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公開番号2025064527
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023174367
出願日2023-10-06
発明の名称貼着方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250410BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】貼着ローラーに異物を付着させたままシートを板状物に対して押圧して貼着することを抑制することができる貼着方法を提供すること。
【解決手段】貼着方法は、板状物を保持テーブルで保持する保持ステップ1と、保持テーブルで保持される板状物と対面するように、シートを位置付けて支持するシート支持ステップ2と、シート支持ステップ2の後で、板状物に対してシートを貼着ローラーによって押圧することで板状物にシートを貼着する貼着ステップ3と、を備え、貼着ステップ3において、貼着ローラーは、粘着ローラーの粘着部に接触しながらシートを板状物に押圧することで板状物にシートを貼着する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状物にシートを貼着する貼着方法であって、
該板状物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持テーブルで保持される該板状物と対面するように、該シートを位置付けて支持するシート支持ステップと、
該シート支持ステップの後で、該板状物に対して該シートを貼着ローラーによって押圧することで該板状物に該シートを貼着する貼着ステップと、
を備え、
該貼着ステップにおいて、該貼着ローラーは、粘着ローラーの粘着部に接触しながら該シートを該板状物に押圧することを特徴とする貼着方法。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該貼着ステップにおいて、該粘着ローラーは、該粘着部が該貼着ローラーに接触しながら該貼着ローラーの回転に追従して回転することを特徴とする請求項１に記載の貼着方法。
【請求項３】
該貼着ステップにおいて、該粘着ローラーは、該貼着ローラーが該粘着部に接触してから該シートを該板状物に押圧するように、該貼着ローラーにおいて該シートに接触する位置より貼着の進行方向側に配設されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の貼着方法。
【請求項４】
該貼着ステップでは、除去ユニットの吸引部が、該シートの該板状物と対面する面と反対側の面を吸引することを特徴とする請求項１に記載の貼着方法。
【請求項５】
該貼着ステップでは、該除去ユニットの該吸引部が、該板状物に貼着される前の該シートを吸引することを特徴とする請求項４に記載の貼着方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼着方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の板状物は、研削装置によって表面を保持テーブルで保持した状態で裏面が研削されて所定の厚さに形成されるため、予め貼着装置によって保護テープ（シート）が表面に貼着される（例えば、特許文献１参照）。貼着装置では、板状物の外形よりも大きいシートを貼着ローラーで押圧しながら貼着した後、板状物の外形に沿ってカッターで切断することでシートが板状物と略同一に形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－２０６８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、貼着ローラーでシートを板状物に対して押圧する際、貼着ローラーに塵等の異物が付着したまま貼着ローラーを板状物に押圧すると、貼着ローラーの荷重が異物を挟み込んで押圧した位置に集中して板状物が破損する可能性があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、貼着ローラーに異物を付着させたままシートを板状物に対して押圧して貼着することを抑制することができる貼着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の貼着方法は、板状物にシートを貼着する貼着方法であって、該板状物を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブルで保持される該板状物と対面するように、該シートを位置付けて支持するシート支持ステップと、該シート支持ステップの後で、該板状物に対して該シートを貼着ローラーによって押圧することで該板状物に該シートを貼着する貼着ステップと、を備え、該貼着ステップにおいて、該貼着ローラーは、粘着ローラーの粘着部に接触しながら該シートを該板状物に押圧することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の貼着方法の該貼着ステップにおいて、該貼着ローラーは、粘着ローラーの粘着部に接触しながら該シートを該板状物に押圧することが好ましい。
【０００８】
また、本発明の貼着方法の該貼着ステップにおいて、該粘着ローラーは、該粘着部が該貼着ローラーに接触しながら該貼着ローラーの回転に追従して回転することが好ましい。
【０００９】
また、本発明の貼着方法の該貼着ステップにおいて、該粘着ローラーは、該貼着ローラーが該粘着部に接触してから該シートを該板状物に押圧するように、該貼着ローラーにおいて該シートに接触する位置より貼着の進行方向側に配設されることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の貼着方法において、該貼着ステップでは、除去ユニットの吸引部が、該シートの該板状物と対面する面と反対側の面を吸引することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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