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公開番号2025070561
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180986
出願日2023-10-20
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】保持面11と、厚み(Z軸)方向にて保持面11とは反対側に設けられる下面12と、保持面11と下面12の間に配置されたヒータ電極60と、ヒータ電極60に接続される抵抗体81～84と、を備え、保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、ヒータ電極60は、直列に接続された複数の発熱部61～64を備え、抵抗体81～84は、抵抗温度係数が発熱部61～64より大きく、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる素子であり、各発熱部61～64に対して並列に接続されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されたヒータ電極と、前記ヒータ電極に接続される抵抗体と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータ電極は、直列に接続された複数の発熱部を備え、
前記抵抗体は、抵抗温度係数が前記発熱部より大きく、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる素子であり、前記各発熱部に対して並列に接続されている
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されたヒータ電極と、前記ヒータ電極に接続される抵抗体と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータ電極は、並列に接続された複数の発熱部を備え、
前記抵抗体は、抵抗温度係数が前記発熱部より小さく、温度が上昇すると抵抗値が大きくなる素子であり、前記各発熱部に対して直列に接続されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載する保持装置において、
前記抵抗体は、ＮＴＣサーミスタである
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項２に記載する保持装置において、
前記抵抗体は、ＰＴＣサーミスタである
ことを特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４に記載するいずれか１つの保持装置において、
１つの外部電源から給電される前記発熱部が、１０個以下である
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持するとともに加熱する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、半導体ウエハを保持して所望の温度に加熱するために、静電チャック（保持装置）が使用されている。この種の静電チャックとして、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。この静電チャックは、吸着面（保持面）に対象物を保持するセラミックス部材（板状部材）と、セラミックス部材に接合された金属製のベース部材とを備えており、セラミックス部材の内部にチャック電極とヒータ電極が配置されている。
【０００３】
この静電チャックでは、チャック電極によって静電引力を発生させて、対象物を吸着面に保持している。そして、ベース部材によるセラミックス部材の冷却と、ヒータ電極によるセラミックス部材の加熱とにより、吸着面に保持した対象物の温度分布が均一になるように温度制御が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１２５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、上記の静電チャックにおいては、ヒータ電極がスクリーン印刷により製作されている。そして、ヒータ電極は、同心円状のパターンに形成されている。ところが、スクリーン印刷では、印刷滲みやスクリーンマスクによるメッシュ痕などによって、同心円状のパターンを均一な厚みで印刷することが困難であり、部分的に厚みが薄い箇所や厚い箇所が発生してしまう。
【０００６】
そのため、スクリーン印刷により製作されたヒータ電極では、厚みや幅にばらつきが生じやすく、同一回路内において、単位長さ当たりの抵抗値が他の部分と異なる部分が生じるおそれがある。そして、抵抗値が異なる部分が生じてしまうと、例えば抵抗値が大きい部分では電流が少なくなって発熱量が小さくなる一方、抵抗値が小さい場合では電流が多くなって発熱量が大きくなるため、吸着面（保持面）における温度分布の均一性（均熱性）が悪化してしまう。
【０００７】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されたヒータ電極と、前記ヒータ電極に接続される抵抗体と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータ電極は、直列に接続された複数の発熱部を備え、
前記抵抗体は、抵抗温度係数が前記発熱部より大きく、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる素子であり、前記各発熱部に対して並列に接続されていることを特徴とする。
【０００９】
この保持装置では、ヒータ電極が直列に接続された複数の発熱部を備えている。そしてヒータ電極に接続される抵抗体は、抵抗温度係数が発熱部より大きく、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる素子であり、各発熱部に対して並列に接続されている。そのため、各発熱部の発熱量にばらつきが生じると、他よりも温度が高くなった発熱部において、並列接続された抵抗体の抵抗値が小さくなる。
【００１０】
従って、他よりも温度が高くなった発熱部では、抵抗体に流れる電流が増加して、発熱部に流れる電流が減少するため、発熱部における発熱量が減少して、他の発熱部と同程度の温度まで低下する。これにより、各発熱部の温度がほぼ等しくなるため、第１の面における温度分布を均一にすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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