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公開番号2025070788
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023181333
出願日2023-10-20
発明の名称システム、制御方法、及び、プログラム
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G05B 23/02 20060101AFI20250424BHJP(制御;調整)
要約【課題】作業者起因の登録忘れ及び誤登録を防止する。
【解決手段】加工装置及び端末を備えるシステムであって、加工装置は、第1のコントローラを有し、端末は、電源部と、加工装置の電源が切られているときに加工装置のメンテナンスが必要な項目を表示する表示部と、第2のコントローラと、を有し、第2のコントローラは、メンテナンスが完了したことを示す情報を記憶する完了情報記憶領域と、メンテナンスが完了した旨を第1のコントローラに送信する完了情報送信部と、を含み、加工装置のメンテナンスが完了した旨を加工装置の電源が切られた状態において作業者が端末に入力すると、加工装置の電源が入っているときに、端末の完了情報送信部は、メンテナンスが完了したことを記憶する様に第1のコントローラに指令するシステムを提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工する加工装置と、該加工装置の外部に配置された端末と、を備えるシステムであって、
該加工装置は、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、第１のプロセッサ及び第１のメモリを有し、該保持テーブル及び該加工ユニットの動作を制御する第１のコントローラと、を有し、
該端末は、電源部と、該加工装置の電源が切れているときに該加工装置のメンテナンスが必要な項目を作業者に表示するための表示部と、第２のプロセッサ及び第２のメモリを有し、該表示部の動作を制御する第２のコントローラと、を有し、
該第２のコントローラは、該表示部に表示された該項目のメンテナンスが完了したことを示す情報を記憶する完了情報記憶領域と、メンテナンスが完了した旨を該第１のコントローラに送信する完了情報送信部と、を含み、
該項目について該加工装置のメンテナンスが完了した旨を該加工装置の電源が切られた状態において該作業者が該端末に入力すると、該加工装置の電源が入っているときに、該端末の該完了情報送信部は、メンテナンスが完了したことを記憶する様に該第１のコントローラに指令することを特徴とするシステム。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
該第１のコントローラは、
該項目を該端末に指示する項目指示部と、
該項目を記憶する項目記憶領域と、
該項目のメンテナンスの完了日を記憶する完了日記憶領域と、
該項目のメンテナンスの周期を記憶する周期記憶領域と、
を含み、
該第１のコントローラの該項目指示部は、該加工装置の電源が入っているときに、該完了日記憶領域に記憶された該完了日と、該周期記憶領域に記憶された該周期と、に基づいて、メンテナンスが必要な該項目を該端末に知らせることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
該項目は、該保持テーブルを動かす第１の機構と、該加工ユニットを動かす第２の機構と、においてメンテナンスが必要な作業項目を含むことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
該端末は、該加工装置と無線通信を行うためのアンテナ及び回路を有することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
該端末の該第２のコントローラは、メンテナンスに必要な手順の情報が記憶された手順記憶領域、を含み、
該第２のコントローラは、該作業者からの指示に従い、メンテナンスが行われる該項目についてメンテナンスの手順を該表示部に表示させることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
該加工ユニットは、スピンドルを有し、該スピンドルの先端部に装着された切削ブレード又は研削ホイールにより、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のシステム。
【請求項７】
被加工物を加工する加工装置と、該加工装置の外部に配置された端末と、を備えるシステムを制御する制御方法であって、
該加工装置は、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、第１のコンピュータと、を有し、
該端末は、電源部と、表示部と、第２のコンピュータと、を有し、
該制御方法は、
