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公開番号2025085880
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-06
出願番号2023199563
出願日2023-11-27
発明の名称カメラ及び加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03B 7/091 20210101AFI20250530BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】撮像倍率を変更するための駆動光学系を利用することなく、マクロ画像及びミクロ画像を迅速に形成することが可能なカメラを提供する。
【解決手段】マクロ被撮像領域に対する第1の波長の光の照射と、ミクロ被撮像領域に対する第2の波長の光の照射と、を行うための光源と、第1の撮像領域と第1の撮像領域と重ならない第2の撮像領域とを有し、かつ、第1の撮像領域における第1の波長の光からのマクロ被撮像領域を示すマクロ画像を形成するための電気信号への変換と、第2の撮像領域における第2の波長の光からのミクロ被撮像領域を示すミクロ画像を形成するための電気信号への変換と、を行うための撮像素子と、マクロ被撮像領域によって反射された第1の波長の光の第1の撮像領域への誘導と、ミクロ被撮像領域によって反射された第2の波長の光の第2の撮像領域への誘導と、を行うための光学系と、を備えるカメラを提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被写体に含まれるマクロ被撮像領域と、該マクロ被撮像領域に含まれ、かつ、該マクロ被撮像領域よりも狭いミクロ被撮像領域と、を別々に撮像するためのカメラであって、
該マクロ被撮像領域に対する第１の波長の光の照射と、該ミクロ被撮像領域に対する第２の波長の光の照射と、を行うための光源と、
第１の撮像領域と該第１の撮像領域と重ならない第２の撮像領域とを有し、かつ、該第１の撮像領域における該第１の波長の光からの該マクロ被撮像領域を示すマクロ画像を形成するための電気信号への変換と、該第２の撮像領域における該第２の波長の光からの該ミクロ被撮像領域を示すミクロ画像を形成するための電気信号への変換と、を行うための撮像素子と、
該マクロ被撮像領域によって反射され又は該マクロ被撮像領域を透過した該第１の波長の光の該第１の撮像領域への誘導と、該ミクロ被撮像領域によって反射され又は該ミクロ被撮像領域を透過した該第２の波長の光の該第２の撮像領域への誘導と、を行うための光学系と、を備え、
該光学系は、該被写体から該撮像素子に向かう該第１の波長の光及び該第２の波長の光が通過する回折レンズと、該回折レンズから該撮像素子に向かう該第１の波長の光及び該第２の波長の光が通過する光分岐部と、を有し、
該回折レンズは、該第２の波長の光に対するｍ次回折光（ｍは０以外の整数）の回折効率をｎ次回折光（ｎはｍ以外の整数）の回折効率よりも大きくするための形状を有する回折面を含み、
該光分岐部は、該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方に対するｐ次回折光（ｐは０以外の整数）の回折効率をｑ次回折光（ｑはｐ以外の整数）の回折効率よりも大きくするための形状を有する回折面を含み、
該光分岐部において回折した該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方のｐ次回折光と、該光分岐部を通過した該第１の波長の光及び該第２の波長の光の他方と、が該撮像素子に誘導されるカメラ。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
該光学系は、該光分岐部において回折した該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方のｐ次回折光が通過する回折光学素子をさらに有し、
該回折光学素子は、該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方に対するｐ次回折光の回折効率をｑ次回折光の回折効率よりも大きくするための形状を有する回折面を含む請求項１に記載のカメラ。
【請求項３】
該第２の波長は、該第１の波長よりも短い請求項１又は請求項２に記載のカメラ。
【請求項４】
該光学系は、該光分岐部を通過した該第１の波長の光が通過し、かつ、該第１の波長の光の透過率が該第２の波長の光の透過率よりも大きい第１の光学フィルタと、
該光分岐部を通過した該第２の波長の光が通過し、かつ、該第２の波長の光の透過率が該第１の波長の光の透過率よりも大きい第２の光学フィルタと、をさらに有する請求項１又は請求項２に記載のカメラ。
【請求項５】
該光学系は、該回折レンズから該光分岐部に向かう該第１の波長の光及び該第２の波長の光のそれぞれの光学倍率を変更するための調整部をさらに有する請求項１又は請求項２に記載のカメラ。
【請求項６】
該光学系は、該光分岐部を通過した該第２の波長の光の光学倍率を変更するための調整部をさらに有する請求項１又は請求項２に記載のカメラ。
【請求項７】
被加工物を加工するための加工装置であって、
該被加工物を保持するための保持ユニットと、
該保持ユニットに保持された該被加工物に加工を施すための加工ユニットと、
該保持ユニットに保持された該被加工物に含まれるマクロ被撮像領域と、該マクロ被撮像領域に含まれ、かつ、該マクロ被撮像領域よりも狭いミクロ被撮像領域と、を別々に撮像するためのカメラと、を備え、
