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公開番号2025077193
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-19
出願番号2023189205
出願日2023-11-06
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 49/12 20060101AFI20250512BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ウェーハに1枚の保護テープが貼着されているか否かを認識する。
【解決手段】検知ユニット140の判断部143が、ウェーハ100の表面101に保護テープ103が貼着されているか否か、および、貼着されている保護テープ103が1枚であるか複数枚であるかを判断している。そして、ウェーハ100の表面101に1枚の保護テープ103が貼着されている場合に、ウェーハ100に対する研削加工を実施している。したがって、研削加工の際に、保護テープ103を含むウェーハ100の厚みを適切に設定することができるので、ウェーハ100を所定の厚みに研削することが可能となる。すなわち、保護テープ103が貼着されていないことに起因するウェーハ100の研削不足、および、複数枚の保護テープ103が貼着されていることに起因するウェーハ100の削りすぎを回避することができる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの表面に貼着された保護テープを介して前記ウェーハを保持面によって保持するチャックテーブルと、前記保持面に保持された前記ウェーハを加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、
検知ユニットをさらに備え、
前記検知ユニットは、
前記ウェーハの表面側に向かって光を照射する投光部と、
前記ウェーハの表面側で反射した反射光を受光する受光部と、
前記受光部によって受光された反射光の量に基づいて、前記ウェーハの表面に前記保護テープが貼着されているか否か、および、貼着されている前記保護テープが１枚であるか複数枚であるかを判断する判断部と、
を備える、加工装置。
続きを表示（約 110 文字）【請求項２】
前記判断部は、前記受光部によって受光された反射光の量に基づいて、前記ウェーハの表面に、適切な種類および枚数の前記保護テープが貼着されているか否かを判断する、
請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、ウェーハの裏面を研削する際に、ウェーハの表面に保護テープが貼着される。その保護テープの品種は、たとえば、特許文献２に開示のように識別される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０３４８３４号公報
特開２０２１－０１９１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、保護テープが透明の場合などのとき、２枚の保護テープをウェーハに貼着してしまうことがある。このように、２枚の保護テープをウェーハに貼着してしまうと、この保護テープが適切な品種のものであったとしても、ウェーハを所定の厚みに研削することが困難となる。
【０００５】
したがって、本発明の目的は、ウェーハに保護テープが貼着されているか否か、および、貼着されている保護テープが１枚であるか複数枚であるかを認識することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の加工装置（本加工装置）は、ウェーハの表面に貼着された保護テープを介して前記ウェーハを保持面によって保持するチャックテーブルと、前記保持面に保持された前記ウェーハを加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、検知ユニットをさらに備え、前記検知ユニットは、前記ウェーハの表面側に向かって光を照射する投光部と、前記ウェーハの表面側で反射した反射光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された反射光の量に基づいて、前記ウェーハの表面に前記保護テープが貼着されているか否か、および、貼着されている前記保護テープが１枚であるか複数枚であるかを判断する判断部と、を備える。
【０００７】
本加工装置では、前記判断部は、前記受光部によって受光された反射光の量に基づいて、前記ウェーハの表面に、適切な種類および枚数の前記保護テープが貼着されているか否かを判断するように構成されていてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本加工装置では、検知ユニットの判断部が、ウェーハの表面に保護テープが貼着されているか否か、および、貼着されている保護テープが１枚であるか複数枚であるかを判断している。したがって、たとえば、ウェーハの表面に１枚の保護テープが貼着されている場合にウェーハに対する加工を実施する一方、他の場合に加工を実施しないような制御を実施することが容易となる。これにより、ウェーハを所定の厚みに加工することが可能となる。すなわち、保護テープが貼着されていないこと、あるいは、意図せずに複数枚の保護テープが貼着されていることに起因する、ウェーハの加工不良を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
研削装置の構成を示す斜視図である。
カセットおよびロボットの構成を示す断面図である。
仮置き機構およびロボットの構成を示す断面図である。
検知ユニットの構成を示す断面図である。
ロボットによってカセットからウェーハを取り出す様子を示す断面図である。
第１閾値および第２閾値を示すグラフである。
ウェーハを保持している仮置き機構を示す断面図である。
ウェーハに設定された５つの測定点を示す上面図である。
図９（ａ）は、１枚あるいは２枚の３種類の保護テープがウェーハに貼着されている場合の、受光部によって受光された反射光のＲ成分の光量を示す図であり、図９（ｂ）は、この反射光のＧ成分の光量を示す図であり、図９（ｃ）は、この反射光のＢ成分の光量を示す図である。
Ｒ閾値、Ｂ閾値およびＧ閾値を示すグラフである。
第１Ｒ範囲、第１Ｂ範囲および第１Ｇ範囲を示すグラフである。
第２Ｒ範囲、第２Ｂ範囲および第２Ｇ範囲を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示すように、本実施形態にかかる研削装置１は、加工装置の一例であり、被加工物としてのウェーハ１００を研削するための装置である。ウェーハ１００は、たとえば円形の板状ワークであり、表面１０１および裏面１０２を有している。ウェーハ１００の表面１０１には、図示しないデバイスが形成されており、保護テープ１０３が貼着されている。ウェーハ１００の裏面１０２は、研削処理が施される被加工面となる。また、ウェーハ１００の外周縁には、ウェーハ１００の向きを示すためのノッチ１０４が形成されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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