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公開番号2025177612
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024084614
出願日2024-05-24
発明の名称処理装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/02 20060101AFI20251128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理終了時間による被加工物の汚染や環境への影響を防止できる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置1は、被加工物100を処理する処理ユニット10と、処理ユニット10を駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニット20と、被加工物100を処理する処理条件を入力する入力部35を有する表示画面30と、入力部35によって入力された処理条件を記憶する記憶部40と、処理装置1の各構成要素を制御する制御ユニット50と、を少なくとも備え、処理ユニット10による被加工物100の処理を開始する処理開始時間を入力部35により入力して記憶部40に記憶し、制御ユニット50は、処理開始時間になったら、電力ユニット20により処理ユニット10に駆動電力を供給して被加工物100の処理を開始することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、
該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、
被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、
該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、
を少なくとも備え、
該処理ユニットによる該被加工物の処理を開始する処理開始時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、
該制御ユニットは、該処理開始時間になったら、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該被加工物の処理を開始する、
ことを特徴とする処理装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、
該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、
被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、
該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、
を少なくとも備え、
該処理ユニットによる該被加工物の処理を終了する処理終了時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、
該記憶部は、該記憶部に記憶された該処理条件から処理時間を算出して、該処理終了時間から処理時間を差し引いた時間を処理開始時間として記憶し、
該制御ユニットは、該処理開始時間になったら、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該被加工物の処理を開始する、
ことを特徴とする処理装置。
【請求項３】
被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、
該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、
被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、
該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、
を少なくとも備え、
記憶部に、予め該処理ユニットのアイドリング時間を記憶し、
該処理ユニットによる該被加工物の処理を開始する処理開始時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、
該制御ユニットが、該処理開始時間に該アイドリング時間を差し引いた時間であるアイドリング開始時間に、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該処理ユニットのアイドリング運転を開始し、該処理開始時間になったら、アイドリング運転を終了して、該処理ユニットにより該被加工物の処理を開始する、
ことを特徴とする処理装置。
【請求項４】
被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、
該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、
被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、
該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、
該処理装置を制御する制御ユニットと、
を少なくとも備え、
記憶部に、予め該処理ユニットのアイドリング時間を記憶し、
該処理ユニットによる該被加工物の処理を終了する処理終了時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、
該記憶部は、該記憶部に記憶された該処理条件から処理時間を算出して、該処理終了時間から処理時間を差し引いた時間を処理開始時間として記憶し、
該制御ユニットが、該処理開始時間に該アイドリング時間を差し引いた時間であるアイドリング開始時間に、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該処理ユニットのアイドリング運転を開始し、該処理開始時間になったら、アイドリング運転を終了して、該処理ユニットにより該被加工物の処理を開始する、
ことを特徴とする処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたシリコンウェーハ（被加工物）は、研削装置等により裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置等によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。このように、被加工物の個々のデバイスへの分割には、研削装置や切削装置等の被加工物を処理する処理装置が使用される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－０２６４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、被加工物によっては、処理装置による処理時間が長くかかる場合がある。このため、処理が終了する処理終了時間によっては、作業者が不在となる場合がある。そうすると、被加工物が処理された後も、処理装置内にそのまま放置されてしまう。そのまま放置されると、被加工物の表面に埃などの異物が付着してしまい被加工物が汚染されてしまうという問題があった。また、処理が終了しても処理装置の電源が入ったままだと、電気の使用量が増加してしまい、環境への影響もあった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理終了時間による被加工物の汚染や環境への影響を防止できる処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理装置は、被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を少なくとも備え、該処理ユニットによる該被加工物の処理を開始する処理開始時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、該制御ユニットは、該処理開始時間になったら、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該被加工物の処理を開始する、ことを特徴とする。
【０００７】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理装置は、被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を少なくとも備え、該処理ユニットによる該被加工物の処理を終了する処理終了時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、該記憶部は、該記憶部に記憶された該処理条件から処理時間を算出して、該処理終了時間から処理時間を差し引いた時間を処理開始時間として記憶し、該制御ユニットは、該処理開始時間になったら、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該被加工物の処理を開始する、ことを特徴とする。
【０００８】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理装置は、被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を少なくとも備え、記憶部に、予め該処理ユニットのアイドリング時間を記憶し、該処理ユニットによる該被加工物の処理を開始する処理開始時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、該制御ユニットが、該処理開始時間に該アイドリング時間を差し引いた時間であるアイドリング開始時間に、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該処理ユニットのアイドリング運転を開始し、該処理開始時間になったら、アイドリング運転を終了して、該処理ユニットにより該被加工物の処理を開始する、ことを特徴とする。
【０００９】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理装置は、被加工物を処理する処理ユニットを備えた処理装置であって、該処理ユニットを駆動させるための駆動電力を供給する電力ユニットと、被加工物を処理する処理条件を入力する入力部を有する表示画面と、該入力部によって入力された該処理条件を記憶する記憶部と、該処理装置を制御する制御ユニットと、を少なくとも備え、記憶部に、予め該処理ユニットのアイドリング時間を記憶し、該処理ユニットによる該被加工物の処理を終了する処理終了時間を該入力部により入力して該記憶部に記憶し、該記憶部は、該記憶部に記憶された該処理条件から処理時間を算出して、該処理終了時間から処理時間を差し引いた時間を処理開始時間として記憶し、該制御ユニットが、該処理開始時間に該アイドリング時間を差し引いた時間であるアイドリング開始時間に、該電力ユニットにより該処理ユニットに該駆動電力を供給して該処理ユニットのアイドリング運転を開始し、該処理開始時間になったら、アイドリング運転を終了して、該処理ユニットにより該被加工物の処理を開始する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、処理ユニットによる被加工物の処理を開始する処理開始時間を入力部により入力して記憶部に記憶し、処理開始時間になったら、電力ユニットにより処理ユニットに駆動電力を供給して被加工物の処理を開始する。このため、本願発明は、作業者が居る時間内に処理終了時間を設定でき、これにより、被加工物が処理された後に処理装置内にそのまま放置されてしまう恐れを防止できるので、処理終了時間による被加工物の汚染や、処理装置に駆動電力が供給され続けてしまうことによる環境への影響を防止できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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