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公開番号2025133469
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-11
出願番号2024031442
出願日2024-03-01
発明の名称切削ブレードのドレス方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人航栄事務所
主分類B24B 53/00 20060101AFI20250904BHJP(研削;研磨)
要約【課題】効率よく適度に丸まった円弧状の先端形状となるドレス方法を提供する。
【解決手段】スピンドル22の先端に固定された切削ブレード21のドレス方法であって、保持ステップS10、第1ドレスステップS12、第2ドレスステップS13、を備える。第1ドレスステップS12は、第1高さ位置H1に切削ブレード21を位置付けて、切削ブレード21を回転させながらスピンドル22の軸心方向に相対的に移動させて、ドレスボード90が切削ブレード21の第1側面21a側から接触するように切削ブレード21の先端をドレスする。第2ドレスステップS13は、切削ブレード21を第1高さ位置H1に位置付けた状態で、切削ブレード21を回転させながら切削ブレード21とドレスボード90を軸心方向に相対的に移動させて、ドレスボード90が切削ブレード21の第2側面21b側から接触するように切削ブレード21の先端をドレスする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
スピンドルの先端に固定された切削ブレードのドレス方法であって、
保持テーブルでドレスボードを保持する保持ステップと、
前記切削ブレードを前記ドレスボードに所定距離だけ切り込む第１高さ位置に前記切削ブレードを位置付けて、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記スピンドルの軸心が沿う方向である軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの一方の側面である第１側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第１ドレスステップと、
前記第１ドレスステップの後で、前記切削ブレードを前記第１高さ位置に位置付けた状態で、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第１側面と反対側の他方の側面である第２側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第２ドレスステップと、を備える、
ドレス方法。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
請求項１に記載のドレス方法であって、
前記第２ドレスステップの後で、前記切削ブレードを前記第１高さ位置よりも低い第２高さ位置に位置付けて、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第２側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第３ドレスステップと、
前記第３ドレスステップの後で、前記切削ブレードを前記第２高さ位置に位置付けた状態で、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第１側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第４ドレスステップと、を備える、
ドレス方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のドレス方法であって、
前記ドレスボードは、矩形状であり、
前記第１ドレスステップは、前記ドレスボードの一端側の前記ドレスボードの外側に前記切削ブレードを位置付けて、前記ドレスボードの一端側から前記ドレスボードの他端側に向かって前記切削ブレードの先端をドレスし、
前記第２ドレスステップは、前記ドレスボードの他端側の前記ドレスボードの外側に前記切削ブレードを位置付けて、前記ドレスボードの前記他端側から前記一端側に向かって前記切削ブレードの先端をドレスする、
ドレス方法。
【請求項４】
請求項３に記載のドレス方法であって、
前記第２ドレスステップの後且つ第３ドレスステップの前に、前記切削ブレードを前記ドレスボードでドレスを行わずに前記切削ブレードを前記ドレスボードの前記一端側から前記他端側の前記ドレスボードの外側に移動させる移動ステップ、をさらに備える、
ドレス方法。
【請求項５】
請求項１に記載のドレス方法であって、
前記保持ステップの後且つ前記第１ドレスステップの前にフラットドレスステップをさらに備え、
前記フラットドレスステップは、
前記切削ブレードを前記ドレスボードに所定距離だけ切り込む高さ位置に前記切削ブレードを位置付けて、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第１側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第１フラットドレスと、
前記切削ブレードを前記第１フラットドレスの前記切り込む高さ位置よりも低い高さ位置に位置付けて、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第２側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第２フラットドレスと、を少なくとも１回含む、
ドレス方法。
【請求項６】
請求項５に記載のドレス方法であって、
前記第１フラットドレス及び前記第２フラットドレスにおいて、前記切削ブレードと前記ドレスボードを相対的に移動させるときの速度よりも、前記第１ドレスステップ及び前記第２ドレスステップにおいて前記切削ブレードと前記ドレスボードを相対的に移動させるときの速度が遅い、
ドレス方法。
【請求項７】
請求項２に記載のドレス方法であって、
前記第１ドレスステップで形成した前記ドレスボードの溝を第１溝、前記第２ドレスステップで形成した前記ドレスボードの溝を第２溝とすると、
前記第３ドレスステップは、前記第２溝に沿って且つ前記第２溝に重なるように前記切削ブレードをドレスし、
前記第４ドレスステップは、前記第１溝に沿って且つ前記第１溝に重なるように前記切削ブレードをドレスする、
ドレス方法。
【請求項８】
請求項１又は２に記載のドレス方法であって、
前記第１ドレスステップ及び前記第２ドレスステップにおいて、前記切削ブレードと前記ドレスボードを相対的に移動させるときの速度は等しい、
ドレス方法。
【請求項９】
請求項８に記載のドレス方法であって、
前記第１ドレスステップ及び第２ドレスステップにおいて前記切削ブレードと前記ドレスボードを相対的に移動させるときの速度は、１０ｍｍ／ｓｅｃ以下である、
ドレス方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードのドレス方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハやセラミックス、樹脂パッケージ基板、ＳｉＣウェーハ、サファイアウェーハ等、各種板状の被加工物を個々のデバイスチップに分割するために、切削ブレードを用いる切削装置が使用されている。
【０００３】
切削ブレードによって加工しづらい被加工物を切削する場合、切削ブレードの切削刃の摩耗や、切削刃の一部が欠ける刃先欠けなどの不具合が生じることがある。このような場合は、切削ブレードの切削刃をドレスボードに切り込んで多量に除去することにより形状の修正を行うことが知られている。
【０００４】
特許文献１には、切削刃を多量に除去するために、切削ブレードを回転させるスピンドルの軸心方向に、切削ブレードとドレスボードを相対的に移動させることで、切削ブレードの切削刃の先端を多量にドレスするフラットドレスと呼ばれるドレス方法が記載されている。
【０００５】
フラットドレスは、切削ブレードの切削刃の先端を短時間で多量に除去することができるが、切削刃の先端は角状の端部を持ったフラットな形状となる。しかしながら、切削ブレードの切削刃の先端は、角状の端部が適度に丸まった円弧状の先端形状が好ましい場合がある。円弧状の先端形状の場合、フラットな形状と比べて、被加工物を切削する際の切削抵抗が減って、被加工物を切削した後の溝の周辺に発生するチッピングと呼ばれる欠けの量や大きさが良好になることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１０－５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そのため、フラットドレス後に被加工物と同種の材料の基板を事前に切削するプリカットを実施して、切削ブレードの切削刃の先端を適度に丸まった円弧状の先端形状にしているが、プリカット用基板のコスト、プリカットに費やす時間が生じることで生産性が悪いという課題がある。
【０００８】
本発明は、効率よく適度に丸まった円弧状の先端形状となる切削ブレードのドレス方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、
スピンドルの先端に固定された切削ブレードのドレス方法であって、
保持テーブルでドレスボードを保持する保持ステップと、
前記切削ブレードを前記ドレスボードに所定距離だけ切り込む第１高さ位置に前記切削ブレードを位置付けて、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記スピンドルの軸心が沿う方向である軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの一方の側面である第１側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第１ドレスステップと、
前記第１ドレスステップの後で、前記切削ブレードを前記第１高さ位置に位置付けた状態で、前記切削ブレードを回転させながら前記切削ブレードと前記ドレスボードを前記軸心方向に相対的に移動させて、前記ドレスボードが前記切削ブレードの前記第１側面と反対側の他方の側面である第２側面側から接触するように前記切削ブレードの先端をドレスする第２ドレスステップと、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、効率よく、切削ブレードの先端形状を適度に丸まった円弧状にすることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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