特許ウォッチ

公開番号2025136385
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024034911
出願日2024-03-07
発明の名称押圧試験装置の評価方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 3/62 20060101AFI20250911BHJP(測定;試験)
要約【課題】試験片の強度を測定する押圧試験装置が正常に動作するかどうかを評価する押圧試験装置の評価方法において、作業者が検査用板状物を載置する煩わしさを回避し、圧子が硬質な検査用板状物を押圧することを回避しつつ、ロードセルの直線性を評価できる押圧試験装置の評価方法を提供すること。
【解決手段】押圧試験装置の評価方法は、押圧試験装置を準備する準備ステップ1001と、支持ユニットで試験片を支持していない状態で、移動ユニットによって圧子ユニットを支持ユニット側に等速で近接移動させる移動ステップ1002と、圧子ユニットの基台が支持ユニットに接触して圧子ユニットが押圧する荷重をロードセルで計測する計測ステップ1003と、計測ステップ1003で取得した荷重をもとに押圧試験装置の状態を評価する評価ステップ1004と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
互いに間隔を有して平行に伸張し試験片の下面を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、該支持ユニットより上方且つ該一対の支持部の間に配置され、基台と該基台の略中央から立設して該支持ユニットで支持された該試験片を押圧する圧子とで構成された圧子ユニットと、該支持ユニットで支持された該試験片に対して該圧子ユニットを相対的に近接移動させる移動ユニットと、該圧子ユニットの該圧子が該支持ユニットで支持された該試験片を押圧する荷重を計測するロードセルと、を備えた押圧試験装置を準備する準備ステップと、
該支持ユニットで該試験片を支持していない状態で、該移動ユニットによって該圧子ユニットを該支持ユニット側に等速で近接移動させる移動ステップと、
該圧子ユニットの該基台が該支持ユニットに接触して該圧子ユニットが押圧する荷重を該ロードセルで計測する計測ステップと、
該計測ステップで取得した荷重をもとに該押圧試験装置の状態を評価する評価ステップと、
を備える押圧試験装置の評価方法。
続きを表示（約 110 文字）【請求項２】
該計測ステップは、該圧子ユニットの該基台が該支持ユニットの該一対の支持部の上面に接触して該圧子ユニットが押圧する荷重を該ロードセルで計測することを特徴とする請求項１に記載の押圧試験装置の評価方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験片の強度を測定する押圧試験装置の評価方法に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを切り出したチップを試験片として、この試験片（チップ）の強度（抗折強度、曲げ強度）を測定する手法として、一般的にはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格Ｇ８６－０３０３で規定される３点曲げが広く利用されており、例えば、ＪＩＣ値と称される破壊靭性値を正確に測定するための押圧試験装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。このような押圧試験装置では、圧子が試験片を押圧する荷重を計測するロードセルが搭載されていて、圧子によって試験片が押圧されて試験片が破壊するまでの荷重を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－０１７０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、実際の押圧試験を実施する前に、押圧試験装置が正常に動作するかどうかを評価することがある。例えば、ロードセルの直線性（リニアリティ）が所定の閾値内に入っているかどうかの評価が挙げられるが、この評価を行う際は、支持ユニットの支持部の上に、硬質であり圧子によって押圧されても曲がらない検査用板状物を載置し、この検査用板状物を圧子が押圧する荷重変化を取得してロードセルの直線性を評価する。しかし、この評価方法では、作業者が検査用板状物を載置する煩わしさや、硬質な検査用板状物を押圧することで圧子の先端に傷や欠けを生じさせるリスクがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、試験片の強度を測定する押圧試験装置が正常に動作するかどうかを評価する押圧試験装置の評価方法において、作業者が検査用板状物を載置する煩わしさを回避し、圧子が硬質な検査用板状物を押圧することを回避しつつ、ロードセルの直線性を評価できる押圧試験装置の評価方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の押圧試験装置の評価方法は、互いに間隔を有して平行に伸張し試験片の下面を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、該支持ユニットより上方且つ該一対の支持部の間に配置され、基台と該基台の略中央から立設して該支持ユニットで支持された該試験片を押圧する圧子とで構成された圧子ユニットと、該支持ユニットで支持された該試験片に対して該圧子ユニットを相対的に近接移動させる移動ユニットと、該圧子ユニットの該圧子が該支持ユニットで支持された該試験片を押圧する荷重を計測するロードセルと、を備えた押圧試験装置を準備する準備ステップと、該支持ユニットで該試験片を支持していない状態で、該移動ユニットによって該圧子ユニットを該支持ユニット側に等速で近接移動させる移動ステップと、該圧子ユニットの該基台が該支持ユニットに接触して該圧子ユニットが押圧する荷重を該ロードセルで計測する計測ステップと、該計測ステップで取得した荷重をもとに該押圧試験装置の状態を評価する評価ステップと、を備えるものである。
【０００７】
該計測ステップは、該圧子ユニットの該基台が該支持ユニットの該一対の支持部の上面に接触して該圧子ユニットが押圧する荷重を該ロードセルで計測してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、支持ユニットで試験片を支持していない状態で、移動ユニットによって圧子ユニットを支持ユニット側に等速で近接移動させて、圧子ユニットの基台が支持ユニットに接触して、圧子ユニットが押圧する荷重をロードセルで計測して、この取得した荷重に基づいて、押圧試験装置の状態（ロードセルの直線性（リニアリティ）の状態）を評価するので、作業者が検査用板状物を載置する煩わしさを回避し、圧子が硬質な検査用板状物を押圧することを回避しつつ、ロードセルの直線性（リニアリティ）を評価できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法の処理手順を示すフローチャートである。
図２は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法を実施する押圧試験装置の試験対象である試験片の斜視図である。
図３は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法を実施する押圧試験装置の構成例を示す斜視図である。
図４は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法を実施する押圧試験装置の支持ユニットを示す斜視図である。
図５は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法を実施する押圧試験装置の一部の構成を示す斜視図である。
図６は、実施形態１に係る押圧試験装置の評価方法を実施する押圧試験装置の一部の構成を示す断面図である。
図７は、図１の計測ステップを説明する断面図である。
図８は、図１の評価ステップを説明するグラフである。
図９は、実施形態２に係る押圧試験装置の評価方法の計測ステップを説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許