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公開番号2025064266
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173878
出願日2023-10-05
発明の名称被覆装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250410BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】コーティング液の被覆動作の継続、停止を選択することができる被覆装置を提供すること。
【解決手段】被覆装置1は、カセット載置台2と、保持ユニット10と、カセット載置台2に載置されたカセット3から被加工物を保持ユニット10へと搬送する搬送ユニット20と、貯留タンクと、被加工物の表面にコーティング液を吐出する供給ユニットと、貯留タンク内のコーティング液の残量を検出する検出ユニットと、コントローラ100と、を備え、コントローラ100は、検出ユニットでコーティング液の残量が所定量を下回ったことを検出した場合に、次の被加工物の保持ユニット10への搬送を禁止して被覆作業を中止させる中止動作と、次の被加工物を保持ユニット10へ搬送して被覆を行う被覆動作と、を選択する動作選択部103を有している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物の上面にコーティング液を供給し被加工物を該コーティング液で被覆することを複数の被加工物に対して連続して行う被覆装置であって、
複数の被加工物を収容可能なカセットが載置されるカセット載置台と、
被加工物を保持する保持ユニットと、
該カセット載置台に載置されたカセットから被加工物を該保持ユニットへと搬送する搬送ユニットと、
該コーティング液を貯留する貯留タンクと、
該保持ユニットで保持された被加工物の上面に該貯留タンクで貯留された該コーティング液を吐出する供給部を有した供給ユニットと、
該貯留タンク内の該コーティング液の残量を検出する検出ユニットと、
少なくとも該搬送ユニットと該供給ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該検出ユニットで該貯留タンクの該コーティング液の残量が所定量を下回ったことを検出した場合に、次の被加工物の該保持ユニットへの搬送を禁止して被覆作業を中止させる中止動作と、次の被加工物を該保持ユニットへ搬送して被覆を行う被覆動作と、を選択する動作選択部を有した、被覆装置。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
該供給ユニットは、該貯留タンクから該供給部へと該コーティング液を送液する送液路を含み、
該コントローラは、
被加工物への該コーティング液の供給量を含む被覆条件を記憶する被覆条件記憶部と、
該コーティング液の該供給量と該送液路中の該コーティング液の液量とから該送液路中の該コーティング液で被覆可能な被加工物数を算出する継続被覆数算出部と、を有し、
該検出ユニットが該貯留タンクの空を検出した場合に該被覆動作が選択されると、該継続被覆数算出部で算出された被加工物数の被加工物に対して被覆を行う、請求項１に記載の被覆装置。
【請求項３】
該被覆装置は、被加工物を洗浄する洗浄ユニットを備え、
該検出ユニットで該貯留タンクの該コーティング液の残量が所定量を下回ったことを検出した際に、該保持ユニットで保持していた被加工物を該洗浄ユニットで洗浄する、請求項１または請求項２に記載の被覆装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物をコーティング液で被覆することを複数の被加工物に対して連続して行う被覆装置に関する。
続きを表示（約 930 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハにレーザアブレーション加工を施す際には、デブリが半導体ウェーハ表面に付着することを防止するために加工前の半導体ウェーハに保護膜を被覆している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
被覆装置では、保護膜を形成するためのコーティング液をタンクに貯留し、コーティング液をタンクからポンプで吸い上げて供給部から半導体ウェーハに滴下している。
【０００４】
半導体ウェーハは、カセットに複数枚収容された状態で被覆装置に供給され、カセット中の全ての半導体ウェーハに保護膜が被覆されると被覆作業が終了する。
【０００５】
従来、被覆装置は、タンク内のコーティング液が無くなったことを検知すると、被覆作業を中断し警告を発信して作業者にコーティング液の充填を促していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００４－３２２１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、被覆装置は、タンクの残量が無くなった状態でもタンクから供給部までの間の送液路中にはコーティング液が残存しており、送液路中に残存するコーティング液でカセット中の残りの半導体ウェーハに保護膜を被覆できる場合もある。そのような場合に途中で被覆作業を中断してコーティング液の充填作業を実施することは効率が悪く、改善が望まれている。
【０００８】
一方で、タンクが空になった状態で送液路中のコーティング液で被覆作業を続けると、コーティング液中に気泡が混入するおそれもあるため、必ずしも送液路中のコーティング液で被覆作業を続けたいとも限らない。
【０００９】
このように、被覆装置は、コーティング液の被覆動作の継続、停止を選択することが求められている。
【００１０】
本発明の目的は、コーティング液の被覆動作の継続、停止を選択することができる被覆装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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