特許ウォッチ

公開番号2025069710
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-01
出願番号2023179603
出願日2023-10-18
発明の名称洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250423BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークの裏面側を効果的に洗浄可能であり、かつ、構造が簡易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークを洗浄するための洗浄装置であって、保持面となる上面を有し、かつ、保持面の中心を通るとともに保持面に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持テーブルと、保持面よりも下に噴射口が位置し、かつ、保持テーブルの側面のうち保持面に平行な座標平面において所定の座標に位置する箇所に向けて洗浄水を噴射可能なノズルと、保持テーブル及びノズルを収容するための収容体と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを洗浄するための洗浄装置であって、
保持面となる上面を有し、かつ、該保持面の中心を通るとともに該保持面に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持テーブルと、
該保持面よりも下に噴射口が位置し、かつ、該保持テーブルの側面のうち該保持面に平行な座標平面において所定の座標に位置する箇所に向けて洗浄水を噴射可能なノズルと、
該保持テーブル及び該ノズルを収容するための収容体と、
を備える洗浄装置。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
該収容体の内部空間は、該所定の座標と該保持面の該中心とを通り、かつ、該保持面に垂直な第１仮想平面と、該所定の座標を通り、かつ、該第１仮想平面に垂直な第２仮想平面と、によって、第１領域、第２領域、第３領域及び第４領域に区画され、
該第１領域、該第２領域、該第３領域及び該第４領域は、該保持テーブルが回転する方向に沿って順に並び、
該保持面は、該第１領域及び該第２領域に位置し、
該ノズルは、該第３領域に位置する請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
該保持テーブルは、該保持面に平行な方向において上側が下側よりも窪んだ段差部を含み、
該ノズルは、該段差部の該上側に向けて該洗浄水を噴射可能である請求項１又は２に記載の洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを洗浄するための洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されたウェーハ等の板状物を複数のデバイスの境界に沿って分割することによって製造される。
【０００３】
また、板状物から製造される複数のチップの離散を抑制するために、板状物の分割に先立って、板状物の裏面及び環状のフレームの裏面に表面が貼着されたテープを介して板状物とフレームとを一体化することによってワークが構成されることが多い。そして、複数のチップは、例えば、回転する円環状の切削ブレードを板状物の表面側からテープに到達するまで切り込ませることによって製造される。
【０００４】
このように複数のチップが製造されると、切削屑が生じてワークの表面側（テープのうち複数のチップ及びフレームが貼着されている側）に付着することがある。そのため、複数のチップが製造された後には、ワークを回転させながら、その表面側に洗浄水を供給することによって、ワークの表面側が洗浄されることが多い。
【０００５】
また、複数のチップの製造に伴って生じた切削屑は、ワークの表面側のみならず、その裏面側にも付着することがある。そして、ワークの裏面側に付着した切削屑は搬送中に脱離しやすく、複数のチップの製造後に利用される各種の装置及び／又は当該装置において処理される別のワーク等に切削屑が付着するおそれがある。
【０００６】
この点を踏まえて、ワークの裏面側を洗浄可能な洗浄装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この洗浄装置は、ワークの外周部を保持する保持ユニットと、保持ユニットを回転させる回転機構と、ワークの裏面側を洗浄する洗浄ユニットと、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２３－１１５４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の保持ユニット及び回転機構が設けられる場合には、洗浄装置の構造が複雑化して、その製造コストが高くなる。また、複数のチップの製造に伴って生じた切削屑は、ワークの裏面側の中心近傍の領域よりも外周近傍の領域に付着しやすい。それにもかかわらず、上記の保持ユニットによってワークの外周部を保持した状態でワークの裏面側が洗浄される場合には、ワークの裏面側が効果的に洗浄されないおそれがある。
【０００９】
これらの点に鑑み、本発明の目的は、ワークの裏面側を効果的に洗浄可能であり、かつ、構造が簡易な洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、ワークを洗浄するための洗浄装置であって、保持面となる上面を有し、かつ、該保持面の中心を通るとともに該保持面に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持テーブルと、該保持面よりも下に噴射口が位置し、かつ、該保持テーブルの側面のうち該保持面に平行な座標平面において所定の座標に位置する箇所に向けて洗浄水を噴射可能なノズルと、該保持テーブル及び該ノズルを収容するための収容体と、を備える洗浄装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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