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公開番号2025076536
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-16
出願番号2023188080
出願日2023-11-02
発明の名称保護部材形成装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250509BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保護部材を効率よく形成する。
【解決手段】保護部材形成装置は、ウェーハの一方の面全面に液状樹脂を拡張させ硬化させその面全面を保護する保護部材を形成する。保護部材形成装置は、シートSを保持するガラステーブル16と、ガラステーブル16に対向配置しウェーハを保持するウェーハ保持部と、ガラステーブル16に保持されたシートSの上またはウェーハ保持部に保持されたウェーハの上に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、ガラステーブル16とウェーハ保持部とを相対的に昇降させる昇降機構と、液状樹脂に外的刺激を与え、液状樹脂を硬化させる硬化ユニットである紫外線照射ユニット23と、ガラステーブル16に保持されたシートSの表面に紫外線またはプラズマを照射してシートSの表面の濡れ性を向上させる濡れ性形成ユニット27と、を備える。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの一方の面全面に液状樹脂を拡張させ硬化させ前記ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
シートを保持するシート保持部と、
該シート保持部に対向配置しウェーハを保持するウェーハ保持部と、
前記シート保持部に保持された前記シートの上、または前記ウェーハ保持部に保持された前記ウェーハの上に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、
前記シート保持部と前記ウェーハ保持部とを相対的に昇降させる昇降機構と、
前記液状樹脂に外的刺激を与え、前記液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、
前記シート保持部に保持された前記シートの表面に紫外線またはプラズマを照射して、前記シートの表面の濡れ性を向上させる濡れ性形成ユニットと、
を備える、保護部材形成装置。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
前記ウェーハ保持部に保持されたウェーハの表面に貼着したウェーハシートの表面に紫外線またはプラズマを照射して、前記ウェーハシートの表面の濡れ性を向上させるウェーハシート濡れ性形成ユニットを備える、請求項１に記載の保護部材形成装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護部材形成装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハ表面に保護部材を形成する保護部材形成装置が知られている。保護部材形成装置は、例えば、特許文献１、特許文献２に開示されるように、シートの上に所定量の液状樹脂を供給し、保持部に保持されたウェーハを液状樹脂に押し付け、ウェーハの一方の面全面に液状樹脂を押し広げた後にその樹脂を硬化させる。これにより、ウェーハの一方の面を保護する、シートと樹脂とからなる保護部材が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０６１３３３号公報
特開２０２２－０２０２８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の保護部材形成装置は、液状樹脂の広がりに時間がかかるという技術的課題がある。このような技術的課題に対しては、例えば、液状樹脂が供給された密室内を減圧して液状樹脂の広がりを促進する、といった対応が考えられる。
【０００５】
しかしながら、たとえ密室内を減圧したとしても、気液界面から離れているウェーハの中央部分の液状樹脂は広がりにくいため、その効果は限定的である。従って、保護部材形成に要する時間をさらに短縮する技術が望まれる。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、保護部材を効率よく形成する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様の保護部材形成装置は、ウェーハの一方の面全面に液状樹脂を拡張させ硬化させ前記ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、シートを保持するシート保持部と、該シート保持部に対向配置しウェーハを保持するウェーハ保持部と、前記シート保持部に保持された前記シートの上、または前記ウェーハ保持部に保持された前記ウェーハの上に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、前記シート保持部と前記ウェーハ保持部とを相対的に昇降させる昇降機構と、前記液状樹脂に外的刺激を与え、前記液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、前記シート保持部に保持された前記シートの表面に紫外線またはプラズマを照射して、前記シートの表面の濡れ性を向上させる濡れ性形成ユニットと、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、保護部材を効率よく形成する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。
保護部材の形成におけるシート供給工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成における濡れ性形成工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成における液状樹脂供給工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成におけるウェーハ保持工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成における押し広げ工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成における硬化工程の一例を示す説明図である。
保護部材の形成における濡れ性形成工程の別の例を示す説明図である。
保護部材の形成における液状樹脂供給工程の別の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、実施の形態に係る保護部材形成装置について説明する。図１は、一実施形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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