特許ウォッチ

公開番号2025049957
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158497
出願日2023-09-22
発明の名称ワーク保持装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ダイシングフレームの歪みや反りを矯正し、安定して吸着保持可能なワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ダイシングフレーム11にダイシングテープ12を介して貼着されたウエハWを保持する装置であって、ウエハWを吸着保持可能なチャック部15と、チャック部15の外周に凹設された収納部16と、を備えているチャックテーブル14と、上面18dに開口する吸着孔18eが形成され、収納部16内に配置されてダイシングフレーム11を吸着保持可能なチャックプレート18と、を備え、吸着孔18は、チャックテーブル14、ダイシングフレーム11及びダイシングテープ12で囲まれた密閉空間27に連通され、密閉空間27に負圧が供給されると、ダイシングテープ12のダイシングフレーム11とウエハWとを接続する接続領域12aがチャックテーブル14に接近するように撓む構成とした。
【選択図】図5

特許請求の範囲【請求項１】
ダイシングフレームにダイシングテープを介して貼着されたワークを保持するワーク保持装置であって、
前記ワークを吸着保持可能なチャック部と、前記チャック部の外周に凹設された収納部と、を備えているチャックテーブルと、
上面に開口する吸着孔が形成され、前記収納部内に配置されて前記ダイシングフレームを吸着保持可能なチャックプレートと、
を備え、
前記吸着孔は、前記チャックテーブル、前記ダイシングフレーム及び前記ダイシングテープで囲まれた密閉空間に連通され、
前記密閉空間に負圧が供給されると、前記ダイシングテープの前記ダイシングフレームと前記ワークとを接続する接続領域が前記チャックテーブルに接近するように撓む、
ことを特徴とするワーク保持装置。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記吸着孔の開口は、前記チャックプレートの前記ダイシングフレームを載置する載置領域から前記載置領域より内側で前記ダイシングフレームを載置しない非載置領域に亘って形成されていることを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項３】
前記吸着孔の開口は、前記チャックプレートの前記ダイシングフレームを載置する載置領域に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項４】
前記ダイシングフレームを前記チャックプレートに向けて押圧可能なチャックサポートローダをさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項５】
前記チャックサポートローダは、前記ダイシングフレームが前記チャックプレートに保持されていない非保持状態において、前記ダイシングフレームを前記チャックプレートに向けて押圧し、前記ダイシングフレームが前記チャックプレートに保持された保持状態において、前記ダイシングフレームの押圧を解除することを特徴とする請求項４に記載のワーク保持装置。
【請求項６】
前記チャックプレートは、前記収納部の底面を覆うように形成されている請求項１に記載のワーク保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体デバイスの製造工程において、ダイシングフレームにダイシングテープを介して貼着されたウエハ等のワークを保持するワーク保持装置に関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、ウエハを薄化するために、研削装置を用いてウエハの研削加工が行われている。研削装置は、ウエハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに吸引保持したウエハを研削加工する研削砥石を有する研削手段と、を備えている。
【０００３】
また、研削砥石でウエハを研削するとき、ウエハが反っていると、チャックテーブルでウエハの吸引保持を行っても、所望する状態に保持できないことがある。
【０００４】
そこで、従来、ウエハを搬送セットする方法として、中央に開口を有するダイシングフレームにダイシングテープを貼着し、ダイシングフレームの開口から露出しているダイシングテープに、ウエハの一方の面を貼着できるようにしたワークユニットを用意し、ワークユニットにウエハをセットした状態で、チャックテーブルに搬送する構造が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
一方、ウエハが取り付けられたワークユニットを保持する保持装置としては、中央部分に、ダイシングテープを介してウエハを吸引して保持するウエハ保持部を設けているとともに、ウエハ保持部の外側周囲に、ダイシングフレームを吸引して保持するフレーム保持部を設けた、チャックテーブルを使用する保持装置が知られている（同じく、特許文献１）。特許文献１での保持装置は、ウエハをチャックテーブルのウエハ保持部で吸引保持するとともに、チャックテーブルのウエハ保持部に配設されるダイシングフレームを、ダイシングフレームの上面がウエハの仕上がり時の上面高さ位置よりも低い位置に引き下げ、その引き下げた位置でチャックテーブルに吸引保持している。
【０００６】
特許文献１に記載される保持装置では、チャックテーブルのウエハ保持部に設けた吸引口（第二吸引口）と、ウエハとダイシングフレームの間に対応して、同じくチャックテーブルに設けた吸引口（第一吸引口）とで、それぞれ空気を吸い出し、ダイシングテープをチャックテーブルに吸引保持している。しかしながら、ダイシングフレームの板厚が小さく剛性が小さく、ダイシングテープの張力に起因してダイシングフレームに歪みや反りが発生している場合、ダイシングフレームの反り等に伴ってダイシングテープにも反り等が生じて、ダイシングテープを吸引保持できない虞がある。
【０００７】
そこで、研削加工中は、ワークユニットのダイシングフレームをダイシングテープと共にフレーム保持部に強制的に吸引して保持する構造にしたワーク保持装置もあり、例えば図９及び図１０に示すような構造が知られている。
【０００８】
図９及び図１０に示すワーク保持装置１００は、チャックテーブル１１０とチャックプレート１２０と、図１０に示すワークユニット１３０を備えている。なお、図９は、ワーク保持装置１００において、ワークユニット１３０がチャックテーブル１１０上にセットされる前の状態であって、ワークユニット１３０は取り除かれている。よって、図９では、チャックテーブル１１０とチャックプレート１２０を示している斜視図である。一方、図１０は、チャックテーブル１１０にワークユニット１３０がセットされた状態での要部拡大断面図になる。
【０００９】
図９及び図１０において、ワークユニット１３０は、中央に開口１３１を有するダイシングフレーム１３２に、ダイシングフレーム１３２の開口１３１を塞いで貼着したダイシングテープ１３３を備えており、開口１３１に露出しているダイシングテープ１３３上に、ワークとして円板状をしたウエハＷを貼着し、ウエハＷとダイシングテープ１３３とダイシングフレーム１３２とを一体化したものである。ウエハＷは、ダイシングテープ１３３に表面が貼着され、裏面は研削砥石等により研削される被研削面となっている。
【００１０】
チャックテーブル１１０は、ウエハＷと相似形の保持面１１１ａを有したチャック部１１１と、チャック部１１１の外周に凹設されて環状をした収納部１１２と、を備えている。収納部１１２の底面１１２ａには、収納部１１２の外側内周面１１２ｂと略等しい外径を有するリング円状のチャックプレート１２０が配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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