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公開番号2025093234
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208850
出願日2023-12-11
発明の名称搬送用具及び部品の交換方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B62B 3/16 20060101AFI20250616BHJP(鉄道以外の路面車両)
要約【課題】機械の部品を交換する際の手間を低減することが可能な搬送用具を提供する。
【解決手段】搬送用具は、複数の第1車輪と、複数の第1車輪が設けられる第1シャーシと、第1シャーシが装着される第1フレームと、第1シャーシの逆側に位置するように第1フレームに装着される第1荷台と、を有する第1台車と、複数の第2車輪と、複数の第2車輪が設けられる第2シャーシと、第2シャーシが装着される第2フレームと、第2シャーシの逆側に位置するように第2フレームに装着される第2荷台と、を有する第2台車と、を備える。上下方向において対向する第1荷台及び第2荷台のうち下方に位置する方に被搬送物が積まれるとともに、複数の第1車輪又は複数の第2車輪のうち下方に位置する方が接地され、かつ、それらのうち上方に位置する方が第1荷台及び第2荷台の上方に位置するように、第1台車と第2台車とが連結された状態で被搬送物が搬送される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被搬送物の搬送に使用される搬送用具であって、
複数の第１車輪と、該複数の第１車輪が設けられる第１シャーシと、該第１シャーシが装着される第１フレームと、該第１シャーシの逆側に位置するように該第１フレームに装着される第１荷台と、を有する第１台車と、
複数の第２車輪と、該複数の第２車輪が設けられる第２シャーシと、該第２シャーシが装着される第２フレームと、該第２シャーシの逆側に位置するように該第２フレームに装着される第２荷台と、を有する第２台車と、を備え、
上下方向において対向する該第１荷台及び該第２荷台のうち下方に位置する方に該被搬送物が積まれるとともに、該複数の第１車輪又は該複数の第２車輪のうち下方に位置する方が接地され、かつ、それらのうち上方に位置する方が該第１荷台及び該第２荷台の上方に位置するように、該第１台車と該第２台車とが連結された状態で該被搬送物を搬送する搬送用具。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
該第１台車及び該第２台車は、該複数の第１車輪が該複数の第２車輪の下方に位置するように連結され、
該第１フレームには、接地された該複数の第１車輪を浮かせる不動自立位置と、浮いた該複数の第１車輪を再び接地させる搬送可能位置と、のいずれかに位置付けられるように移動可能な脚部が装着される請求項１に記載の搬送用具。
【請求項３】
該上下方向において該第１シャーシを該複数の該第１車輪と該第１荷台との間に位置付けるように該第１シャーシを該第１フレームに装着する第１利用可能状態から該複数の該第１車輪を該第１シャーシと該第１荷台との間に位置付けるように該第１シャーシを該第１フレームに装着する第１収容状態への変更と、
該第１収容状態から該第１利用可能状態への変更と、
該上下方向において該第２シャーシを該複数の該第２車輪と該第２荷台との間に位置付けるように該第２シャーシを該第２フレームに装着する第２利用可能状態から該複数の該第２車輪を該第２シャーシと該第２荷台との間に位置付けるように該第２シャーシを該第２フレームに装着する第２収容状態への変更と、
該第２収容状態から該第２利用可能状態への変更と、が可能である請求項１又は２に記載の搬送用具。
【請求項４】
該第１フレーム又は該第２フレームの少なくとも一方に装着され、かつ、該被搬送物を搬送する際に該被搬送物の側面の少なくとも一部を囲むカバーをさらに備える請求項１又は２に記載の搬送用具。
【請求項５】
該第１荷台及び該第２荷台のそれぞれは、交換可能である請求項１又は２に記載の搬送用具。
【請求項６】
複数の第１車輪と、該複数の第１車輪が設けられる第１シャーシと、該第１シャーシが装着される第１フレームと、該第１シャーシの逆側に位置するように該第１フレームに装着される第１荷台と、を有する第１台車と、
複数の第２車輪と、該複数の第２車輪が設けられる第２シャーシと、該第２シャーシが装着される第２フレームと、該第２シャーシの逆側に位置するように該第２フレームに装着される第２荷台と、を有する第２台車と、
を備える搬送用具を使用して、機械の部品を交換する部品の交換方法であって、
上下方向において対向する該第１荷台及び該第２荷台のうち下方に位置する該第１荷台に交換部品が積まれるとともに、該複数の第１車輪が接地され、かつ、該複数の第２車輪が該第１荷台及び該第２荷台の上方に位置するように、該第１台車と該第２台車とを連結することによって構成される該搬送用具を該機械に該交換部品を取り付け可能な位置まで搬送する第１搬送ステップと、
