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公開番号2025072811
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-12
出願番号2023183165
出願日2023-10-25
発明の名称被加工物の加工準備方法、及び、加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250501BHJP(研削;研磨)
要約【課題】薄化加工前の被加工物の加工準備方法と、それによって準備された被加工物の加工方法について、新規な技術を提案する。
【解決手段】シートSの上に第一の樹脂を敷設する第一の樹脂供給ステップと、第一の板状物を押圧し該第一の樹脂を固化した後第一の板状物を剥離して第一の樹脂層31を形成する樹脂層形成ステップと、該第一の樹脂層31の上面に第二の板状物20を設置する板状物設置ステップと、該第二の板状物20の上に樹脂25を敷設する第二の樹脂供給ステップと、板状の被加工物Wを該第二の板状物20の上面に敷設された樹脂25に対面させて押圧して一体にして、外的刺激によって該樹脂25を固化して第二の積層体42を形成する第二の積層体形成ステップと、第二の積層体42から該第一の樹脂層31と該シートSを取り除いて第三の積層体を形成する第三の積層体形成ステップと、を有する被加工物の加工準備方法とする。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
シートの上に樹脂を敷設する第一の樹脂供給ステップと、保持手段によって保持された第一の板状物を該シートの上面に敷設された該樹脂に対面させて押圧して一体にして、外的刺激によって該第一の板状物とシートに挟まれた該樹脂を固化して第一の積層体を形成する第一の積層体形成ステップと、
該第一の積層体から該第一の板状物を剥離して第一の樹脂層を形成する樹脂層形成ステップと、
該樹脂層形成ステップののちに該第一の樹脂層の上面に第二の板状物を設置する板状物設置ステップと、
該第二の板状物の上に樹脂を敷設する第二の樹脂供給ステップと、
該保持手段によって保持された板状の被加工物を、該第二の板状物の上面に敷設された樹脂に対面させて押圧して一体にして、外的刺激によって該第二の板状物と該被加工物に挟まれた該樹脂を固化して第二の積層体を形成する第二の積層体形成ステップと、
第二の積層体から該第一の樹脂層と該シートを取り除いて第三の積層体を形成する第三の積層体形成ステップと、
を有する被加工物の加工準備方法。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該第一の板状物が、該第二の板状物および該被加工物に比べて径が大きい、
ことを特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工準備方法。
【請求項３】
該樹脂は外的刺激で硬化する液状樹脂である、
ことを特徴とする請求項１、又は、請求項２に記載の被加工物の加工準備方法。
【請求項４】
請求項１、又は、請求項２に記載の被加工物の加工準備方法にて準備した該第三の積層体について、
研削装置のチャックテーブルの保持面に該第三の積層体の該第二の板状物を保持させる保持ステップと、
該研削装置の研削手段によって該被加工物の上面を研削して所望の厚みに薄化する研削ステップと、
を行う加工方法。
【請求項５】
該樹脂は外的刺激で硬化する液状樹脂である、
ことを特徴とする請求項４に記載の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物の加工方法に関し、特に、被加工物を研削して所定の厚みへと薄化する加工するための加工準備方法に関する。また、準備した被加工物を加工する方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に開示されるように、板状の加工物であるウェーハを薄化する場合に、薄化されるに伴ってウェーハの剛性が著しく低下するため、搬送・加工時の割れやたわみ等が発生する。この問題を防ぐために、ウェーハを剛性のある支持基板に貼り合わせて研削する研削方法が知られている。
【０００３】
また、このような研削方法に関し、例えば、特許文献２に開示されるように、ウェーハが固定剤となる液状の樹脂を介して支持部材の表面に固定され、所定の厚みまで研削されることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００４－２０７６０６号公報
特開２０１１－１１９５７８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に開示されるような加工をする場合において、ウェーハと固定剤と支持部材を貼り合わせた後の厚みのばらつきが小さい、つまりは、高平坦度が実現されることが必要とされる。仮に、平坦度（厚みのばらつき）が低い場合には、研削時の割れやチッピングの原因となってしまう。さらに、この平坦度に薄化の限界も依存することになる、つまりは、平坦度が低いために所望の薄さにまで薄化できない場合が生じる。
【０００６】
特許文献２に開示されるような装置構成において、例えば、貼り合わせ後の精度（樹脂の厚みばらつき）は、装置の各構成部材の部品精度や取り付け誤差に起因する平行度に大きく依存する。具体的には、被加工物であるウェーハを吸着保持するステージ（上基台、保持パット）と、支持部材および液状樹脂を敷設するステージ（定盤）との平行度は調整により高められるものの、部品交差や取付誤差によっては望んだ精度に到達することができず、貼り付けられた樹脂の厚みばらつきが複合体となったウェーハを研削したときの薄化の限界を決めることになる。これにより、ウェーハが所望の薄さに到達しない可能性や、また、到達したとしてもウェーハの厚みばらつきが大きく加工後の品質が悪くなるという問題がある。
【０００７】
本発明は以上の問題に鑑み、被加工物を樹脂を介して支持部材に固定して薄化加工する加工方法について、薄化加工前の被加工物の加工準備方法と、それによって準備された被加工物の加工方法について、新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
本発明の一態様によれば、シートの上に樹脂を敷設する第一の樹脂供給ステップと、保持手段によって保持された第一の板状物を該シートの上面に敷設された該樹脂に対面させて押圧して一体にして、外的刺激によって該第一の板状物とシートに挟まれた該樹脂を固化して第一の積層体を形成する第一の積層体形成ステップと、該第一の積層体から該第一の板状物を剥離して第一の樹脂層を形成する樹脂層形成ステップと、該樹脂層形成ステップののちに該第一の樹脂層の上面に第二の板状物を設置する板状物設置ステップと、該第二の板状物の上に樹脂を敷設する第二の樹脂供給ステップと、該保持手段によって保持された板状の被加工物を、該第二の板状物の上面に敷設された樹脂に対面させて押圧して一体にして、外的刺激によって該第二の板状物と該被加工物に挟まれた該樹脂を固化して第二の積層体を形成する第二の積層体形成ステップと、第二の積層体から該第一の樹脂層と該シートを取り除いて第三の積層体を形成する第三の積層体形成ステップと、を有する被加工物の加工準備方法とする。
【００１０】
また、本発明の一態様によれば、該第一の板状物が、該第二の板状物および該被加工物に比べて径が大きい、こととする。
（【００１１】以降は省略されています）

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