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公開番号2025062859
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-15
出願番号2023172203
出願日2023-10-03
発明の名称試験装置及び試験方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G01N 3/20 20060101AFI20250408BHJP(測定;試験)
要約【課題】試験片をシートに接着しつつも、抗折強度の測定において、シートの種類、試験片とシートとの接着状況等の影響を低減する。
【解決手段】薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験装置であって、試験片に対して接着されるシートを保持しており、試験片の第1面と、試験片の厚さ方向において第1面とは反対側に位置する第2面と、のうち第1面に対してシートを接着するときに使用されるシートユニットと、シートを介して試験片の第1面を押圧する圧子と、圧子が試験片を押圧するときに試験片にかかる荷重を測定するための荷重測定器と、平面視において圧子の先端部を挟む様に配置されており、圧子が試験片を押圧するときに試験片の第2面に接する一対の受部を有する試験片受部と、を備える試験装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験装置であって、
該試験片に対して接着されるシートを保持しており、該試験片の第１面と、該試験片の厚さ方向において該第１面とは反対側に位置する第２面と、のうち該第１面に対して該シートを接着するときに使用されるシートユニットと、
該シートを介して該試験片の該第１面を押圧する圧子と、
該圧子が該試験片を押圧するときに該試験片にかかる荷重を測定するための荷重測定器と、
平面視において該圧子の先端部を挟む様に配置されており、該圧子が該試験片を押圧するときに該試験片の該第２面に接する一対の受部を有する試験片受部と、
を備えることを特徴とする試験装置。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
該試験片受部は、該一対の受部を昇降させるための昇降機構を含むことを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
プロセッサ及びメモリを有し、該シートユニット、該圧子、及び、該昇降機構の動作を制御するコントローラを更に備え、
該試験片受部は、該圧子よりも下方に配置されており、
該コントローラは、該シートよりも下方に配置された該一対の受部に該試験片が載置された後に、該一対の受部を上昇させることで、該試験片を該シートに接着させることを特徴とする請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験方法であって、
第１面と、厚さ方向において該第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する該試験片の該第１面にシートを接着させた状態で、該試験片の該第２面に試験片受部が対面し、且つ、該シートを介して圧子が該第１面に対面する様に、該試験片受部及び該圧子の間に該試験片を配置する試験片配置工程と、
該試験片受部で該試験片の該第２面を受けた状態で該シートを介して該試験片の該第１面を該圧子で押圧して該試験片を破壊することにより、該試験片が破壊されるときの荷重を測定する荷重測定工程と、
を備えることを特徴とする試験方法。
【請求項５】
該荷重測定工程の後、該シートに接着している破壊された該試験片を観察して、該試験片が破壊されたときの破壊起点を検出する破壊起点検出工程を更に備えることを特徴とする請求項４に記載の試験方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験装置、及び、薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、研削により薄化された半導体ウェーハの被研削面の状態と、研削を経て半導体ウェーハを複数に分割することで形成されたチップの抗折強度と、には一定の関係があることが知られている。それゆえ、チップの抗折強度を参考にして、半導体ウェーハに対する適切な研削条件が選定されることがある。
【０００３】
抗折強度は、三点曲げ強さとも呼ばれる。三点曲げ強さは、一定距離に配置された二つの支点上にチップ（即ち、試験片）を置いた状態で、支点間の中央の一点に圧子で荷重を加えることにより、試験片が折れて破壊されたときの最大荷重に基づいて算出される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかし、二つの支点上に試験片を置いた状態で圧子を降下させることで試験片に荷重を加えると、破壊されて破片となった試験片が飛散するので、定期的な清掃が必要となる。
【０００５】
そこで、試験片の一面の略全体にテープ（即ち、接着層を有するシート）を接着した状態で、試験片の厚さ方向において当該一面とは反対側に位置する試験片の他面を圧子で押圧することで試験片を破壊する試験装置が開発されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
しかし、この場合、シートに接着されている試験片の一面に、割れの起点（即ち、破壊起点）が形成される。それゆえ、試験片に接着されるシートの種類、試験片とシートとの接着状況（例えば、接着力の大きさ、シートにかけられている張力の大きさ）等に応じて、試験片の破壊が妨げられる、破壊起点の位置及び亀裂の方向が変化する、測定により得られる抗折強度の値が安定しない等の可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２０－９４８３２号公報
特開２０２３－１０２０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は係る点に鑑みてなされたものであり、試験片をシートに接着しつつも、抗折強度の測定において、シートの種類、試験片とシートとの接着状況等の影響を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、薄板状の試験片が破壊されるときの荷重を測定する試験装置であって、該試験片に対して接着されるシートを保持しており、該試験片の第１面と、該試験片の厚さ方向において該第１面とは反対側に位置する第２面と、のうち該第１面に対して該シートを接着するときに使用されるシートユニットと、該シートを介して該試験片の該第１面を押圧する圧子と、該圧子が該試験片を押圧するときに該試験片にかかる荷重を測定するための荷重測定器と、平面視において該圧子の先端部を挟む様に配置されており、該圧子が該試験片を押圧するときに該試験片の該第２面に接する一対の受部を有する試験片受部と、を備える試験装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、該試験片受部は、該一対の受部を昇降させるための昇降機構を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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