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公開番号2025083829
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-02
出願番号2023197438
出願日2023-11-21
発明の名称保管システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250526BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削ブレードの開口部に負荷をかけることなく、切削ブレードがブレード支持軸上を移動することを規制可能となること。
【解決手段】保管システムは、保持部55を備える。保持部55は、切削ブレードの開口径に対応する外形を有し、切削ブレードの開口部が挿入されることで切削ブレードを支持するブレード支持軸56と、ブレード支持軸56の外周面564に設けられた穴563から突出可能なようにブレード支持軸56内部に収容され、穴563から突出することで切削ブレード21がブレード支持軸56の延出方向へ移動することを規制する規制ピン57と、規制ピン57の下方に位置するようにブレード支持軸56内部に収容され、規制ピン57を支持する支持ブロック58と、支持ブロック58をブレード支持軸56の該延出方向へと付勢する弾性部材59と、を有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
中央に開口部を有する切削ブレードの保管システムあって、
該切削ブレードを保管する保管部と、
該保管部に該切削ブレードを受け渡す搬送アームと、
該保管部と該搬送アームとの少なくともいずれか一方を、該搬送アームが該保管部に該切削ブレードを受け渡す受け渡し位置と退避位置との間で移動させる移動ユニットと、を備え、
該保管部は、
高さ方向に伸びる支柱と、
該支柱の側面から延出し、該切削ブレードの開口径に対応する外形を有し、該切削ブレードの該開口部が挿入されることで該切削ブレードを支持するブレード支持軸と、
該ブレード支持軸の表面に設けられた穴から突出可能なように該ブレード支持軸内部に収容され、該穴から突出することで該切削ブレードが該ブレード支持軸の延出方向へ移動することを規制する規制ピンと、
該規制ピンの下方に位置するように該ブレード支持軸内部に収容され、該規制ピンを支持する支持ブロックと、
該支持ブロックを該ブレード支持軸の該延出方向へと付勢する弾性部材と、を有し、
該搬送アームは、
該切削ブレードを保持するブレード保持部と、
該受け渡し位置において、該支持ブロックと対面するプッシュ部と、を有し、
該移動ユニットによって該保管部と該搬送アームとの少なくともいずれか一方が該受け渡し位置に移動するときに、該支持ブロックが該プッシュ部に押されて該支柱側へ移動することで、該規制ピンが下方に移動し該穴から突出しない非作用位置へと位置付けられ、
該移動ユニットによって該搬送アーム又は該保管部が該退避位置に移動するときに、該支持ブロックが該弾性部材に付勢されて該ブレード支持軸の延出方向へ移動することで、該規制ピンが上方に移動し該穴から突出する作用位置へと位置づけられることを特徴とする保管システム。
続きを表示（約 160 文字）【請求項２】
該支持ブロックと該規制ピンとの少なくともどちらか一方は、
他方との接触面が該支柱側に向かって高くなる斜面又は曲面であり、
該支持ブロックが該プッシュ部に押されて該支柱側へ移動するときに、該規制ピンが該接触面に沿って下方に移動することを特徴とする請求項１に記載の保管システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードの保管システムに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハなどを切削する切削装置に装着された切削ブレードを自動的に交換できる自動交換装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の自動交換装置は、切削ブレードを保管するブレード保管部と、切削ブレードを把持可能で切削ブレードをブレード保管部に受け渡しをする搬送アームと、を備える。
【０００４】
ブレード保管部は、切削ブレードの中央の開口部の内径に対応した外形を有するブレード支持軸に切削ブレードの中央の開口部が挿入されることで切削ブレードを支持して保管している。
【０００５】
そして、このブレード支持軸上で切削ブレードが移動して切削ブレードが落下することを防ぐために、ブレード支持軸の表面には切削ブレードの移動を規制する規制部が配設されている。この規制部は、ボールとボールをブレード支持軸の径方向外側に押圧するスプリングとからなっており、ボールに作用する力が所定の大きさであるまでは規制機能が働くようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２２－１０３８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そのため、特許文献１に示された自動交換装置は、搬送アームが切削ブレードをブレード保管部に受け渡す際には、規制部のボールと切削ブレードの開口部との間には所定の大きさの力がかかる。この力に起因して、規制部のボールの摩耗が進んだり、切削ブレードの開口部の内縁にキズが付き切削不良の原因となったりする恐れがある。
【０００８】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードの開口部に負荷をかけることなく、切削ブレードがブレード支持軸上を移動することを規制可能となる切削ブレードの保管システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保管システムは、中央に開口部を有する切削ブレードの保管システムあって、該切削ブレードを保管する保管部と、該保管部に該切削ブレードを受け渡す搬送アームと、該保管部と該搬送アームとの少なくともいずれか一方を、該搬送アームが該保管部に該切削ブレードを受け渡す受け渡し位置と退避位置との間で移動させる移動ユニットと、を備え、該保管部は、高さ方向に伸びる支柱と、該支柱の側面から延出し、該切削ブレードの開口径に対応する外形を有し、該切削ブレードの該開口部が挿入されることで該切削ブレードを支持するブレード支持軸と、該ブレード支持軸の表面に設けられた穴から突出可能なように該ブレード支持軸内部に収容され、該穴から突出することで該切削ブレードが該ブレード支持軸の延出方向へ移動することを規制する規制ピンと、該規制ピンの下方に位置するように該ブレード支持軸内部に収容され、該規制ピンを支持する支持ブロックと、該支持ブロックを該ブレード支持軸の該延出方向へと付勢する弾性部材と、を有し、該搬送アームは、該切削ブレードを保持するブレード保持部と、該受け渡し位置において、該支持ブロックと対面するプッシュ部と、を有し、該移動ユニットによって該保管部と該搬送アームとの少なくともいずれか一方が該受け渡し位置に移動するときに、該支持ブロックが該プッシュ部に押されて該支柱側へ移動することで、該規制ピンが下方に移動し該穴から突出しない非作用位置へと位置付けられ、該移動ユニットによって該搬送アーム又は該保管部が該退避位置に移動するときに、該支持ブロックが該弾性部材に付勢されて該ブレード支持軸の延出方向へ移動することで、該規制ピンが上方に移動し該穴から突出する作用位置へと位置づけられることを特徴とする。
【００１０】
前記保管システムでは、該支持ブロックと該規制ピンとの少なくともどちらか一方は、他方との接触面が該支柱側に向かって高くなる斜面又は曲面であり、該支持ブロックが該プッシュ部に押されて該支柱側へ移動するときに、該規制ピンが該接触面に沿って下方に移動しても良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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