該加工装置の電源が切れているときに該加工装置のメンテナンスが必要な項目を、該端末の該第２のコンピュータが該表示部を介して作業者に表示する表示工程と、
指示された該項目のメンテナンスが完了したことを示す情報を、該作業者からの指示に応じて該端末の該第２のコンピュータが記憶する記憶工程と、
メンテナンスが完了した旨を、該端末の該第２のコンピュータが該加工装置に送信する送信工程と、
を備え、
該送信工程では、該項目について該加工装置のメンテナンスが完了した旨を該加工装置の電源が切られた状態において該作業者が該端末に入力すると、該加工装置の電源が入っているときに、該端末の該第２のコンピュータは、メンテナンスが完了したことを記憶する様に該加工装置に指令することを特徴とする制御方法。
【請求項８】
被加工物を加工する加工装置と、電源部を有し該加工装置の外部に配置された端末と、を備えるシステムを制御するためのプログラムであって、
該端末の第２のコンピュータに、該加工装置の電源が切れているときに該加工装置のメンテナンスが必要な項目を該端末の表示部を介して表示させる表示工程と、
該端末の該第２のコンピュータに、指示された該項目のメンテナンスが完了したことを示す情報を作業者からの指示に応じて記憶させる記憶工程と、
該第２のコンピュータに、メンテナンスが完了した旨を該加工装置へ送信させる送信工程と、
該送信工程では、該項目について該加工装置のメンテナンスが完了した旨を該加工装置の電源が切られた状態において該作業者が該端末に入力すると、該加工装置の電源が入っているときに、該第２のコンピュータに、メンテナンスが完了したことを記憶する様に該加工装置に指令させること、
を実行させるためのプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工装置と、該加工装置の外部に配置された端末と、を備えるシステム、該システムを制御する制御方法、及び、該システムを制御するためのプログラムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスチップの様な製品の製造には、様々な種類の加工装置が使用される。特に、１つの加工装置内で、被加工物の加工、洗浄等の複数の工程が順次行われる場合、加工装置が大型化する傾向がある。大型の加工装置では、加工装置の前面に設けられた操作パネルから離れた位置で、作業者が加工装置のメンテナンス等の作業を行うことがある。
【０００３】
例えば、半導体ウェーハ等の被加工物の研削に用いられる研削装置では、研削装置の前面に設けられた操作パネルから離れた当該研削装置の側面又は後面に開閉扉が設けられており、作業者は、この開閉扉を介して研削装置の内部に入り込んで作業を行う。
【０００４】
この様な研削装置において作業者が作業を行う場合は、従来、ケーブルを介して研削装置に接続されており且つ一定の距離内で持ち運び可能な操作パネルを使用することで、作業時の不都合を解消していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、加工装置の電源を切った状態で作業を行うことが必須である項目もあり、加工装置の電源を切るとケーブルを介して加工装置に接続された操作パネルも使用できなくなる。それゆえ、メンテナンスが完了した後且つ加工装置の電源を入れる前には、メンテナンスが完了した旨を加工装置に登録しようとしても登録できない。
【０００６】
この場合、加工装置の電源が入った状態となった後に、研削装置の前面に設けられた操作パネル又はケーブルを介して加工装置に接続された操作パネルを介して、メンテナンスが完了した旨を作業者が加工装置に登録する必要がある。
【０００７】
加工装置の電源を入れて加工装置の起動が完了するには、数分の時間を要する。また、加工装置の内部に設けられている駆動源と、当該駆動源により動かされる移動体と、を有する機構において、移動体の位置を初期位置（原点位置）に戻す動作（イニシャル動作とも称される）まで含めると、加工装置の起動には、数十分の時間を要することもある。
【０００８】
その間の時間に、作業者が他の作業等を行うことで、メンテナンスが完了した旨の登録を作業者が忘れるという登録忘れのリスクがある。更に、メンテナンスの完了から登録までの間に時間が空くので、どの項目についてメンテナンスが完了したのかを作業者が忘れてしまい、誤った項目（例えば、メンテナンスをしていない項目）について、メンテナンスが完了した旨を作業者が登録するという誤登録のリスクもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開平１１－４８０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、メンテナンスが完了した際に加工装置の電源が切られた状態であっても、作業者起因の登録忘れ及び誤登録を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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