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公開番号2025068275
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-28
出願番号2023178060
出願日2023-10-16
発明の名称加工装置、及び、加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250421BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハに加工溝を形成する加工装置において加工溝補正(ヘアライン補正)の際の調整作業を容易に行う。
【解決手段】複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウェーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、加工溝を形成する加工手段と、X軸送り手段と、Y軸送り手段と、ウェーハを撮像し加工溝を検出するための基準線Kが設定された撮像手段と、表示手段40と、を備え、表示手段には、画像表示部42と、Y軸送り手段を作動させるY軸方向操作部44と、基準線に接近及び離反する一対の可動線46a、46bと、認識された加工溝50の縁50a、50bに一致するように設定される一対の加工溝認識線52a、52bと、調整ボタン48と、が表示され、調整ボタンをタッチすると、基準線を加工溝の中央に一致させるようにY軸送り手段を作動させるとともに、可動線を加工溝認識線に一致させる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウェーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、
ウェーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウェーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウェーハを撮像し加工溝を検出するための基準線が設定された撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、
該表示手段には、
該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、
該Ｙ軸送り手段を作動させるＹ軸方向操作部と、
該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、
該撮像手段で撮像された画像内から画像処理により認識された該加工溝の縁に一致するように設定される一対の加工溝認識線と、
調整ボタンと、が表示され、
該調整ボタンをタッチすると、該基準線を該加工溝の中央に一致させるように該Ｙ軸送り手段を作動させるとともに、該可動線を該加工溝認識線に一致させる、ことを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
該調整ボタンをタッチすることにより、該加工溝の中央と該基準線とのズレ量が補正値として記憶される、ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該加工手段は、切削ブレードを回転可能に備えた切削手段であり、該加工溝は切削溝である、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
請求項２に記載の加工装置による加工方法であって、
隣にある次の未加工のストリートの加工の際に、該補正値で該加工手段の該Ｙ軸方向の位置を補正して加工溝を形成することとする、加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウェーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置に関するものであり、より詳しくは、加工溝補正（ヘアライン補正）に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハをストリート（分割予定ライン）に沿って切削し、ダイシングする切削装置が知られている。この種の切削装置は、例えば特許文献１に示されるように、ウェーハを保持する保持手段と、保持手段に保持されたウェーハのストリートを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に相対的に切削送りするＸ軸送り手段と、保持手段と切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、保持手段に保持されたウェーハを撮像しストリートおよび切削溝を検出する基準線が設定された撮像手段と、表示手段と、を備える構成としている。基準線は、撮像手段に備えた顕微鏡の対物レンズに設けられ、表示手段の画像表示部の中心に表示されるものである。
【０００３】
特許文献１の構成において、表示手段には、撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、切削溝と基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、Ｘ軸送り手段を作動させるＸ軸作動部と、Ｙ軸送り手段を作動させるＹ軸作動部と、基準線を挟み線対称を保ち基準線に接近および離反する一対の可動線と、一対の可動線を移動させる可動線作動部と、が表示される。
【０００４】
そして、Ｙ軸作動部を作動させて切削溝の中央が基準線に位置づけられると共に一対の可動線の間隔が切削溝の幅に位置づけられた場合に、加工溝補正ボタンにタッチすると切削溝のＹ軸方向の移動距離がＹ軸方向の補正値と記憶され、次のストリートの割り出し送りにおいて基準線と切削溝の中央が一致するように補正される構成としている。
【０００５】
以上のような、実際の切削溝の中心の位置と基準線（画像表示部の中心）を一致させ、補正値を記憶する作業は、加工溝補正（ヘアライン補正）と呼ばれるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１９－１４５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の構成において、加工溝補正ボタンによる補正をする際には、オペレーターが表示手段を凝視しながらＹ軸作動部を作動させて切削溝の中央に基準線を合わせる作業と、可動線作動部を作動させて一対の可動線を切削溝の両縁に一致させる調整作業が必要になるが、タッチパネル等に別途設けた調整キーで微調整を繰り返して調整する必要があり、調整作業に多くの手間や時間を要してしまうものであった。
【０００８】
本発明は以上の問題に鑑み、ウェーハに加工溝を形成する加工装置において、加工溝補正（ヘアライン補正）の際の調整作業を容易に行うことが可能な新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
本発明の一態様によれば、複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウェーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、ウェーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウェーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に相対的に加工送りするＸ軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に相対的に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該保持手段に保持されたウェーハを撮像し加工溝を検出するための基準線が設定された撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、該Ｙ軸送り手段を作動させるＹ軸方向操作部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該撮像手段で撮像された画像内から画像処理により認識された該加工溝の縁に一致するように設定される一対の加工溝認識線と、調整ボタンと、が表示され、該調整ボタンをタッチすると、該基準線を該加工溝の中央に一致させるように該Ｙ軸送り手段を作動させるとともに、該可動線を該加工溝認識線に一致させる、ことを特徴とする加工装置とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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