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公開番号2025070543
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180946
出願日2023-10-20
発明の名称保護部材の形成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保護部材をスライスウェーハに残すことなく該スライスウェーハから確実且つ短時間に剥離させることができる保護部材の形成方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る保護部材Pの形成方法は、拡張テーブル12上面側の中央に所定量の液状樹脂rを供給する液状樹脂供給工程と、保持テーブル20に保持されたスライスウェーハWSを拡張テーブル12に接近する方向に相対的に移動させ該スライスウェーハWSによって液状樹脂rをスライスウェーハWSの中央から径方向外側に向かって外周縁手前まで押し広げる押し広げ工程と、保持テーブル20をスライスウェーハWSから離隔させた後に液状樹脂rに外的刺激を付与し該液状樹脂rを硬化させる硬化工程と、を備え、押し広げ工程において、スライスウェーハWSの外周縁に面取り部Rが形成されている場合には、面取り部Rの手前までの一方の面全面に液状樹脂rを押し広げることを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
インゴットからスライスされたスライスウェーハの両面を研削してウェーハを製造する際に前記スライスウェーハの一方の面全面に液状樹脂を押し広げて外的刺激を付与し硬化させることによって保護部材を形成する保護部材の形成方法であって、
液状樹脂を押し広げる拡張テーブル上面側の中央に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給工程と、
前記拡張テーブルに対向配置の保持テーブルに保持された前記スライスウェーハを前記拡張テーブルに接近する方向に相対的に移動させ該スライスウェーハによって前記液状樹脂を前記スライスウェーハの中央から径方向外側に向かって外周縁手前まで押し広げる押し広げ工程と、
前記保持テーブルを前記スライスウェーハから離隔させた後に前記液状樹脂に外的刺激を付与し該液状樹脂を硬化させる硬化工程と、
を備え、
前記押し広げ工程において、前記スライスウェーハの外周縁に面取り部が形成されている場合には、前記面取り部の手前までの一方の面全面に前記液状樹脂を押し広げ、前記スライスウェーハの外周縁に該面取り部が形成されていない場合には、前記スライスウェーハの外周側面の手前までの一方の面全面に前記液状樹脂を押し広げることを特徴とする保護部材の形成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットからスライスされたスライスウェーハを研削する際に該スライスウェーハの一方の面に液状樹脂からなる保護部材を形成する方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造に用いられるウェーハは、チョクラルスキー法などの単結晶引き上げ法によって製造されたシリコンなどの単結晶インゴットからブレードソーやワイヤーソーなどの切断装置によって切り出されたアズスライスウェーハ（以下、単に「スライスウェーハ」と称する）を研削装置や研磨装置によって両面を平坦化することによって得られている。そして、このように両面が平坦化されたウェーハの表面にＩＣやＬＳＩなどのデバイスが形成され、これらのデバイスが形成されたウェーハの裏面が研削されて該ウェーハが所定の厚みに薄化され、薄化されたウェーハがダイシングソーなどの切削装置によって切削されて個々のデバイスに分割されている。
【０００３】
ところで、インゴットから切り出されたスライスウェーハには、ブレードソーやワイヤーソーなどの切断装置による切断加工時に両面に発生する加工歪の大きさの違いによる反りと、両面の表層に生じるうねりを有している。このため、スライスウェーハの一方の面に紫外線硬化性樹脂などの保護部材を形成してその面を平坦化し、この保護部材の平坦な一方の面をチャックテーブルの保持面で保持した状態でスライスウェーハの他方の面を研削して該他方の面を平坦化した後、該スライドウェーハから保護部材を剥離させて剥ぎ取り、平坦な他方の面をチャックテーブルの保持面で保持した状態で該スライスウェーハの一方の面を研削して平坦な面とする加工方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００４】
しかしながら、スライスウェーハの保護部材が形成されていない他方の面が研削によって平坦化されると、スライスウェーハの一方の面から保護部材を剥離させて剥ぎ取る場合、保護部材の一部がスライスウェーハの外周縁に残る場合がある。このように保護部材の一部がスライスウェーハの外周縁に残ると、該スライスウェーハの研削によって平坦化された他方の面をチャックテーブルの保持面で保持した状態で、該スライスウェーハの一方の面（保護部材が剥ぎ取られた面）を研削すると、該スライスウェーハを全面に亘って均一な厚みに研削することができないという問題が発生する。
【０００５】
そこで、特許文献３には、スライスウェーハの外周部分に保護部材を残すことなく、スライスウェーハから保護部材を確実に剥離させる剥離装置が提案されている。この剥離装置は、保護部材の外周の一部を残してウェーハから保護部材を剥離させる外周剥離手段と、保護部材全体をウェーハから剥離させる全体剥離手段を備えており、全体剥離手段は、外周剥離手段で剥離されないで残った保護部材の外周の一部を把持する把持部と、保護部材の下面中央を押圧するローラ部を備えている。そして、この全体剥離手段においては、ローラ部で保護部材の中央部分をウェーハに向かって押し付けながら該保護部材の全てをウェーハから剥離させている。
【０００６】
また、特許文献４には、ウェーハの外周部に残った保護部材を上ロールスポンジと下ロールスポンジによる洗浄によって除去するウェーハの洗浄装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００６－２６９７６１号公報
特開２００９－２７２５５７号公報
特開２０１９－００９２００号公報
特開２０２０－２０２３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献３において提案された剥離装置や特許文献４において提案された洗浄装置では、保護部材の剥離に時間を要するという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、保護部材をスライスウェーハに残すことなく該スライスウェーハから確実且つ短時間に剥離させることができる保護部材の形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明は、インゴットからスライスされたスライスウェーハの両面を研削してウェーハを製造する際に前記スライスウェーハの一方の面全面に液状樹脂を押し広げて外的刺激を付与し硬化させることによって保護部材を形成する保護部材の形成方法であって、液状樹脂を押し広げる拡張テーブル上面側の中央に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給工程と、前記拡張テーブルに対向配置の保持テーブルに保持された前記スライスウェーハを前記拡張テーブルに接近する方向に相対的に移動させ該スライスウェーハによって前記液状樹脂を前記スライスウェーハの中央から径方向外側に向かって外周縁手前まで押し広げる押し広げ工程と、前記保持テーブルを前記スライスウェーハから離隔させた後に前記液状樹脂に外的刺激を付与し該液状樹脂を硬化させる硬化工程と、を備え、前記押し広げ工程において、前記スライスウェーハの外周縁に面取り部が形成されている場合には、前記面取り部の手前までの一方の面全面に前記液状樹脂を押し広げ、前記スライスウェーハの外周縁に該面取り部が形成されていない場合には、前記スライスウェーハの外周側面の手前までの一方の面全面に前記液状樹脂を押し広げることを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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