液を供給しつつ該切削ブレードでウェーハの外周に沿って該保持テーブルで保持されたウェーハを環状に切削するとともにウェーハの半径方向で該切削ブレードの位置を変化させてウェーハを切削し、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重なる位置を切削する間の該切削液の供給量が、該切削ブレードがウェーハの外周縁に重ならない位置を切削する間の該切削液の供給量よりも少量に設定されることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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