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公開番号2025102151
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023219421
出願日2023-12-26
発明の名称処理装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/12 20060101AFI20250701BHJP(研削;研磨)
要約【課題】スピンドルハウジングの冷却効率の経時的悪化を防止することができる処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工工具を備えた加工手段6と、被加工物を加工工具で加工する領域に加工水を供給する加工水供給手段8と、チャックテーブルと加工手段6とが含まれる領域を覆う加工室10と、気液分離機構12とを備える。気液分離機構12は、使用済みの加工水を貯えるとともに排気手段102を備えたタンク104と、加工室10に充満するミストを吸引してタンク104に連通するダクト106とを含む。加工手段6には冷却経路120が形成され、冷却経路120に連通する配管122がタンク104に貯えられた加工水に水没している。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
処理装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工工具を備えた加工手段と、被加工物を該加工工具で加工する領域に加工水を供給する加工水供給手段と、該チャックテーブルと該加工手段とが含まれる領域を覆う加工室と、気液分離機構と、を備え、
該気液分離機構は、使用済みの加工水を貯えるとともに排気手段を備えたタンクと、該加工室に充満するミストを吸引して該タンクに連通するダクトと、を含み、
該加工手段には冷却経路が形成され、該冷却経路に連通する配管が該タンクに貯えられた加工水に水没している処理装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
該ダクトの噴出口は該タンクに貯えられた加工水に水没している請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
該噴出口には微細な泡を生成するフィルターが配設される請求項２記載の処理装置。
【請求項４】
該加工室に配設され使用済みの加工水を受け止める排水パンと、
該排水パンに配設され該タンクに排水するドレーンと、を備え、
該ドレーンは該タンクに連通している請求項１記載の処理装置。
【請求項５】
該タンクに貯えられた加工水を精製する加工水精製手段を備え、精製された加工水を該加工水供給手段に循環させる請求項１記載の処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハなどの被加工物に切削加工や研削加工などの所定の処理を施す処理装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され、その後ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削砥石で研削する領域に純水からなる研削水を供給する研削水供給手段と、加工領域を覆う加工室と、から概ね構成されていて、ウエーハを所望の厚みに研削することができる。
【０００４】
また、ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削ブレードで切削する領域に純水からなる切削水を供給する切削水供給手段と、加工領域を覆う加工室と、から概ね構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。
【０００５】
研削装置やダイシング装置の加工室は、加工水（研削水や切削水）の飛散によって生じるミストで満たされることから、吸引ダクトによってミストを吸引し、吸引したミストを気体と液体とに分離する処理装置が本出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００６】
特許文献１に開示されている処理装置においては、使用済みの加工水を貯える貯水タンクの液面よりも上方に吸引ダクトの噴出口が位置づけられている。そして、吸引ダクトの噴出口から貯水タンクの液面に向かってミストが噴射され、貯水タンク内においてミストが気体と液体とに分離される。また、貯水タンク内では、ミストが気化する際にタンク内の加工水の熱を奪うことにより、加工水が冷却される。冷却された加工水は、研削手段または切削手段のスピンドルハウジングを冷却する冷媒として使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特許第７１３９０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、スピンドルハウジングに送られる冷媒は、使用済みの加工水を含む。このため、スピンドルハウジングに形成された冷却経路の内部が使用済みの加工水によって汚染されることにより、スピンドルハウジングの冷却効率が経時的に悪化してしまうという問題がある。
【０００９】
本発明の課題は、スピンドルハウジングの冷却効率の経時的悪化を防止することができる処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の処理装置が提供される。すなわち、
「処理装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工工具を備えた加工手段と、被加工物を該加工工具で加工する領域に加工水を供給する加工水供給手段と、該チャックテーブルと該加工手段とが含まれる領域を覆う加工室と、気液分離機構と、を備え、
該気液分離機構は、使用済みの加工水を貯えるとともに排気手段を備えたタンクと、該加工室に充満するミストを吸引して該タンクに連通するダクトと、を含み、
該加工手段には冷却経路が形成され、該冷却経路に連通する配管が該タンクに貯えられた加工水に水没している処理装置」が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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