特許ウォッチ

公開番号2025084283
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023198067
出願日2023-11-22
発明の名称加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 49/12 20060101AFI20250527BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削溝の状態をより正確に把握できる加工対象物の加工方法を提供する。
【解決手段】加工方法であって、検査片70を検査テーブル60に保持する保持ステップST11と、切削水Wが供給された切削ブレード21によって検査テーブル60に保持された検査片70に切削溝80を形成する加工ステップST12と、切削ブレード21に切削水Wが供給された状態で、切削ブレード21を切削溝80から所定時間待機させ、切削水Wによって切削溝80を洗浄する洗浄ステップST13と、洗浄ステップST13後に、切削溝80を撮像する撮像ステップST14と、撮像された撮像画像300から切削溝80の状態を判定する判定ステップST15と、を備える。
【選択図】図8

特許請求の範囲【請求項１】
加工対象物を保持テーブルに保持する保持ステップと、
切削水が供給された切削ブレードによって該保持テーブルに保持された該加工対象物に切削溝を形成する加工ステップと、
該切削ブレードに該切削水が供給された状態で、
該切削ブレードを該切削溝から所定時間待機させ、
該切削水によって該切削溝を洗浄する洗浄ステップと、
該洗浄ステップ後に、該切削溝を撮像する撮像ステップと、
撮像された画像から該切削溝の状態を判定する判定ステップと、を
備えることを特徴とする加工方法。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
該洗浄ステップにおいて供給される該切削水は、
該加工ステップにおいて供給される該切削水より
水量または水圧の少なくともいずれかが大きいことを特徴とする請求項１に記載の加工方法。
【請求項３】
該保持テーブルは、
被加工物を保持する加工保持面を有する加工テーブルと、
該加工テーブルと隣接し、検査片を保持する検査保持面を有する検査テーブルと、の少なくともいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の加工方法。
【請求項４】
該検査テーブルは、
該検査保持面を該検査保持面に平行な回転軸に沿って回転させる回転駆動部と、を有し、
該回転駆動部は、
該検査保持面を、
該加工保持面に平行な加工位置と、該加工保持面と直交し、該切削溝の加工開始側または加工終了側の少なくともいずれかの断面を撮像ユニットで撮像する撮像位置と、の間で回転移動させ、
該加工ステップは、
該検査片を該加工位置に位置づけ、
該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する該切削溝を形成し、
該撮像ステップは、
該検査保持面を該撮像位置に位置づけ、該切削溝の断面を該撮像ユニットで撮像する
ことを特徴とする請求項３に記載の加工方法。
【請求項５】
該検査保持面は、
第一の検査片を保持可能な第一検査保持面と、
該第一検査保持面と直交し、第二の検査片を保持可能な第二検査保持面と、を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物に切削溝を形成する加工方法において、切削溝を撮像した画像から切削溝の状態を検査する場合がある。切削溝の状態を検査は、検査片を加工テーブルに保持して行われる。また、より正確な検査のために加工テーブル横にある検査テーブルに保持した検査片を加工し、検査片を回転させて切削溝の断面形状を加工装置上で撮像できる装置が提供されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０２２６５７号公報
特開２００７－２９６６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、加工対象物に切削溝を形成する従来の被加工物の加工方法において、切削溝を撮像して切削溝の状態を確認する際に、切削屑が付着していると、切削溝の状態を正確に把握できない恐れがある。
【０００５】
本発明は係る点に鑑みてなされたものであり、切削溝の状態をより正確に把握できる加工対象物の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の加工方法は、加工対象物を保持テーブルに保持する保持ステップと、切削水が供給された切削ブレードによって該保持テーブルに保持された該加工対象物に切削溝を形成する加工ステップと、該切削ブレードに該切削水が供給された状態で、該切削ブレードを該切削溝から所定時間待機させ、該切削水によって該切削溝を洗浄する洗浄ステップと、該洗浄ステップ後に、該切削溝を撮像する撮像ステップと、撮像された画像から該切削溝の状態を判定する判定ステップと、を備える。
【０００７】
また、本発明の加工方法の洗浄ステップにおいて供給される該切削水は、該加工ステップにおいて供給される該切削水より水量または水圧の少なくともいずれかが大きくてもよい。
【０００８】
また、本発明の加工方法の該保持テーブルは、被加工物を保持する加工保持面を有する加工テーブルと、該加工テーブルと隣接し、検査片を保持する検査保持面を有する検査テーブルと、の少なくともいずれかであってもよい。
【０００９】
また、本発明の加工方法の該検査テーブルは、該検査保持面を該検査保持面に平行な回転軸に沿って回転させる回転駆動部と、を有し、該回転駆動部は、該検査保持面を、該加工保持面に平行な加工位置と、該加工保持面と直交し、該切削溝の加工開始側または加工終了側の少なくともいずれかの断面を撮像ユニットで撮像する撮像位置と、の間で回転移動させ、該加工ステップは、該検査片を該加工位置に位置づけ、該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する該切削溝を形成し、該撮像ステップは、該検査保持面を該撮像位置に位置づけ、該切削溝の断面を該撮像ユニットで撮像してもよい。
【００１０】
また、本発明の加工方法の該検査保持面は、第一の検査片を保持可能な第一検査保持面と、該第一検査保持面と直交し、第二の検査片を保持可能な第二検査保持面と、を含んでもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許