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公開番号2025087481
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202174
出願日2023-11-29
発明の名称工具着脱用治具
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250603BHJP(研削;研磨)
要約【課題】スピンドルに連結されたマウントに対して加工用の工具を取り付け、又は、マウントから工具を取り外す際に、工具が落下する可能性を低く抑えることのできる新たな工具着脱用治具を提供する。
【解決手段】工具着脱用治具は、工具を加工部側から支持できるように構成された支持部と、支持部の端部に設けられた側壁部と、側壁部に配置され、マウントに対して側壁部を固定できるように構成されたクランプ部と、を備え、クランプ部は、側壁部に固定された固定部と、固定部に対して回転できるように連結された可動部と、可動部に設けられ、マウントに対して側壁部を固定する際にマウントに接触する接触部と、接触部がマウントに接触する接触位置と、接触部がマウントから離れる退避位置と、の間で可動部を回転させることができるように構成された移動機構と、を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１面及び該第１面とは反対側の第２面を有する基台部と、該基台部の該第１面に設けられた加工部と、を有する加工用の工具の該基台部側を、回転軸となるスピンドルに連結されたマウントに対して取り付け、又は、該マウントから取り外す際に用いられる工具着脱用治具であって、
該工具を該加工部側から支持できるように構成された支持部と、
該支持部の端部に設けられた側壁部と、
該側壁部に配置され、該マウントに対して該側壁部を固定できるように構成されたクランプ部と、を備え、
該クランプ部は、
該側壁部に固定された固定部と、
該固定部に対して回転できるように連結された可動部と、
該可動部に設けられ、該マウントに対して該側壁部を固定する際に該マウントに接触する接触部と、
該接触部が該マウントに接触する接触位置と、該接触部が該マウントから離れる退避位置と、の間で該可動部を回転させることができるように構成された移動機構と、を有する工具着脱用治具。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
該移動機構は、
該固定部に対して回転できるように連結されたレバーハンドルと、
該レバーハンドルと該可動部とを連結する連結部材と、を含み、
該レバーハンドルを第１位置から第２位置まで回転させると該可動部が該退避位置から該接触位置まで回転し、且つ、該レバーハンドルが該第２位置に位置づけられた状態で、該接触位置に位置づけられた該可動部の該退避位置へと向かう動きを規制するように構成されている請求項１に記載の工具着脱用治具。
【請求項３】
該クランプ部は、該工具を該マウントに取り付けるために該マウントに設けられ締結具が挿入される貫通穴に対して、該接触部の一部を挿入できるように構成されている請求項１又は請求項２に記載の工具着脱用治具。
【請求項４】
該接触部は、先端に向かうにつれて細くなるように構成されている請求項１又は請求項２に記載の工具着脱用治具。
【請求項５】
該側壁部は、該マウントに対して固定される際に該基台部の外側面に接触する凸部を有する請求項１又は請求項２に記載の工具着脱用治具。
【請求項６】
該側壁部は、該工具を該マウントに取り付けるために使用される締結具を収容できる収容部を有する請求項１又は請求項２に記載の工具着脱用治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドルに連結されたマウントに対して加工用の工具を取り付け、又は、マウントから加工用の工具を取り外す際に用いられる工具着脱用治具に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状のワークピースを薄くするために、研削装置や研磨装置等と呼ばれる加工装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。これらの加工装置は、代表的には、加工用の工具が取り付けられるマウントが連結されたスピンドルと、スピンドルの下方に配置されワークピースを保持するチャックテーブルと、を備える。チャックテーブルにより保持されたワークピースに対して回転させた工具を接触させることにより、ワークピースが加工される。
【０００３】
ところで、上述した加工装置において使用される工具は、ワークピースの加工が進むにつれて摩耗する。そこで、ワークピースが常に良好に加工されるように、工具は、適切なタイミングで交換されている。一方で、この工具は、ワークピースの全体を加工できる程度に大きく、その交換にかかる作業は、決して容易ではない。そのため、工具を交換する際に作業者が誤って工具を落下させ、チャックテーブルや工具が破損してしまうこともあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００２－２８３２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
よって、本発明の目的は、スピンドルに連結されたマウントに対して加工用の工具を取り付け、又は、マウントから工具を取り外す際に、工具が落下する可能性を低く抑えることのできる新たな工具着脱用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面によれば、第１面及び該第１面とは反対側の第２面を有する基台部と、該基台部の該第１面に設けられた加工部と、を有する加工用の工具の該基台部側を、回転軸となるスピンドルに連結されたマウントに対して取り付け、又は、該マウントから取り外す際に用いられる工具着脱用治具であって、該工具を該加工部側から支持できるように構成された支持部と、該支持部の端部に設けられた側壁部と、該側壁部に配置され、該マウントに対して該側壁部を固定できるように構成されたクランプ部と、を備え、該クランプ部は、該側壁部に固定された固定部と、該固定部に対して回転できるように連結された可動部と、該可動部に設けられ、該マウントに対して該側壁部を固定する際に該マウントに接触する接触部と、該接触部が該マウントに接触する接触位置と、該接触部が該マウントから離れる退避位置と、の間で該可動部を回転させることができるように構成された移動機構と、を有する工具着脱用治具が提供される。
【０００７】
好ましくは、該移動機構は、該固定部に対して回転できるように連結されたレバーハンドルと、該レバーハンドルと該可動部とを連結する連結部材と、を含み、該レバーハンドルを第１位置から第２位置まで回転させると該可動部が該退避位置から該接触位置まで回転し、且つ、該レバーハンドルが該第２位置に位置づけられた状態で、該接触位置に位置づけられた該可動部の該退避位置へと向かう動きを規制するように構成されている。
【０００８】
また、好ましくは、該クランプ部は、該工具を該マウントに取り付けるために該マウントに設けられ締結具が挿入される貫通穴に対して、該接触部の一部を挿入できるように構成されている。また、好ましくは、該接触部は、先端に向かうにつれて細くなるように構成されている。
【０００９】
また、好ましくは、該側壁部は、該マウントに対して固定される際に該基台部の外側面に接触する凸部を有する。また、好ましくは、該側壁部は、該工具を該マウントに取り付けるために使用される締結具を収容できる収容部を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面にかかる工具着脱用治具は、加工用の工具を支持できるように構成された支持部と、支持部の端部に設けられた側壁部と、側壁部に配置され、マウントに対して側壁部を固定できるように構成されたクランプ部と、を備える。そのため、マウントに対して側壁部を固定すると、支持部は、マウントとの間で工具を支持することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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