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公開番号2025079930
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192815
出願日2023-11-13
発明の名称温度制御装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B23Q 11/12 20060101AFI20250516BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】スピンドルユニットを充分に冷却することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】温度制御装置2は、液体を所定の温度に調整する温度調整手段14と、液体を圧送する圧送手段16と、流路8の入口8a側に配設された第一の温度センサー18と、流路8の出口8b側に配設された第二の温度センサー20と、制御手段22とを備える。制御手段22は、第二の温度センサー20が検出した温度が所望の温度になるように温度調整手段14を制御するとともに、第一の温度センサー18が検出した温度と第二の温度センサー20が検出した温度との温度差が所定値になるように圧送手段16を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
工具が装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに形成された入口および出口を有する流路と、を含むスピンドルユニットの温度を制御する温度制御装置であって、
液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、液体を圧送する圧送手段と、該流路の入口側に配設された第一の温度センサーと、該流路の出口側に配設された第二の温度センサーと、制御手段と、を備え、
該制御手段は、該第二の温度センサーが検出した温度が所望の温度になるように該温度調整手段を制御するとともに、該第一の温度センサーが検出した温度と該第二の温度センサーが検出した温度との温度差が所定値になるように該圧送手段を制御する温度制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、工具が装着されるスピンドルと、スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、ハウジングに形成された入口および出口を有する流路と、を含むスピンドルユニットの温度を制御する温度制御装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削ホイールに研削水（純水）を供給する研削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に研削することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、切削ブレードに切削水（純水）を供給する切削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献２参照）。
【０００５】
研削手段および切削手段のスピンドルユニットは、発熱によって熱ひずみが生じる場合がある。スピンドルユニットに熱ひずみが生じると、高精度な加工を維持できなくなる。そこで、熱ひずみの影響を軽減するための制御が温度制御装置によって行われている。温度制御装置においては、スピンドルユニットの内部に配設された流路に一定の温度に調整された液体（純水）を流入させスピンドルユニットを冷却する。この際、温度制御装置は、流路に流入させる液体の温度と、流路から流出する液体の温度とを計測して、これらの温度差が小さくなるように、流路に流入させる液体の流量を調整している（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８７６８号公報
特開２０１９－１４５５８３号公報
特開２０２２－１５５３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、被加工物の種類によって研削負荷または切削負荷が比較的大きく変化する場合には、スピンドルユニットの流路に流入させるべき流量が、温度制御装置から供給可能な流量の許容値（最大値）を超えてしまうときがある。このようなときには、スピンドルユニットを充分に冷却できないという問題が生じてしまう。
【０００８】
本発明の課題は、スピンドルユニットを充分に冷却することができる温度制御装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の温度制御装置が提供される。すなわち、
「工具が装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに形成された入口および出口を有する流路と、を含むスピンドルユニットの温度を制御する温度制御装置であって、
液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、液体を圧送する圧送手段と、該流路の入口側に配設された第一の温度センサーと、該流路の出口側に配設された第二の温度センサーと、制御手段と、を備え、
該制御手段は、該第二の温度センサーが検出した温度が所望の温度になるように該温度調整手段を制御するとともに、該第一の温度センサーが検出した温度と該第二の温度センサーが検出した温度との温度差が所定値になるように該圧送手段を制御する温度制御装置」が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の温度制御装置は、
工具が装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに形成された入口および出口を有する流路と、を含むスピンドルユニットの温度を制御する温度制御装置であって、
液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、液体を圧送する圧送手段と、該流路の入口側に配設された第一の温度センサーと、該流路の出口側に配設された第二の温度センサーと、制御手段と、を備え、
該制御手段は、該第二の温度センサーが検出した温度が所望の温度になるように該温度調整手段を制御するとともに、該第一の温度センサーが検出した温度と該第二の温度センサーが検出した温度との温度差が所定値になるように該圧送手段を制御するので、液体の温度を流路の出口側で計測し、出口側の温度が所望の温度になるように温度調整手段を制御することにより、スピンドルユニットの温度を安定して制御できる。また、本発明においては、流路の入口側の液体温度と流路の出口側の液体温度との温度差が所定値になるように圧送手段を制御することにより、スピンドルユニットを常に一定の温度に維持することができる。したがって、本発明によれば、スピンドルユニットを充分に冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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