特許ウォッチ

公開番号2025102142
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023219401
出願日2023-12-26
発明の名称切削ブレードの刃先位置検出方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 49/12 20060101AFI20250701BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削ブレードの刃先位置の検査を精度良く実施する新たな方法を提供する。
【解決手段】スピンドル先端に装着した切削ブレード32の刃先位置検出方法は、検査テーブル60に検査片Pを保持するステップ、検査片Pの上面PSから所定深さに切削ブレード32を位置づけ切削ブレード32と検査テーブル60を相対的に移動させて検査片Pを平坦化するステップ、平坦化するステップ後に事前に記憶された切削ブレード32の刃先位置を基準にした場合に検査片Pに対して所望する切り込み深さとなる高さに切削ブレード32を位置づけ切削ブレード32と検査テーブル60とを相対的に移動させることで切削ブレード32で検査片Pに切削溝Gを形成するステップ、切削溝Gの深さを測定するステップ、切削溝Gの深さと所望する切り込み深さの差を補正値として算出し切削ブレード32の刃先位置を補正するステップを備える。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
スピンドルの先端に装着された切削ブレードの刃先位置検出方法であって、
保持テーブルに検査片を保持する保持ステップと、
該検査片の上面から所定深さに該切削ブレードを位置づけて、該切削ブレードと、該保持テーブルと、を相対的に移動させることで、該検査片を平坦化する平坦化ステップと、
該平坦化ステップの後に、事前に記憶された該切削ブレードの刃先位置を基準にした場合に該検査片に対して所望する切り込み深さとなる高さに該切削ブレードを位置づけて、
該切削ブレードと、該保持テーブルと、を相対的に移動させることで、該切削ブレードで該検査片に切削溝を形成する切削溝形成ステップと、
該切削溝の深さを測定する切り込み深さ測定ステップと、
該切削溝の深さと、所望する切り込み深さと、の差を補正値として算出し、該切削ブレードの刃先位置を補正する補正ステップと、を備える
ことを特徴とする切削ブレードの刃先位置検出方法。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
該保持テーブルは、
該検査片を保持する保持面と、
該保持面を該保持面に平行な回転軸に沿って回転させる回転駆動部と、を有し、
該平坦化ステップと、該切削溝形成ステップと、は該保持面を加工位置に位置づけた状態で実施され、
該切り込み深さ測定ステップは、該保持面を該加工位置と直交する測定位置に位置づけた状態で実施される
ことを特徴とする請求項１に記載の切削ブレードの刃先位置検出方法。
【請求項３】
該切り込み深さ測定ステップは、
該切削溝の断面を撮像し、
撮像した前記断面の画像から該切削溝の深さを算出する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の切削ブレードの刃先位置検出方法。
【請求項４】
さらに、該切削溝形成ステップと該切り込み深さ測定ステップと該補正ステップが繰り返し行われる場合に、該平坦化ステップの後で且つ最初の該切削溝形成ステップの前に、平坦化された前記検査片の上面の高さを測定する上面高さ測定ステップを備え、
繰り返し行われる該切削溝形成ステップの各々は、事前に記憶された該切削ブレードの刃先位置を基準にした場合に該上面高さ測定ステップで測定した前記上面の高さに対して該所望する切り込み深さとなる高さに該切削ブレードを位置づけた状態で実施されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の切削ブレードの刃先位置検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードの刃先位置を検出する方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物に切削ブレードで切削溝を形成する切削装置は、切削溝の深さ（切り込み深さともいう。）を高精度に制御するため、切削ブレードの刃先位置を管理している。しかしながら、切削ブレードの刃先は切削加工により摩耗し、切削ブレードの外径が変化するため、切削装置で管理されている刃先位置と実際の刃先位置に誤差が生じてしまうことがある。刃先位置に誤差が生じた状態で切削加工が行われると、所望の深さの切削溝が形成されないといった事態が生じ得る。
【０００３】
このような課題に関連する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。特許文献１には、検査片を切削してその切削溝を観察する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－２９６６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のように検査片を実際に切削して研削溝を観察することで、切り込み深さと所望の深さとの誤差を検出可能である。そして、切り込み深さと所望の深さとの誤差要因が摩耗等による切削ブレードの外径の変化のみであれば、検出された誤差分だけ刃先位置を補正することで所望の深さの切削溝を形成可能である。
【０００６】
しかしながら、上記のような検査において誤差要因がその他にも存在し、その誤差要因によって生じる誤差が検査の度に変化し得る場合には、検査片の切削により得られた補正値（誤差に相当）で刃先位置を補正しても、所望の深さの切削溝を高精度に形成することは難しい。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの刃先位置の検査を精度良く実施する新たな方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の切削ブレードの刃先位置検出方法は、スピンドルの先端に装着された切削ブレードの刃先位置検出方法であって、検査テーブルに検査片を保持する保持ステップと、該検査片の上面から所定深さに該切削ブレードを位置づけて、該切削ブレードと、該保持テーブルと、を相対的に移動させることで、該検査片を平坦化する平坦化ステップと、該平坦化ステップの後に、事前に記憶された該切削ブレードの刃先位置を基準にした場合に該検査片に対して所望する切り込み深さとなる高さに該切削ブレードを位置づけて、該切削ブレードと、該検査テーブルと、を相対的に移動させることで、該切削ブレードで該検査片に切削溝を形成する切削溝形成ステップと、該切削溝の深さを測定する切り込み深さ測定ステップと、該切削溝の深さと、所望する切り込み深さと、の差を補正値として算出し、該切削ブレードの刃先位置を補正する補正ステップと、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、切削ブレードの刃先位置の検査を精度良く実施する新たな方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態に係る切削装置の斜視図である。
従来の切削ブレードの刃先位置検出方法を説明する図である。
第１の実施形態に係る切削ブレードの刃先位置検出方法を説明する図である。
第１の実施形態に係る切削ブレードの刃先位置検出方法の手順を示すフローチャートである。
平坦化ステップにおける切削装置の加工テーブルと検査テーブルを示す断面図である。
切削溝形成ステップにおける切削装置の加工テーブルと検査テーブルを示す断面図である。
切削溝測定ステップにおける切削装置の加工テーブルと検査テーブルを示す断面図である。
切削溝測定ステップで撮像される画像の一例を示す図である。
第２の実施形態に係る切削ブレードの刃先位置検出方法の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許