特許ウォッチ

公開番号2025084149
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023197794
出願日2023-11-22
発明の名称レベル調整装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B23Q 1/00 20060101AFI20250527BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工装置のレベル調整に要する時間を短くすることができるレベル調整装置を提供すること。
【解決手段】レベル調整装置(50)は、チャックテーブル(30)の保持面(34)によってウェーハ(W)を保持し加工する加工装置(1)を設置する設置面(F)との間に4つ配置したジャッキ(20)を操作し、加工装置のレベルを調整する。レベル調整装置は、チャックテーブルの保持面に載置し水平面に対するXY方向のレベルを測定するレベル計(85)と、各ジャッキに装着し各ジャッキを操作して設置面と加工装置との間の距離を伸縮させる操作ユニット(51、511～514)と、レベル計の値を読取り、該当するジャッキに装着した操作ユニットを制御する制御部(90)とを備えている。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
チャックテーブルの保持面によって被加工物を保持し加工する加工装置を設置する設置面との間に少なくとも３つ配置したジャッキを操作し、該加工装置のレベルを調整するレベル調整装置であって、
該保持面または該加工装置内に予め配置された基準面に載置し水平面に対するＸＹ方向のレベルを測定するレベル計と、各該ジャッキに装着し各該ジャッキを操作して該設置面と該加工装置との間の距離を伸縮させる操作ユニットと、該レベル計の値を読取り、該当する該ジャッキに装着した該操作ユニットを制御する制御部と、を備えるレベル調整装置。
続きを表示（約 89 文字）【請求項２】
前記操作ユニットは、前記ジャッキの基台をクランプするクランプ部と、該ジャッキの昇降操作部を操作する操作部とを備える請求項１に記載のレベル調整装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置のジャッキによってレベル調整するレベル調整装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２及び３は、水平を確認するための水準器（レベル計）を開示している。例えば、加工装置のレベル調整作業を行う場合、加工装置のチャックテーブルに載置した水準器の気泡を見ながら、加工装置の脚部等を構成する複数のジャッキのうちの少なくとも２つを作業者が操作している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
登録実用新案第３０７５１９０号公報
特開２０１１－１３３３４６号公報
特開２００８－０２０２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したレベル調整作業では、作業者によって、ジャッキの操作と、水準器の値の読取との両方を行うことが必要になり、加工装置のレベル調整に時間がかかるという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、加工装置のレベル調整に要する時間を短くすることができるレベル調整装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のレベル調整装置は、チャックテーブルの保持面によって被加工物を保持し加工する加工装置を設置する設置面との間に少なくとも３つ配置したジャッキを操作し、該加工装置のレベルを調整するレベル調整装置であって、該保持面または該加工装置内に予め配置された基準面に載置し水平面に対するＸＹ方向のレベルを測定するレベル計と、各該ジャッキに装着し各該ジャッキを操作して該設置面と該加工装置との間の距離を伸縮させる操作ユニットと、該レベル計の値を読取り、該当する該ジャッキに装着した該操作ユニットを制御する制御部と、を備えている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、制御部により各操作ユニットを制御し、複数のジャッキを操作して加工装置のレベル調整を行うので、作業者による手作業を不要或いは少なくしてレベル調整に要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施の形態の加工装置の斜視図である。
図２Ａは、第１の実施の形態のジャッキの概略斜視図であり、図２Ｂは、図２Ａの分解図である。
第１の実施の形態のジャッキに操作ユニットを装着する準備状態の概略斜視図である。
第１の実施の形態のジャッキに操作ユニットを装着する直前状態の概略斜視図である。
第１の実施の形態のジャッキに操作ユニットを装着した状態の概略斜視図である。
第１の実施の形態の操作ユニットによるジャッキの操作説明図である。
第１の実施の形態の操作ユニットによるジャッキの操作説明図である。
第１の実施の形態のレベル調整装置の概略構成図である。
第１の実施の形態におけるレベル調整方法の流れを示すフロー図である。
図１０Ａは、第２の実施の形態のジャッキの概略斜視図であり、図１０Ｂは、図１０Ａの分解図である。
図１１Ａ及び図１１Ｂは、第２の実施の形態のジャッキ及び操作ユニットの概略斜視図である。
図１２Ａから図１２Ｃは、第２の実施の形態のジャッキ及び操作ユニットの概略平面図である。
図１３Ａ及び図１３Ｂは、第２の実施の形態の操作ユニットによるジャッキの操作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、各実施の形態に係るレベル調整装置が適用される加工装置について説明する。なお、各実施の形態に係る加工装置は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。
【００１０】
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態の加工装置の斜視図である。まず、図１を参照して、加工装置１の全体構成について説明する。図１に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（垂直方向）である。また、以下の各図において、Ｘ軸方向手前側を＋Ｘ側、後側を－Ｘ側とし、Ｙ軸方向左側を＋Ｙ側、右側を－Ｙ側とし、Ｚ軸方向上側を＋Ｚ側、下側を－Ｚ側と呼ぶ場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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