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公開番号2025086031
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-06
出願番号2023199809
出願日2023-11-27
発明の名称被加工物の撮像方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250530BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異なる撮像条件で二回以上、被加工物の画像を撮像するのにかかる時間を低減できる被加工物の撮像方法を提供する事。
【解決手段】被加工物の撮像方法は、被加工物を撮像する撮像方法であって、被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、保持面に保持された被加工物を撮影する撮像ユニットと、を保持面に平行な第一方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を第一の撮像条件で撮像する往路撮像ステップ1001と、往路撮像ステップ1001の後に、保持テーブルと、撮像ユニットと、を第一方向と逆方向である第二方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を第一の撮像条件と異なる第二の撮像条件で撮影する復路撮像ステップ1002と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を撮像する撮像方法であって、
被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面に保持された被加工物を撮影する撮像ユニットと、を該保持面に平行な第一方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を第一の撮像条件で撮像する往路撮像ステップと、
該往路撮像ステップの後に、該保持テーブルと、該撮像ユニットと、を該第一方向と逆方向である第二方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を該第一の撮像条件と異なる第二の撮像条件で撮影する復路撮像ステップと、
を備える被加工物の撮像方法。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
該往路撮像ステップと、該復路撮像ステップと、の少なくともいずれかは、該撮像ユニットの撮影領域を変えつつ小区画ごとに順次撮影して複数の小画像を取得することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項３】
該往路撮像ステップで取得した該小画像を合成した第一画像を生成する第一画像生成ステップと、
該復路撮像ステップで取得した該小画像を合成した第二画像を生成する第二画像生成ステップと、
をさらに備える請求項２に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項４】
該小画像または該小画像を合成した画像から欠け、クラック、腐食、異物の付着、加工痕の少なくともいずれかの状態を検出する検出ステップをさらに備える請求項２または請求項３に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項５】
該第一の撮像条件と、該第二の撮像条件と、は、焦点位置、被加工物に照射される光量、光の向き、の少なくともいずれかが異なる事を特徴とする請求項１に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項６】
該保持面は透明体を含んで形成され、
該撮像ユニットは、被加工物の該保持面に保持されていない面を撮像する第一撮像ユニットと、該保持面を介して被加工物の該保持面に保持されている面を撮像する第二撮像ユニットと、を含む、
請求項１に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項７】
被加工物は、複数の加工溝が形成されている事を特徴とする請求項１に記載の被加工物の撮像方法。
【請求項８】
該復路撮像ステップは、直前に実施された該往路撮像ステップにおいて撮像された領域を撮像することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の撮像方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の撮像方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物をより鮮明に撮像し、被加工物よりも撮像視野内の領域である撮影領域が狭い撮像ユニットを被加工物の任意の位置に移動させて、被加工物の一部の画像を撮像し、撮像した被加工物の当該一部の画像を使用して被加工物の当該一部の検査項目について検査する方法が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－０１８７４０号公報
特開２０２３－０１８７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
撮像した被加工物の当該一部の画像を使用して二種類以上の検査項目について検査したい要望がある。しかしながら、検査項目によってより鮮明に撮像できる撮像条件が異なる。このため、より鮮明に撮像できる撮像条件が異なる二種類以上の検査項目について検査したい場合、当該二種類以上の異なる撮影条件で撮像した被加工物の当該一部の画像を取得する必要があるが、異なる撮像条件で二回以上、被加工物の画像を撮像するには、被加工物の当該一部の位置に二回以上撮像ユニットを移動させる必要があり、時間がかかるという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、異なる撮像条件で二回以上、被加工物の画像を撮像するのにかかる時間を低減できる被加工物の撮像方法を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の撮像方法は、被加工物を撮像する撮像方法であって、被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面に保持された被加工物を撮影する撮像ユニットと、を該保持面に平行な第一方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を第一の撮像条件で撮像する往路撮像ステップと、該往路撮像ステップの後に、該保持テーブルと、該撮像ユニットと、を該第一方向と逆方向である第二方向に相対的に移動させて、被加工物の所定領域を該第一の撮像条件と異なる第二の撮像条件で撮影する復路撮像ステップと、を備えるものである。
【０００７】
該往路撮像ステップと、該復路撮像ステップと、の少なくともいずれかは、該撮像ユニットの撮影領域を変えつつ小区画ごとに順次撮影して複数の小画像を取得してもよい。
【０００８】
該往路撮像ステップで取得した該小画像を合成した第一画像を生成する第一画像生成ステップと、該復路撮像ステップで取得した該小画像を合成した第二画像を生成する第二画像生成ステップと、をさらに備えてもよい。
【０００９】
該小画像または該小画像を合成した画像から欠け、クラック、腐食、異物の付着、加工痕の少なくともいずれかの状態を検出する検出ステップをさらに備えてもよい。
【００１０】
該第一の撮像条件と、該第二の撮像条件と、は、焦点位置、被加工物に照射される光量、光の向き、の少なくともいずれかが異なっていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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