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公開番号2025128668
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025460
出願日2024-02-22
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20250827BHJP(研削;研磨)
要約【課題】スポンジ部の寿命の到来を一義的に管理することを可能とし、ウエーハの支持面を洗浄する効果を安定的に維持することができる研削装置を提供する。
【解決手段】研削済みのウエーハWを保持してチャックテーブル6から搬出する搬出手段15と、搬出手段15によって搬出されたウエーハWの研削面を洗浄する研削面洗浄手段11と、チャックテーブル6と研削面洗浄手段11との間に配設され搬出手段15で保持した状態でチャックテーブル6に支持されたウエーハWの支持面を洗浄する支持面洗浄手段12と、を備え、支持面洗浄手段12は、ウエーハWの支持面に接触するスポンジ部124と、スポンジ部124を回転する駆動源121と、洗浄水Lを供給する洗浄水供給部125と、を含み、駆動源121の負荷電流値を検出して、スポンジ部124の寿命を管理する管理部110を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハを支持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに支持されたウエーハを研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、
研削済みのウエーハを保持して該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出されたウエーハの研削面を洗浄する研削面洗浄手段と、
該チャックテーブルと該研削面洗浄手段との間に配設され該搬出手段で保持した状態でチャックテーブルに支持されたウエーハの支持面を洗浄する支持面洗浄手段と、を備え、
該支持面洗浄手段は、ウエーハの支持面に接触するスポンジ部と、該スポンジ部を回転する駆動源と、洗浄水を供給する洗浄水供給部と、を含み、
該駆動源の負荷電流値を検出して、該スポンジ部の寿命を管理する管理部を備える研削装置。
続きを表示（約 120 文字）【請求項２】
該スポンジ部は、該駆動源から放射状に複数配設されている請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
該スポンジ部は、該駆動源の回転軸に対応する中心軸を備えた円柱状を呈している請求項１に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハを支持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに支持されたウエーハを研削する研削手段と、を備えた研削装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持されたウエーハの上面を研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に所望の厚みに研削することができる。
【０００４】
また、ウエーハの上面（裏面）を研削すると、コンタミ混じりの研削水がチャックテーブルの外周から浸入して、ウエーハがチャックテーブルによって支持された支持面を汚染するという問題があり、本出願人によってウエーハの支持面を洗浄する洗浄手段が配設された研削装置が提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－０５４０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、洗浄手段を構成するスポンジ部が経年劣化により摩耗したり、汚れたりすると洗浄効果が低下することから、新しいスポンジ部と交換する必要がある。しかし、交換時期を決定する指標が明確でなく、オペレータの感覚に頼っており、洗浄効果を安定して維持することが出来ないという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、スポンジ部の寿命の到来を一義的に管理することを可能とし、ウエーハの支持面を洗浄する効果を安定的に維持することができる研削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを支持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに支持されたウエーハを研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、研削済みのウエーハを保持して該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出されたウエーハの研削面を洗浄する研削面洗浄手段と、該チャックテーブルと該研削面洗浄手段との間に配設され該搬出手段で保持した状態でチャックテーブルに支持されたウエーハの支持面を洗浄する支持面洗浄手段と、を備え、該支持面洗浄手段は、ウエーハの支持面に接触するスポンジ部と、該スポンジ部を回転する駆動源と、洗浄水を供給する洗浄水供給部と、を含み、該駆動源の負荷電流値を検出して、該スポンジ部の寿命を管理する管理部を備える研削装置が提供される。
【０００９】
該スポンジ部は、該駆動源から放射状に複数配設されているものであってもよい。また、該スポンジ部は、該駆動源の回転軸に対応する中心軸を備えた円柱状を呈しているものであってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の研削装置は、ウエーハを支持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに支持されたウエーハを研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、研削済みのウエーハを保持して該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段によって搬出されたウエーハの研削面を洗浄する研削面洗浄手段と、該チャックテーブルと該研削面洗浄手段との間に配設され該搬出手段で保持した状態でチャックテーブルに支持されたウエーハの支持面を洗浄する支持面洗浄手段と、を備え、該支持面洗浄手段は、ウエーハの支持面に接触するスポンジ部と、該スポンジ部を回転する駆動源と、洗浄水を供給する洗浄水供給部と、を含み、該駆動源の負荷電流値を検出して、該スポンジ部の寿命を管理する管理部を備えていることから、スポンジ部の寿命の到来を管理部によって一義的に管理することが可能になり、スポンジ部の寿命に関して、オペレータの感覚に頼る必要がないことから、ウエーハＷの支持面を洗浄する効果を安定的に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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