特許ウォッチ

公開番号2025133285
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-11
出願番号2024031142
出願日2024-03-01
発明の名称ウェーハの製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 7/00 20060101AFI20250904BHJP(研削;研磨)
要約【課題】一方の面と他方の面で研削量の比率を適切に設定することによって、反りのない均一な厚みのウェーハを得ることができるウェーハの製造方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハWの製造方法は、仕上げ前ウェーハWの第1面W1の研削量Δt1と第2面の研削量Δt2との比率を設定する比率設定工程と、ウェーハWの厚みtから予め設定した研削後の仕上げ厚みt0を差し引いた総研削量(t-t0)と比率設定工程で設定した比率に基づいて、ウェーハWの第1面W1の第1研削量Δt1と第2面W2の第2研削量Δt2を算出する研削量算出工程と、チャックテーブルに保持されたウェーハWの第1面W1を第1研削量Δt1だけ研削する第1研削工程と、ウェーハWの第1研削工程で研削された第1面W1をチャックテーブルに保持し、該ウェーハWの第2面W2を第2研削量Δt2だけ研削する第2研削工程と、を経て所定厚みのウェーハWを製造する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
両面を研削して所定厚みのウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
仕上げ前ウェーハの一方の面の研削量と他方の面の研削量との比率を設定する比率設定工程と、
前記仕上げ前ウェーハの厚みから予め設定した研削後の仕上げ厚みを差し引いた総研削量と前記比率設定工程で設定した比率に基づいて、前記仕上げ前ウェーハの一方の面の第１研削量と他方の面の第２研削量を算出する研削量算出工程と、
チャックテーブルに保持された前記仕上げ前ウェーハの一方の面を前記第１研削量だけ研削する第１研削工程と、
前記仕上げ前ウェーハの前記第１研削工程で研削された一方の面を前記チャックテーブルに保持し、該仕上げ前ウェーハの他方の面を前記第２研削量だけ研削する第２研削工程と、
を経て所定厚みのウェーハを製造することを特徴とするウェーハの製造方法。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記研削量算出工程の前に、前記仕上げ前ウェーハの厚みを厚み測定器によって測定する厚み測定工程を実施することを特徴とする請求項１記載のウェーハの製造方法。
【請求項３】
少なくとも前記第１研削工程の前に、前記仕上げ前ウェーハの他方の面全面に液状樹脂を拡張させて硬化させることによって保護部材を形成する保護部材形成工程を実施するとともに、
前記第１研削工程の後で、且つ、前記第２研削工程の前に、前記保護部材を除去する保護部材除去工程を実施し、
前記第１研削工程においては、前記仕上げ前ウェーハを前記チャックテーブルに前記保護部材を介して保持させて該仕上げ前ウェーハの一方の面を研削することを特徴とする請求項１記載のウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットからスライスされたスライスウェーハ（仕上げ前ウェーハ）を研削して所定厚みのウェーハを製造するウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
インゴットをスライスして得られるスライスウェーハは、反りとうねりを有している。この反りとうねりを除去するため、スライスウェーハの一方の面に紫外線硬化性樹脂などの保護部材を形成してその面を平坦化し、この保護部材の平坦な表面をチャックテーブルの保持面で保持した状態でスライスウェーハの他方の面を研削して該他方の面を平坦化した後、該スライスウェーハから保護部材を剥離させて除去し、平坦な他方の面をチャックテーブルの保持面で保持した状態で該スライスウェーハの一方の面を研削して平坦な面とする加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、上記加工方法によってスライスウェーハの両面を研削する場合、両面の研削量が異なっていると、研削後のスライスウェーハの外周部分が反った形状になる可能性があるため、特許文献２には、スライスウェーハの両面を同量ずつ研削する提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－０５８９２５号公報
特開２０２４－０１１０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、実際には、スライスウェーハは、インゴットによって一方の面の粗さと他方の面の粗さが異なる場合があり、このような場合にスライスウェーハの両面を同量ずつ研削すると、該スライスウェーハに反りが発生して均一な厚みのウェーハを製造することができないという問題がある。
【０００６】
また、一方の面と他方の面で結晶方位が異なるＳｉＣ（炭化ケイ素）ウェーハなどの研削においては、一方の面と他方の面で研削条件が異なるため、研削量も一方の面と他方の面で異なる。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、一方の面と他方の面で研削量の比率を適切に設定することによって、反りのない均一な厚みのウェーハを得ることができるウェーハの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、両面を研削して所定厚みのウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、仕上げ前ウェーハの一方の面の研削量と他方の面の研削量との比率を設定する比率設定工程と、前記仕上げ前ウェーハの厚みから予め設定した研削後の仕上げ厚みを差し引いた総研削量と前記比率設定工程で設定した比率に基づいて、前記仕上げ前ウェーハの一方の面の第１研削量と他方の面の第２研削量を算出する研削量算出工程と、チャックテーブルに保持された前記仕上げ前ウェーハの一方の面を前記第１研削量だけ研削する第１研削工程と、前記仕上げ前ウェーハの前記第１研削工程で研削された一方の面を前記チャックテーブルに保持し、該仕上げ前ウェーハの他方の面を前記第２研削量だけ研削する第２研削工程と、を経て所定厚みのウェーハを製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ウェーハの一方の面と他方の面とで研削量の比率を異なる値、具体的には、インゴットによる両面の粗さや結晶方位の違いに応じて研削量の比率を設定したため、両面の粗さや結晶方位の違いによっても、反りのない均一な厚みのウェーハを製造することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係るウェーハの製造方法を実施するための研削装置の斜視図である。
図１に示す研削装置に設けられた剥離装置の斜視図である。
本発明に係るウェーハの製造方法の各工程を示すブロック図である。
（ａ）～（ｃ）は本発明のウェーハの製造方法における保護部材形成工程をその順に示す縦断面図である。
本発明に係るウェーハの製造方法における厚み測定工程を示す縦断面図である。
本発明に係るウェーハの製造方法における研削量算出工程を示す仕上げ前ウェーハの縦断面図である。
本発明に係るウェーハの製造方法における第１研削工程を示す縦断面図である。
本発明に係るウェーハの製造方法における保護部材除去工程を示す縦断面図である。
本発明に係るウェーハの製造方法における第２研削工程を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許