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公開番号2025059553
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2023169705
出願日2023-09-29
発明の名称処理システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250403BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送路の清掃を容易に実施できる処理システムを提供する事。
【解決手段】処理対象物に任意の処理を施す処理システム1は、複数の処理装置100と、複数の処理装置100にわたって処理装置100の上に設置される搬送路10と、搬送路10を走行し物品を処理装置100に搬送する搬送車20と、搬送路10を清掃する清掃車30と、を備え、清掃車30は、搬送路10と対向する面に設置された搬送路10を清掃する清掃部と、清掃部を昇降させる第一昇降機構と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
処理対象物に任意の処理を施す処理システムであって、
該処理システムは、
複数の処理装置と、
複数の該処理装置に渡って該処理装置の上に設置される搬送路と、
該搬送路を走行し物品を該処理装置に搬送する搬送車と、
該搬送路を清掃する清掃車と、を備え、
該清掃車は、
該搬送路と対向する面に設置された該搬送路を清掃する清掃部と、
該清掃部を昇降させる第一昇降機構と、
を有する処理システム。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
該清掃部は、該搬送路に接触する不織布またはスポンジまたはブラシの少なくともいずれかを含む事を特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
該搬送車は、
物品を収容するカセットと、
該カセットを該処理装置に対して昇降させる第二昇降機構と、
を有する請求項１に記載の処理システム。
【請求項４】
該物品は、処理対象物または該処理装置で使用する消耗品である請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理システムに関する。
続きを表示（約 980 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の処理対象物を処理する処理装置に、搬送車（自動搬送車）によって、処理対象物や処理に使用する工具、消耗品などの物品を搬送して、処理対象物を処理する処理システムが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
特開２０１９－２０４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような処理システムでは、搬送路の清掃が課題となっていた。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送路の清掃を容易に実施できる処理システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理システムは、処理対象物に任意の処理を施す処理システムであって、該処理システムは、複数の処理装置と、複数の該処理装置に渡って該処理装置の上に設置される搬送路と、該搬送路を走行し物品を該処理装置に搬送する搬送車と、該搬送路を清掃する清掃車と、を備え、該清掃車は、該搬送路と対向する面に設置された該搬送路を清掃する清掃部と、該清掃部を昇降させる第一昇降機構と、を有するものである。
【０００７】
該清掃部は、該搬送路に接触する不織布またはスポンジまたはブラシの少なくともいずれかを含んでいてもよい。
【０００８】
該搬送車は、物品を収容するカセットと、該カセットを該処理装置に対して昇降させる第二昇降機構と、を有していてもよい。
【０００９】
該物品は、処理対象物または該処理装置で使用する消耗品であってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、搬送路と対向する面に設置された搬送路を清掃する清掃部と、清掃部を昇降させる第一昇降機構と、を有する、搬送路を清掃する清掃車を備えるので、清掃車が搬送路上を走行しながら搬送路を清掃することで搬送路の清掃を容易に実施できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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