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公開番号2025084285
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023198069
出願日2023-11-22
発明の名称研削工具及び研削工具の製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24D 7/06 20060101AFI20250527BHJP(研削;研磨)
要約【課題】溝に砥石を挿入させる際の接着剤による抵抗を抑え、砥石内への接着剤の侵入を抑制でき、生産性向上を図ること。
【解決手段】被加工物を研削する研削工具(1)は、基台(10)と、基台の自由端面(12)に形成した溝(17)と、溝に一部分を挿入して溝から露出した部分で被加工物を研削する砥石(20)と、溝内に配置して基台と砥石とを接着する接着剤(30)とで構成される。接着剤は、紫外線硬化性嫌気性樹脂(31)と、ガラスビーズ(32)とを含んでいる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削する研削工具であって、
基台と、該基台の自由端面に形成した溝と、該溝に一部分を挿入し該溝から露出した部分で被加工物を研削する砥石と、該溝内に配置し該基台と該砥石とを接着する接着剤とで構成され、
該接着剤は、紫外線硬化性嫌気性樹脂と、ガラスビーズとを含む、研削工具。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
該砥石は、気孔を有する、請求項１記載の研削工具。
【請求項３】
請求項１記載の研削工具を製造する研削工具の製造方法であって、
該溝と該砥石の少なくとも一方に該接着剤を塗布する塗布工程と、
該溝に該砥石を挿入し該溝の底面と該砥石の挿入面とを押し当て、該接着剤の嫌気性によって該溝の底面と該底面に対面する該砥石の挿入面とを接着させる第１接着工程と、
該自由端面側から紫外線を照射させ該溝の側面と該砥石との間の該接着剤を紫外線硬化性によって硬化させ接着させる第２接着工程と、
からなる、研削工具の製造方法。
【請求項４】
該砥石は、気孔を有する、請求項３記載の研削工具の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削工具及び研削工具の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウェーハを砥石で研削する研削装置を開示している。研削装置では、チャックテーブルに保持されたウェーハに対し、環状に砥石を配置した研削ホイールを回転させつつ押し当てて研削している。かかる研削ホイールは、リング状の基台を備え、基台の自由端面に形成されたリング状の溝に砥石を配置し、接着剤によって砥石を基台に固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－３０１６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した接着剤にあっては、粘性が高いと溝に砥石を挿入する際の抵抗となり、砥石を挿入し難くなる、という問題がある。対して、接着剤の粘性が低いと溝に砥石を挿入し易くなるが、接着剤が砥石内の気孔に侵入し、更には気孔等による毛細管現象で砥石内に接着剤が充満され、砥石の研削性能を低下させる、という問題がある。
【０００５】
また、加熱硬化される熱硬化性の接着剤を用いているので、加熱時間と、冷却時間とが必要となって生産性を低下させる、という問題がある。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、溝に砥石を挿入させる際の接着剤による抵抗を抑え、砥石内への接着剤の侵入を抑制でき、生産性向上を図ることができる研削工具及び研削工具の製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様の研削工具は、被加工物を研削する研削工具であって、基台と、該基台の自由端面に形成した溝と、該溝に一部分を挿入し該溝から露出した部分で被加工物を研削する砥石と、該溝内に配置し該基台と該砥石とを接着する接着剤とで構成され、該接着剤は、紫外線硬化性嫌気性樹脂と、ガラスビーズとを含む。
【０００８】
本発明の一態様の研削工具を製造する研削工具の製造方法は、該溝と該砥石の少なくとも一方に該接着剤を塗布する塗布工程と、該溝に該砥石を挿入し該溝の底面と該砥石の挿入面とを押し当て、該接着剤の嫌気性によって該溝の底面と該底面に対面する該砥石の挿入面とを接着させる第１接着工程と、該自由端面側から紫外線を照射させ該溝の側面と該砥石との間の該接着剤を紫外線硬化性によって硬化させ接着させる第２接着工程と、からなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ガラスビーズを混合させて粘度を調整した接着剤にでき、溝に砥石を挿入する際の抵抗を少なくすることができる。また、ガラスビーズの混合によって砥石内への接着剤の侵入を抑制でき、砥石の研削性能が低下することを防止することができる。更に、接着剤の紫外線硬化性及び嫌気性によって砥石の接着を行えるので、熱硬化性の接着剤に比べ、加熱及び冷却時間をなくして接着に要する時間を短くでき、生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施の形態における研削工具の斜視図である。
前記研削工具の一部概略断面図である。
塗布工程を説明するための図２と同様の断面図である。
第１接着工程を説明するための図２と同様の断面図である。
第２接着工程を説明するための図２と同様の断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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