特許ウォッチ

公開番号2025084282
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023198066
出願日2023-11-22
発明の名称加工装置及び被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工溝の加工開始側と加工終了側とのいずれの断面形状も確認可能な加工方法及び加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置1であって、被加工物200を保持可能な保持面11を含むチャックテーブル10と、検査片70を保持可能な検査保持面61を含む検査テーブル60と、検査保持面を検査保持面に平行な回転軸55に沿って回転させる回転駆動部63と、被加工物と検査片と、を加工する切削ユニット20と、被加工物と検査片と、を撮像する撮像ユニット30と、を備える。切削ユニット20は、検査片に、回転軸と直交する方向において検査片の少なくとも一端に断面が露出する加工溝80を形成し、回転駆動部は、検査保持面を、加工保持面に平行な加工位置と、加工保持面と直交し、加工溝の加工開始側または加工終了側のいずれかの断面を撮像ユニットで撮像する撮像位置と、の間で回転移動させる。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
加工装置であって、
被加工物を保持可能な加工保持面を含む加工テーブルと、
検査片を保持可能な検査保持面を含む検査テーブルと、
該検査保持面を該検査保持面に平行な回転軸に沿って回転させる回転駆動部と、
被加工物と該検査片と、を加工する加工ユニットと、
被加工物と該検査片と、を撮像する撮像ユニットと、
を備え、
該加工ユニットは、
該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する加工溝を形成し、
該回転駆動部は、
該検査保持面を、
該加工保持面に平行な加工位置と、
該加工保持面と直交し、該加工溝の加工開始側または加工終了側のいずれかの断面を該撮像ユニットで撮像する撮像位置と、
の間で回転移動させる事を特徴とする加工装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
該検査保持面は、
第一検査片を保持する第一検査保持面と、
該第一検査保持面と直交し、第二検査片を保持する第二検査保持面と、を含み
該回転駆動部は、
該第一検査保持面を該加工位置に位置づけるとともに
該第二検査保持面を該撮像位置に位置づける第一位置と、
該第一検査保持面を該撮像位置に位置づけるとともに
該第二検査保持面を該加工位置に位置づける第二位置と、
の間で該検査保持面を回転移動させる事を特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該加工ユニットは、
回転するスピンドルと、
該スピンドルに接続されたマウントと、
該マウントに固定された切削ブレードと、を有する
請求項１または２に記載の加工装置。
【請求項４】
該加工装置は、
該撮像ユニットが撮像した画像によって、
該加工溝の形状が正常であるか判定する判定部をさらに備える
請求項１または２に記載の加工装置。
【請求項５】
請求項１に記載の加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、
該検査片を該加工位置に位置づけ、
該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する該加工溝を形成する加工ステップと、
該検査保持面を回転させて該撮像位置に位置づけ、
該撮像ユニットで該加工溝の加工開始側または加工終了側の断面を撮像する撮像ステップと、を備える被加工物の加工方法。
【請求項６】
請求項２に記載の加工装置を用いた被加工物の加工方法であって、
該第一検査保持面を該加工位置に位置づけて、該第一検査片に第一加工溝を形成する第一加工ステップと、
該第一検査保持面を該撮像位置に位置づけて該撮像ユニットで該第一加工溝の加工開始側の断面を撮像する第一撮像ステップと、
を含む加工開始側検査ステップと、
該第二検査保持面を該加工位置に位置づけて、該第二検査片に第二加工溝を形成する第二加工ステップと、
該第二検査保持面を該撮像位置に位置づけて該撮像ユニットで該第二加工溝の加工終了側の断面を撮像する第二撮像ステップと、
を含む加工終了側検査ステップと、を備え、
該加工開始側検査ステップと、該加工終了側検査ステップと、の
少なくともいずれかを実施する被加工物の加工方法。
【請求項７】
該撮像ユニットが撮像した画像によって、
該加工溝の形状が正常であるか判定する判定ステップをさらに備える
請求項５または６に記載の被加工物の加工方法。
【請求項８】
該加工ユニットは切削ブレードを有し、
該撮像ユニットが撮像した画像によって、
該切削ブレードの刃先位置を検出する刃先位置検出ステップをさらに備える
請求項５または請求項６に記載の被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び被加工物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物に加工溝を形成する加工装置及び加工方法において、加工テーブル横にある検査テーブルに保持した検査片を加工し、検査片を回転させて加工溝の断面形状を加工装置上で撮像できる装置が提供されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０２２６５７号公報
特開２００７－２９６６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術において検査片を被加工物の材質に合わせて形成した場合、材質や加工方法によっては加工溝の加工開始側と加工終了側とのいずれか一方にバリやクラック、チッピングなどの不良がより発生しやすい傾向がある。これらの不良が発生していると、加工溝の幅や深さなどの形状を正確に検出できない可能性がある。したがって、加工開始側と加工終了側と、の加工品質の良いいずれかまたは両方で加工溝の形状を確認する必要があるという解決すべき課題がある。
【０００５】
本発明は係る点に鑑みてなされたものであり、加工溝の加工開始側と加工終了側とのいずれの断面形状も確認可能な加工方法及び加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の加工装置は、被加工物を保持可能な加工保持面を含む加工テーブルと、検査片を保持可能な検査保持面を含む検査テーブルと、該検査保持面を該検査保持面に平行な回転軸に沿って回転させる回転駆動部と、被加工物と該検査片と、を加工する加工ユニットと、被加工物と該検査片と、を撮像する撮像ユニットと、を備え、該加工ユニットは、該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する加工溝を形成し、該回転駆動部は、該検査保持面を、該加工保持面に平行な加工位置と、該加工保持面と直交し、該加工溝の加工開始側または加工終了側のいずれかの断面を該撮像ユニットで撮像する撮像位置と、の間で回転移動させる。
【０００７】
また、本発明の加工装置の該検査保持面は、第一検査片を保持する第一検査保持面と、該第一検査保持面と直交し、第二検査片を保持する第二検査保持面と、を含み、該回転駆動部は、該第一検査保持面を該加工位置に位置づけるとともに該第二検査保持面を該撮像位置に位置づける第一位置と、該第一検査保持面を該撮像位置に位置づけるとともに該第二検査保持面を該加工位置に位置づける第二位置と、の間で該検査保持面を回転移動させてもよい。
【０００８】
また、本発明の加工装置の該加工ユニットは、回転するスピンドルと、該スピンドルに接続されたマウントと、該マウントに固定された切削ブレードと、を有してもよい。
【０００９】
また、本発明の加工装置は、該撮像ユニットが撮像した画像によって、該加工溝の形状が正常であるか判定する判定部をさらに備えてもよい。
【００１０】
また、本発明の加工装置を用いた被加工物の加工方法は、該検査片を該加工位置に位置づけ、該検査片に、該回転軸と直交する方向において該検査片の少なくとも一端に断面が露出する該加工溝を形成する加工ステップと、該検査保持面を回転させて該撮像位置に位置づけ、該撮像ユニットで該加工溝の加工開始側または加工終了側の断面を撮像する撮像ステップと、を備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許