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公開番号2025094554
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-25
出願番号2023210174
出願日2023-12-13
発明の名称チャックテーブル及びチャックテーブルの製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B23Q 3/08 20060101AFI20250618BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】面積または形の異なる少なくとも2つのワークを吸引保持するチャックテーブルを短時間で製造する。
【解決手段】面積または形の異なる少なくとも2つのワークを各々吸引保持するために吸引面の形状を切換可能なチャックテーブル(10)であって、第1保持面(32)を備える第1ポーラス部材(30)と、第2保持面(33)を備える第2ポーラス部材(31)と、第1ポーラス部材と第2ポーラス部材との間に配置するガラス部材(38)と、第1ポーラス部材、第2ポーラス部材、ガラス部材を収容する凹部(12)を備える枠体(11)と、を備え、接着部材(36)で第1ポーラス部材、第2ポーラス部材、枠体を接着して構成される。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
面積または形の異なる少なくとも２つのワークを各々吸引保持するために吸引面の形状を切換可能なチャックテーブルであって、
第１保持面を備える第１ポーラス部材と、第２保持面を備える第２ポーラス部材と、該第１ポーラス部材と該第２ポーラス部材との間に配置するガラス部材と、該第１ポーラス部材、該第２ポーラス部材、該ガラス部材を収容する凹部を備える枠体と、を備え、接着部材で該第１ポーラス部材、該第２ポーラス部材、該枠体を接着してなるチャックテーブル。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
該ガラス部材と該接着部材とが同一部材で形成された請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項３】
面積または形の異なる少なくとも２つのワークを各々吸引保持するために吸引面の形状を切換可能なチャックテーブルを製造するチャックテーブルの製造方法であって、
枠体の凹部にポーラス板の上面を露出した状態で配置し、該凹部の内面と該ポーラス板の外面とに第１ガラスペーストを塗布し、第１の温度で加熱して該枠体と該ポーラス板とを接着する接着工程と、
該接着工程の後、該ポーラス板の上面から該凹部の底面に到達する溝を形成する溝形成工程と、
該溝に第２ガラスペーストを充填させる充填工程と、
該第２ガラスペーストを該第１の温度より低い第２の温度で加熱して該第２ガラスペーストを硬化させガラス部材を形成する硬化工程と、
該上面を研削砥石で研削し該吸引面を形成する研削工程と、
からなる、チャックテーブルの製造方法。
【請求項４】
該第１ガラスペーストと該第２ガラスペーストとが同一部材である、請求項３記載のチャックテーブルの製造方法。
【請求項５】
該第２ガラスペーストに粒状の骨材を添加し、硬化した該第２ガラスペーストと該ポーラス板とを研削砥石で研削する際の研削負荷を同じにする、請求項３または請求項４記載のチャックテーブルの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブル及びチャックテーブルの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
研削砥石でウェーハを研削する研削装置や、研磨パッドでウェーハを研磨する研磨装置のように、ウェーハに所定の加工を行う加工装置では、ウェーハをチャックテーブルの保持面で保持した状態で加工を行う。チャックテーブルは、多孔質材からなるポーラス部材を枠体に保持して構成され、吸引源でポーラス部材からエアを吸引することで、保持面（ポーラス部材の上面）に吸引力を作用させてウェーハを吸引保持する。
【０００３】
特許文献１、２及び３に開示のように、少なくとも２種類の形が異なるウェーハを吸引保持可能にするべく、バリアを配置して保持面（ポーラス部）を仕切った構成のチャックテーブルが知られている。このように保持面を仕切ったチャックテーブルは、ユニバーサルチャックテーブルなどと呼ばれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－２２６６０７号公報
特開平３－０３２５３８号公報
特願２０２２－１２９９１５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のユニバーサルチャックテーブルは、保持面を仕切った構造にするための部品点数が多くなり、製造に時間がかかるという問題があった。例えば、保持面を２つの領域に区切るユニバーサルチャックテーブルでは、第１ポーラス部材と、バリア部材と、第２のポーラス部材とを、枠体の凹部に収容して接着している。そのため、１つのポーラス部材を枠体の凹部に収容して接着する一般的なチャックテーブルに比べて、ユニバーサルチャックテーブルに製造には多くの時間がかかっていた。
【０００６】
従って、面積または形の異なる少なくとも２つのワークを吸引保持するチャックテーブルを短時間で製造するという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、面積または形の異なる少なくとも２つのワークを各々吸引保持するために吸引面の形状を切換可能なチャックテーブルであって、第１保持面を備える第１ポーラス部材と、第２保持面を備える第２ポーラス部材と、該第１ポーラス部材と該第２ポーラス部材との間に配置するガラス部材と、該第１ポーラス部材、該第２ポーラス部材、該ガラス部材を収容する凹部を備える枠体と、を備え、接着部材で該第１ポーラス部材、該第２ポーラス部材、該枠体を接着してなる。
【０００８】
該ガラス部材と該接着部材とが同一部材で形成されることが好ましい。
【０００９】
本発明の一態様は、面積または形の異なる少なくとも２つのワークを各々吸引保持するために吸引面の形状を切換可能なチャックテーブルを製造するチャックテーブルの製造方法であって、枠体の凹部にポーラス板の上面を露出した状態で配置し、該凹部の内面と該ポーラス板の外面とに第１ガラスペーストを塗布し、第１の温度で加熱して該枠体と該ポーラス板とを接着する接着工程と、該接着工程の後、該ポーラス板の上面から該凹部の底面に到達する溝を形成する溝形成工程と、該溝に第２ガラスペーストを充填させる充填工程と、該第２ガラスペーストを該第１の温度より低い第２の温度で加熱して該第２ガラスペーストを硬化させガラス部材を形成する硬化工程と、該上面を研削砥石で研削し該吸引面を形成する研削工程と、からなる。
【００１０】
該第１ガラスペーストと該第２ガラスペーストとが同一部材であることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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