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公開番号2025070457
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180781
出願日2023-10-20
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/12 20060101AFI20250424BHJP(研削;研磨)
要約【課題】透明な開閉扉を通して加工状態を確認できるとともに、加工室や吸引ダクトの内側、ダクトファンが汚れることのない切削装置を提供する。
【解決手段】切削装置は、板状物4を保持するチャックテーブル6と、チャックテーブル6に保持された板状物4を切削する切削ブレード36が回転可能に装着されたスピンドル34を備えた切削手段8と、切削ブレード36に切削水を供給する切削水供給手段10と、チャックテーブル6をX軸方向に切削送りするX軸送り手段と、切削手段8をX軸方向に直交するY軸方向に割り出し送りするY軸送り手段とを含む。切削装置は、切削ブレード36の回転に起因して切削水が飛散する側に切削ブレード36側から見て俯角θをもってX軸方向に延在して配設され飛散する切削水を受け止め気液を分離する天板52を備える。天板52のY軸方向の長さは、切削ブレード36がY軸方向に割り出し送りされる長さを満たすサイズに設定される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を切削する切削装置であって、
板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードが回転可能に装着されたスピンドルを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に切削送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含み、
該切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散する側に該切削ブレード側から見て俯角をもってＸ軸方向に延在して配設され飛散する切削水を受け止め気液を分離する天板を備え、
該天板のＹ軸方向の長さは、該切削ブレードがＹ軸方向に割り出し送りされる長さを満たすサイズに設定される切削装置。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
該チャックテーブルと該切削手段とは加工室に配設され、該加工室の側壁には該加工室で気液が分離された気体を吸引する吸引口が該天板の上方に配設される請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
該天板の直下に底板を備え、該底板は該チャックテーブルに隣接して配設され該チャックテーブルとともにＸ軸方向に移動する請求項１記載の切削装置。
【請求項４】
板状物を切削した際、発生する端材を回収する端材回収手段が配設される請求項１記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を切削する切削装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハやＣＳＰ（Chip Size Package）基板などの板状物は、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、板状物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードを回転可能に装着したスピンドルを備えた切削手段と、切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、チャックテーブルをＸ軸方向に切削送りするＸ軸送り手段と、切削手段をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段とを含み、板状物を高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。
【０００４】
また、切削手段およびチャックテーブルは、切削水が飛散したミストが外部に露出しないように、ミストを吸引する吸引口が形成された加工室に収容されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第７１３９０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、切削屑を含むミストを充分に排出することができない場合があり、このような場合には、加工室を仕切る透明な開閉扉を通して加工状態を確認できないという問題があり、また、加工室内が汚れるという問題がある。さらに、吸引口から吸引されたミストによって吸引ダクトの内側やダクトファンが汚れてしまうという問題がある。
【０００７】
本発明の課題は、透明な開閉扉を通して加工状態を確認できるとともに、加工室や吸引ダクトの内側、ダクトファンが汚れることのない切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の切削装置が提供される。すなわち、
「板状物を切削する切削装置であって、
板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードが回転可能に装着されたスピンドルを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に切削送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含み、
該切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散する側に該切削ブレード側から見て俯角をもってＸ軸方向に延在して配設され飛散する切削水を受け止め気液を分離する天板を備え、
該天板のＹ軸方向の長さは、該切削ブレードがＹ軸方向に割り出し送りされる長さを満たすサイズに設定される切削装置」が提供される。
【０００９】
好ましくは、該チャックテーブルと該切削手段とは加工室に配設され、該加工室の側壁には該加工室で気液が分離された気体を吸引する吸引口が該天板の上方に配設される。該天板の直下に底板を備え、該底板は該チャックテーブルに隣接して配設され該チャックテーブルとともにＸ軸方向に移動するのが望ましい。板状物を切削した際、発生する端材を回収する端材回収手段が配設され得る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の切削装置は、
板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードが回転可能に装着されたスピンドルを備えた切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に切削送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含み、
該切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散する側に該切削ブレード側から見て俯角をもってＸ軸方向に延在して配設され飛散する切削水を受け止め気液を分離する天板を備え、
該天板のＹ軸方向の長さは、該切削ブレードがＹ軸方向に割り出し送りされる長さを満たすサイズに設定されるので、切削屑を含むミストが天板に衝突して、気体は浮遊し、切削屑を含む水滴は落下することにより気液が分離され、浮遊した気体が加工室から排出されるので、透明な開閉扉を通して加工状態を確認できるとともに、加工室内が汚れるという問題が解消する。また、切削屑を含むミストを吸引口から吸引することが回避され、吸引ダクトの内側やダクトファンが汚れてしまうという問題も解消する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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