該第１搬送ステップの後に、該第１台車と該第２台車とを分離する分離ステップと、
該分離ステップの後に、該機械から被交換部品を取り外して該第２荷台に積載する取り外しステップと、
該取り外しステップの後に、該第１荷台に積まれた該交換部品を該機械に取り付ける取り付けステップと、
該取り付けステップの後に、該上下方向において対向する該第１荷台及び該第２荷台のうち下方に位置する該第２荷台に該被交換部品が積まれるとともに、該複数の第２車輪が接地され、かつ、該複数の第１車輪が該第１荷台及び該第２荷台の上方に位置するように、該第１台車と該第２台車とを連結することによって該搬送用具を構成する連結ステップと、
該連結ステップの後に、該搬送用具を該位置から搬送する第２搬送ステップと、
を備える部品の交換方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物の搬送に使用される搬送用具と、この搬送用具を使用して機械の部品を交換する部品の交換方法と、に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、その表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハの裏面側を研削した後、複数のデバイスの境界に沿ってウェーハを分割することによって製造される。
【０００３】
ウェーハの裏面側を研削するための研削装置は、一般的に、ウェーハの表面側を保持するためのチャックテーブルと、環状に離散して配置されている複数の研削砥石を含む研削ホイールが先端部に装着されているスピンドルと、を備える。そして、この研削装置におけるウェーハの裏面側の研削は、ウェーハの表面側を保持するチャックテーブルとスピンドルとの双方を高速回転させながら、複数の研削砥石をウェーハの裏面側に押し付けることによって行われる。
【０００４】
このようにウェーハの裏面側を研削する際には、所望の位置からスピンドルを動かさないようにエアベアリングによってスピンドルを保持していることが多い。ただし、高速回転に伴ってスピンドルに作用する遠心力又はウェーハの裏面側の研削に伴ってスピンドルに作用する押圧力等が過大になると、スピンドルが所望の位置から動いて筐体等に接触することがある。
【０００５】
そして、この接触に起因してスピンドルが損傷すると、高速回転するスピンドルの回転軸がぶれて、ウェーハの裏面側を所望の加工精度で研削することが困難になるおそれがある。そのため、このような場合には、研削装置のスピンドルを交換する必要がある。ただし、スピンドルは、一般的に、１５０ｋｇ～２００ｋｇの重量を有し、その交換の手間が大きい。
【０００６】
例えば、研削装置のスピンドル（不良品）を別のスピンドル（良品）に交換するためには、（１）良品の梱包と、（２）梱包された良品の台車への積載と、（３）良品を積んだ台車の研削装置近傍への搬送と、（４）研削装置の近傍に搬送された良品の開梱と、（５）不良品の研削装置からの取り外しと、（６）台車に積まれた良品の研削装置への取り付けと、（７）研削装置から取り外された不良品の梱包と、（８）梱包された不良品の台車への積載と、（９）不良品を積んだ台車の研削装置の近傍からの搬送と、を行う必要がある。
【０００７】
このような手間は、研削装置のスピンドルを交換する時のみならず、その他の機械の部品を交換する時にも生じることがある。そこで、機械の部品交換の手間を低減するために、梱包部材と梱包部材を搬送するための台車とが一体化されている搬送梱包装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この搬送梱包装置を台車として使用することによって、上記の（１）及び（２）の２つのステップを１つにまとめ、かつ、上記の（７）及び（８）の２つのステップを１つにまとめることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開平９－１５６６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の（５）のステップの前に上記の（６）のステップを行うことはできない。すなわち、交換対象となる部品（被交換部品）が機械から取り外されていなければ、この部品と交換される部品（交換部品）を機械に取り付けることはできない。そのため、機械から取り外された被交換部品は、交換部品を積んだ台車に直接積載されることなく仮置きされるか、又は、この台車とは別の台車に積載されることが多い。
【００１０】
ただし、被交換部品が仮置きされる場合には、機械に交換部品を取りつけた後に被交換部品を台車に積載するという手間が生じる。また、被交換部品が別の台車に積載される場合には、交換部品を搬送するための台車とともに別の台車を機械の近傍まで搬送する、又は、別の台車を機械の近傍に予め用意するという手間が生じる。
（【００１１】以降は省略されています）

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