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公開番号2025076240
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-15
出願番号2024018116
出願日2024-02-08
発明の名称液体の精製方法、液体精製システム及び精製装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 11/10 20060101AFI20250508BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工装置から排出された液体を高純度に精製することが可能な液体の精製方法を提供する。
【解決手段】加工装置から排出された液体を精製する液体の精製方法であって、加工装置から排出された液体に含まれる不純物を第1イオン交換樹脂に吸着させて液体から除去することにより、液体を精製する第1イオン交換ステップと、第1イオン交換ステップにおいて精製された液体に含まれる不純物を活性炭に吸着させて液体から除去することにより、液体を精製する活性炭吸着ステップと、第1イオン交換ステップにおいて精製された液体に紫外線を照射することにより、液体に含まれる不純物を分解する紫外線照射ステップと、活性炭吸着ステップにおいて精製され紫外線照射ステップにおいて紫外線が照射された液体に含まれる不純物を第2イオン交換樹脂に吸着させて液体から除去することにより、液体を精製する第2イオン交換ステップと、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置から排出された液体を精製する液体の精製方法であって、
該加工装置から排出された該液体に含まれる不純物を第１イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第１イオン交換ステップと、
該第１イオン交換ステップにおいて精製された該液体に含まれる不純物を活性炭に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する活性炭吸着ステップと、
該第１イオン交換ステップにおいて精製された該液体に紫外線を照射することにより、該液体に含まれる不純物を分解する紫外線照射ステップと、
該活性炭吸着ステップにおいて精製され該紫外線照射ステップにおいて該紫外線が照射された該液体に含まれる不純物を第２イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第２イオン交換ステップと、を含むことを特徴とする液体の精製方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
該紫外線照射ステップでは、該活性炭吸着ステップにおいて精製された該液体に該紫外線を照射することを特徴とする、請求項１に記載の液体の精製方法。
【請求項３】
該活性炭吸着ステップにおいて精製された該液体の純度又は該紫外線照射ステップにおいて該紫外線が照射された該液体の純度を測定する純度測定ステップを更に含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体の精製方法。
【請求項４】
該加工装置は、界面活性剤を含む該液体を排出し、
該第２イオン交換ステップにおいて精製された該液体に界面活性剤を添加する界面活性剤添加ステップを更に含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体の精製方法。
【請求項５】
加工装置から排出された液体を精製する液体精製システムであって、
該加工装置から排出された該液体に含まれる不純物を第１イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第１イオン交換ユニットと、
該第１イオン交換ユニットによって精製された該液体に含まれる不純物を活性炭に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する活性炭吸着ユニットと、
該第１イオン交換ユニットによって精製された該液体に紫外線を照射することにより、該液体に含まれる不純物を分解する紫外線照射ユニットと、
該活性炭吸着ユニットによって精製され該紫外線照射ユニットによって該紫外線が照射された該液体に含まれる不純物を第２イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第２イオン交換ユニットと、を備えることを特徴とする液体精製システム。
【請求項６】
該紫外線照射ユニットは、該活性炭吸着ユニットによって精製された該液体に該紫外線を照射することを特徴とする、請求項５に記載の液体精製システム。
【請求項７】
該活性炭吸着ユニットによって精製された該液体の純度又は該紫外線照射ユニットによって該紫外線が照射された該液体の純度を測定する純度測定器を更に備えることを特徴とする、請求項５又は６に記載の液体精製システム。
【請求項８】
該加工装置は、界面活性剤を含む該液体を排出し、
該第２イオン交換ユニットによって精製された該液体に界面活性剤を添加する界面活性剤添加ユニットを更に備えることを特徴とする、請求項５又は６に記載の液体精製システム。
【請求項９】
加工装置から排出された液体を精製する精製装置であって、
該加工装置から排出された該液体に含まれる不純物を第１イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第１イオン交換ユニットと、
該第１イオン交換ユニットによって精製された該液体に含まれる不純物を活性炭に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する活性炭吸着ユニットと、
該第１イオン交換ユニットによって精製された該液体に紫外線を照射することにより、該液体に含まれる不純物を分解する紫外線照射ユニットと、
該活性炭吸着ユニットによって精製され該紫外線照射ユニットによって該紫外線が照射された該液体に含まれる不純物を第２イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第２イオン交換ユニットと、を備えることを特徴とする精製装置。
【請求項１０】
該紫外線照射ユニットは、該活性炭吸着ユニットによって精製された該液体に該紫外線を照射することを特徴とする、請求項９に記載の精製装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置から排出された液体を精製する液体の精製方法、液体精製システム及び精製装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割する際には、各種の加工装置によって被加工物が加工される。例えば、環状の切削ブレードで被加工物を切削する切削装置によって、被加工物が分割される（特許文献１参照）。また、分割前の被加工物に対して、研削装置を用いた研削加工や研磨装置を用いた研磨加工が施されることもある。
【０００４】
上記のような加工装置で被加工物を処理する際には、加工液、洗浄液等の液体（処理液）が用いられる。例えば、切削装置で被加工物を切削する場合には、切削ブレードを被加工物に切り込ませつつ、被加工物及び切削ブレードに純水等の加工液が供給される。これにより、被加工物及び切削ブレードが冷却されるとともに、切削加工によって発生した屑（加工屑）が洗い流される。また、切削加工後の被加工物に洗浄液を供給して被加工物を洗浄することにより、被加工物に付着している加工屑等の異物が洗い流される。
【０００５】
ただし、被加工物に異物が強固に固着すると、被加工物に処理液を供給しても異物が除去されずに残存することがある。そこで、異物の除去を促進するため、被加工物に供給される処理液に界面活性剤が添加されることがある。例えば、切削ブレードで被加工物を切削する際に、界面活性剤が添加された加工液を被加工物に供給することにより、被加工物から加工屑が除去されやすくなる（特許文献２参照）。
【０００６】
加工装置で使用された処理液は、加工装置内で一時的に貯留された後、加工装置外へ排出される。しかしながら、加工装置から排出された処理液を全て廃棄すると、処理液の消費量が増大し、コストも増大する。そこで、加工装置が排出した処理液から不純物（加工屑、界面活性剤等）を除去し、処理液を加工装置で再利用する循環システムが提案されている（特許文献３参照）。このような循環システムを用いることにより、廃棄される処理液の量が削減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開平１０－２４２０８３号公報
特開２００９－１３３０１号公報
特開２０２０－１３１３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、加工装置から排出された加工液、洗浄液等の液体（廃液）を再利用する場合には、廃液に濾過、イオン交換等の処理が施される。これにより、廃液が精製され、廃液を処理液として再利用可能となるように廃液の純度が高められる。しかしながら、加工装置の種類や被加工物に施される加工の内容によっては、さらに高純度な処理液が望まれることがある。
【０００９】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、加工装置から排出された液体を高純度に精製することが可能な液体の精製方法、液体精製システム及び精製装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、加工装置から排出された液体を精製する液体の精製方法であって、該加工装置から排出された該液体に含まれる不純物を第１イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第１イオン交換ステップと、該第１イオン交換ステップにおいて精製された該液体に含まれる不純物を活性炭に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する活性炭吸着ステップと、該第１イオン交換ステップにおいて精製された該液体に紫外線を照射することにより、該液体に含まれる不純物を分解する紫外線照射ステップと、該活性炭吸着ステップにおいて精製され該紫外線照射ステップにおいて該紫外線が照射された該液体に含まれる不純物を第２イオン交換樹脂に吸着させて該液体から除去することにより、該液体を精製する第２イオン交換ステップと、を含む液体の精製方法が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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