該カメラは、
該マクロ被撮像領域に対する第１の波長の光の照射と、該ミクロ被撮像領域に対する第２の波長の光の照射と、を行うための光源と、
第１の撮像領域と該第１の撮像領域と重ならない第２の撮像領域とを有し、かつ、該第１の撮像領域における該第１の波長の光からの該マクロ被撮像領域を示すマクロ画像を形成するための電気信号への変換と、該第２の撮像領域における該第２の波長の光からの該ミクロ被撮像領域を示すミクロ画像を形成するための電気信号への変換と、を行うための撮像素子と、
該マクロ被撮像領域によって反射され又は該マクロ被撮像領域を透過した該第１の波長の光の該第１の撮像領域への誘導と、該ミクロ被撮像領域によって反射され又は該ミクロ被撮像領域を透過した該第２の波長の光の該第２の撮像領域への誘導と、を行うための光学系と、を備え、
該光学系は、該被加工物から該撮像素子に向かう該第１の波長の光及び該第２の波長の光が通過する回折レンズと、該回折レンズから該撮像素子に向かう該第１の波長の光及び該第２の波長の光が通過する光分岐部と、を有し、
該回折レンズは、該第２の波長の光に対するｍ次回折光（ｍは０以外の整数）の回折効率をｎ次回折光（ｎはｍ以外の整数）の回折効率よりも大きくするための形状を有する回折面を含み、
該光分岐部は、該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方に対するｐ次回折光（ｐは０以外の整数）の回折効率をｑ次回折光（ｑはｐ以外の整数）の回折効率よりも大きくするための形状を有する回折面を含み、
該光分岐部において回折した該第１の波長の光及び該第２の波長の光の一方のｐ次回折光と、該光分岐部を通過した該第１の波長の光及び該第２の波長の光の他方と、が該撮像素子に誘導される加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被写体に含まれるマクロ被撮像領域と、マクロ被撮像領域に含まれ、かつ、マクロ被撮像領域よりも狭いミクロ被撮像領域と、を別々に撮像するためのカメラと、このカメラによって撮像される被写体となる被加工物を加工するための加工装置と、に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、複数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を複数のデバイスの境界に沿って分割することによって製造される。
【０００３】
被加工物の分割は、例えば、切削装置又はレーザー加工装置等の加工装置において行われる。このような加工装置は、一般的に、被加工物を保持するための保持ユニットと、保持ユニットに保持された被加工物に加工を施すための加工ユニットと、保持ユニットに保持された被加工物を撮像するためのカメラと、を備える。
【０００４】
このカメラは、例えば、被加工物の加工対象領域（例えば、複数のデバイスの境界等）等を特定するために利用される。なお、被加工物に形成されるチップの数は、各チップの小型化等に伴って膨大になる。この場合、被加工物の加工対象領域等も狭くなっていることが多い。そのため、被加工物の加工対象領域等を正確に特定するためには、被加工物に含まれる狭い領域（ミクロ被撮像領域）を高倍率で撮像する必要がある。
【０００５】
また、被加工物においては、一般的に、膨大な数のデバイスが規則的に（例えば、マトリックス状）に配列されている。そのため、被加工物のミクロ被撮像領域を示す画像（ミクロ画像）のみを参照する場合には、ミクロ画像において示される領域に対応する被加工物の実際の領域を特定することが困難であることがある。
【０００６】
換言すると、被加工物の加工対象領域等を正確に特定するためには、ミクロ画像のみならず、被加工物に含まれ、かつ、ミクロ被撮像領域を含む広い領域（マクロ被撮像領域）（例えば、被加工物の外縁に形成されているノッチを含む領域）を示す画像（マクロ画像）が必要になることがある。
【０００７】
この点を踏まえて、加工装置に２種類のカメラ、具体的には、被加工物に含まれるマクロ被撮像領域を低倍率で撮像してマクロ画像を形成するためのカメラ（マクロ画像形成用カメラ）及びマクロ被撮像領域に含まれるミクロ撮像領域を高倍率で撮像してミクロ画像を形成するためのカメラ（ミクロ画像形成用カメラ）を設けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００５－８５９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
マクロ画像形成用カメラ及びミクロ画像形成用カメラを備える加工装置においては、被加工物の加工に先立って、例えば、以下のようにマクロ画像及びミクロ画像が形成される。まず、被加工物に含まれるマクロ被撮像領域の撮像に好適な位置にマクロ画像形成用カメラを位置付ける。次いで、マクロ画像形成用カメラによって被加工物を撮像する。
【００１０】
次いで、マクロ被撮像領域に含まれるミクロ被撮像領域の撮像に好適な位置にミクロ画像形成用カメラを位置付ける。次いで、ミクロ画像形成用カメラによって被加工物を撮像する。このようにマクロ画像及びミクロ画像が形成される場合、その所要時間が長くなり、加工装置において被加工物を加工する際のスループットが低くなるおそれがある。
（【００１１】以降は省略されています）

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