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公開番号2025079975
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192895
出願日2023-11-13
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250516BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送時におけるウェーハの破損を抑制する。
【解決手段】搬出機構172では、制御部7の第5制御部75が、リリースバルブ92を開くことにより、密室200を、負圧となっている部分吸引路921と連通させることにより、密室200の内圧を弱い負圧にして、吸引面801によって、ウェーハ100を吸引保持している。このように、搬出機構172では、密室200の内圧を、容易に弱い負圧に設定することができる。これにより、吸引パッド80によってウェーハ100を保持する際に、ウェーハ100に強い力がかかることを抑制することができる。したがって、搬出機構172による搬送の際のウェーハ100の破損を抑制することが可能となる。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
吸引面によってウェーハの上面側を吸引保持する吸引パッドと、該吸引パッドを移動させる移動機構とを備え、ウェーハを搬送する搬送装置であって、
該吸引パッドは、該吸引面の外周に配置されたリング状のシール部と、該吸引面に形成され吸引源に接続されている吸引口と、を備えており、
該吸引口と該吸引源とを接続する吸引路と、
該吸引路に配置された分岐部と、
該分岐部と水供給源とを接続する給水路と、
該給水路に配置された給水バルブと、
該吸引路における該分岐部と該吸引源との間に配置された吸引バルブと、
該吸引路における該分岐部と該吸引バルブとの間に配置されたリリースバルブと、
制御部と、を備え、
該制御部は、
該吸引バルブを開け、該リリースバルブを開け、該給水バルブを開けることによって、該吸引路内及び該給水路内を水で満たす第１制御部と、
該吸引パッドを下降させ該シール部を該ウェーハの上面に接触させる第２制御部と、
該吸引バルブ、該リリースバルブおよび該給水バルブを、この順に閉じる第３制御部と、
該吸引バルブを開く時間を制御し、該吸引路における該吸引バルブと該リリースバルブとの間の内圧と大気圧との差を、該吸引源で発生した負圧値以下の第１負圧値に設定する第４制御部と、
該リリースバルブを開く時間を制御して、該ウェーハの上面に接触している該シール部の内側面と該吸引面と該ウェーハの上面とによって形成される密室の内圧と大気圧との差を該第１負圧値より弱い第２負圧値にして該吸引面で該ウェーハを吸引保持する第５制御部と、
該移動機構を制御して該吸引パッドを移動させることにより該ウェーハを搬送する第６制御部と、を備えている、
搬送装置。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
該吸引パッドは、該吸引面に形成された開口と、
該開口と大気とを連通させる逆止弁であって、該開口側が負圧である場合には閉じる一方、該開口側が陽圧である場合に開くように構成されている逆止弁とを備える、
請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
該シール部の内側面と該ウェーハの上面と該吸引面とによって形成された該密室に連通されることが可能であり、内部に空気が満たされているショックアブソーバをさらに備える、
請求項１記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、ウェーハの中心を研削するＴＡＩＫＯ研削装置では、研削後のウェーハの凹部に水を溜めてウェーハの外周を保持し、スピンナ洗浄ユニットにウェーハを搬送している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－００４６５８号公報
特開２０２２－１３５９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したウェーハの搬送の際、凹部に溜めた水の重みによって、凹部が垂れ下がり、リング状の凸部と凹部との境にクラックが生じることがある。
【０００５】
その対策として、特許文献２に開示の技術では、凸部の上面に接触させた吸引パッドによって凹部を覆い、吸引パッドを吸引源に連通させ、凹部が垂れ下がらないようにしている。
【０００６】
しかし、この技術では、凹部にかかる吸引力の調整が困難である。このため、吸引力が強すぎると、凹部の底面が持ち上げられ、リング状の凸部と凹部との境にクラックが生じることがある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、搬送時におけるウェーハの破損を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送装置（本搬送装置）は、吸引面によってウェーハの上面側を吸引保持する吸引パッドと、該吸引パッドを移動させる移動機構とを備え、ウェーハを搬送する搬送装置であって、該吸引パッドは、該吸引面の外周に配置されたリング状のシール部と、該吸引面に形成され吸引源に接続されている吸引口と、を備えており、該吸引口と該吸引源とを接続する吸引路と、該吸引路に配置された分岐部と、該分岐部と水供給源とを接続する給水路と、該給水路に配置された給水バルブと、該吸引路における該分岐部と該吸引源との間に配置された吸引バルブと、該吸引路における該分岐部と該吸引バルブとの間に配置されたリリースバルブと、制御部と、を備え、該制御部は、該吸引バルブを開け、該リリースバルブを開け、該給水バルブを開けることによって、該吸引路内及び該給水路内を水で満たす第１制御部と、該吸引パッドを下降させ該シール部を該ウェーハの上面に接触させる第２制御部と、該吸引バルブ、該リリースバルブおよび該給水バルブを、この順に閉じる第３制御部と、該吸引バルブを開く時間を制御し、該吸引路における該吸引バルブと該リリースバルブとの間の内圧と大気圧との差を、該吸引源で発生した負圧値以下の第１負圧値に設定する第４制御部と、該リリースバルブを開く時間を制御して、該ウェーハの上面に接触している該シール部の内側面と該吸引面と該ウェーハの上面とによって形成される密室の内圧と大気圧との差を該第１負圧値より弱い第２負圧値にして該吸引面で該ウェーハを吸引保持する第５制御部と、該移動機構を制御して該吸引パッドを移動させることにより該ウェーハを搬送する第６制御部と、を備えている。
【０００９】
本搬送装置では、該吸引パッドは、該吸引面に形成された開口と、該開口と大気とを連通させる逆止弁であって、該開口側が負圧である場合には閉じる一方、該開口側が陽圧である場合に開くように構成されている逆止弁とを備えていてもよい。
【００１０】
本搬送装置は、該シール部の内側面と該ウェーハの上面と該吸引面とによって形成された該密室に連通されることが可能であり、内部に空気が満たされているショックアブソーバをさらに備えていてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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