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公開番号2025068784
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-30
出願番号2023178786
出願日2023-10-17
発明の名称X線検査装置
出願人株式会社イシダ
代理人個人,個人,個人
主分類G01N 23/18 20180101AFI20250422BHJP(測定;試験)
要約【課題】低電圧の条件で検査を実行し続けた場合であっても、検査処理能力が低下することを抑制できる。
【解決手段】X線検査装置1は、X線管球50における陰極57と陽極56との間に第一の電圧を印加することでX線を発生させ、搬送される物品Gに対しX線を照射するX線照射部6と、X線照射部6から照射されるX線を検出するX線検出部7と、X線検出部7の検出結果に基づいてX線透過画像を生成し、物品Gを検査する検査部40と陰極57と陽極56との間に印加する電圧を変更する制御部40と、を備える。制御部40は、第一の電圧を印加することによって発生するX線の照射を開始する前、又は、第一の電圧を印加することによって発生するX線の照射を終了した後に、陰極57と陽極56との間に第一の電圧より高い第二の電圧を印加する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線管球における陰極と陽極との間に第一の電圧を印加することでＸ線を発生させ、搬送される物品に対しＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記Ｘ線照射部から照射される前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部の検出結果に基づいてＸ線透過画像を生成し、前記物品を検査する検査部と、
前記陰極と前記陽極との間に印加する電圧を変更する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を開始する前、又は、前記第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を終了した後に、前記陰極と前記陽極との間に前記第一の電圧より高い第二の電圧を印加する、Ｘ線検査装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記第一の電圧の範囲は、１５ｋＶ～５０ｋＶであり、前記第二の電圧の範囲は、６０ｋＶ～１５０ｋＶである、請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記第二の電圧は、前記第一の電圧の２倍以上である、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記Ｘ線管球の使用開始時又は前記第二の電圧の前回印加時を起点としたときの、前記Ｘ線照射部において発生する異常放電の回数、及び、前記Ｘ線照射部における前記Ｘ線の照射時間の少なくとも一方に基づいて、前記第二の電圧の強度及び印加時間の少なくとも一方を決定する、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記Ｘ線管球の使用開始時又は前記第二の電圧の前回印加時を起点としたときの前記Ｘ線照射部において発生する異常放電の回数を記憶し、前記異常放電の回数に基づいて前記第二の電圧の印加の有無を決定する、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記Ｘ線管球の使用開始時又は前記第二の電圧の前回印加時を起点としたときの前記Ｘ線照射部における前記Ｘ線の照射時間を記憶し、前記照射時間に基づいて前記第二の電圧の印加の有無を決定する、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記制御部は、電源投入時に前記第二の電圧を印加する、請求項１又は２記載のＸ線検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、Ｘ線検査装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
物品を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、を備えるＸ線検査装置が知られている（例えば特許文献１）。このようなＸ線検査装置では、検査対象の物品の種類に合わせて、Ｘ線管にかける電圧値を調整し、Ｘ線の出力値を適切に切り替えることが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－２０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなＸ線検査装置において、電圧値が例えば１５ｋＶ～５０ｋＶの範囲の低電圧の条件で検査を実行し続けると、取得されるＸ線透過画像の一部にＸ線が適切に放射されたなかったこと（Ｘ線管球内において発生する異常放電）を起因とする不具合が発生することがある。この場合、Ｘ線透過画像を再取得する必要があり、Ｘ線検査装置の検査処理能力が低下する。
【０００５】
そこで、本発明の一側面の目的は、低電圧の条件で検査を実行し続けた場合であっても、検査処理能力が低下することを抑制できるＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、Ｘ線管球における陰極と陽極との間に第一の電圧を印加することでＸ線を発生させ、搬送される物品に対しＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線照射部から照射されるＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部の検出結果に基づいてＸ線透過画像を生成し、物品を検査する検査部と、陰極と陽極との間に印加する電圧を変更する制御部と、を備え、制御部は、第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を開始する前、又は、第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を終了した後に、陰極と陽極との間に前記第一の電圧より高い第二の電圧を印加する。
【０００７】
低電圧の条件でＸ線検査装置を使用し続けると、取得されるＸ線透過画像の一部にＸ線が適切に放射されたなかったことを起因とする不具合が発生することについて、本願発明者は、陰極と陽極との間に印加される電圧が低いと、陰極から陽極に電子を引っ張る力が弱く、ターゲットにあたらなかった余剰電子がＸ線管球内に滞ってしまうことが原因ではないかと考えた。そこで、陰極と陽極との間に高電圧を印加すれば、これらの余剰電子がターゲットにぶつかってＸ線管球内から追い出され、Ｘ線管球からＸ線が適切に放射されるようになると考えた。そこで、制御部は、第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を開始する前、又は、第一の電圧を印加することによって発生するＸ線の照射を終了した後に、陰極と陽極との間に第一の電圧より高い第二の電圧を印加している。これにより、Ｘ線管球内において発生する異常放電が抑制され、低電圧の条件で検査を実行し続けた場合であっても、検査処理能力が低下することを抑制できる。
【０００８】
（２）上記（１）に記載のＸ線検査装置では、第一の電圧の範囲は、１５ｋＶ～５０ｋＶであり、第二の電圧の範囲は、６０ｋＶ～１５０ｋＶであってもよい。この構成では、１５ｋＶ～５０ｋＶの範囲の低電圧の条件でＸ線検査装置を使用し続けた場合であっても、６０ｋＶ～１５０ｋＶの範囲の高電圧を定期的に印加することによって、取得されるＸ線透過画像の一部にＸ線が適切に放射されたなかったことを起因とする不具合が発生することを抑制できる。
【０００９】
（３）上記（１）又は（２）に記載のＸ線検査装置では、第二の電圧は、第一の電圧の２倍以上であってもよい。この構成では、第一の電圧の２倍以上の第二の電圧を定期的に印加することによって、取得されるＸ線透過画像の一部にＸ線が適切に放射されたなかったことを起因とする不具合が発生することを抑制できる。
【００１０】
（４）上記（１）～（３）の何れか一つに記載のＸ線検査装置では、制御部は、Ｘ線管球の使用開始時又は第二の電圧の前回印加時を起点としたときの、Ｘ線照射部において発生する異常放電の回数、及び、Ｘ線照射部におけるＸ線の照射時間の少なくとも一方に基づいて、第二の電圧の強度及び印加時間の少なくとも一方を決定してもよい。この構成では、Ｘ線管球内の余剰電子を適切に排除できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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