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公開番号2025083929
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-02
出願番号2023197618
出願日2023-11-21
発明の名称厚み測定装置
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類G01B 21/08 20060101AFI20250526BHJP(測定;試験)
要約【課題】キャリアシート上に形成された塗布膜機能シートの厚みを精度よく測定することが可能な厚み測定装置、また、この厚み測定装置を利用したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法を提供すること。
【解決手段】搬送されるキャリアシート10の上に形成する塗布膜20の厚みを測定する厚み測定装置であって、前記塗布膜20が形成される前の前記キャリアシート10の厚み情報を、光を照射することにより取得するとともに、第1の位置を取得する第1の測定部1Aと、前記塗布膜20が形成された後の前記キャリアシート10と前記塗布膜20の厚み情報を、放射線を照射することにより取得するとともに、第2の位置を取得する第2の測定部1Bと、前記第1の位置の前記キャリアシートの厚み情報および前記第2の位置における厚み情報に基づいて前記塗布膜の厚みを算出する演算処理部と、を含む、厚み測定装置1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
搬送されるキャリアシートの上に形成する塗布膜の厚みを測定する厚み測定装置であって、
前記塗布膜が形成される前の前記キャリアシートの厚み情報を、光を照射することにより取得するとともに、前記キャリアシートの厚み情報を取得した位置である第１の位置を取得する第１の測定部と、
前記塗布膜が形成された後の前記キャリアシートと前記塗布膜の厚み情報を、放射線を照射することにより取得するとともに、前記キャリアシートと前記塗布膜の厚み情報を取得した位置である第２の位置を取得する第２の測定部と、
前記第１の位置の前記キャリアシートの厚み情報および前記第１の位置に対して所定の範囲にある前記第２の位置における厚み情報を基づいて前記塗布膜の厚みを算出する演算処理部と、
を含む、厚み測定装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
キャリアシートを搬送方向に搬送する搬送部と、前記キャリアシートに機能シートが配置された複合シートを形成する複合シート形成部と、搬送される測定対象の厚みを測定する厚み測定部と、を含む厚み測定装置であって、
前記厚み測定部は、
前記機能シートが配置される前の前記キャリアシートの厚み情報を、光を照射することにより取得する第１の測定部と、
前記機能シートが配置された後の前記複合シートの厚み情報を、放射線を照射することにより取得する第２の測定部と、
前記第１の測定部により前記光が照射される前記キャリアシートの第１の位置と、前記第２の測定部により前記放射線が照射される前記キャリアシートの第２の位置との前記搬送方向おける位置偏差を減少させるように前記搬送部を制御する搬送制御部と、
前記第１の位置における前記キャリアシートの厚み情報および前記第２の位置における前記複合シートの厚み情報に基づいて前記機能シートの厚みを算出する演算処理部と、
を含む、厚み測定装置。
【請求項３】
前記第１の測定部は、搬送される前記キャリアシートの表面から垂直な方向に所定の距離を設けて配置され、前記第２の測定部は、前記キャリアシートの搬送方向と直交する方向の成分を有し、前記キャリアシートの表面と平行な平面上を前記キャリアシートに対して相対的に往復移動可能に設けられている、請求項１又は２に記載の厚み測定装置。
【請求項４】
第１の測定部は、干渉測定を行う、請求項１又は２に記載の厚み測定装置。
【請求項５】
第１の測定部は、反射型干渉測定を行う、請求項４に記載の厚み測定装置。
【請求項６】
前記第１の測定部は、前記搬送方向と直交する前記キャリアシートの幅方向に沿って一定間隔で配置した複数の光源から光を照射する、請求項３に記載の厚み測定装置。
【請求項７】
前記第２の測定部は、放射線としてＸ線又はβ線を照射する、請求項１又は２に記載の厚み測定装置。
【請求項８】
請求項１に記載の厚み測定装置と、
前記厚み測定装置で測定された前記塗布膜の厚みに基づいて塗布量を制御する塗布膜形成部と、を含み、
前記塗布膜は、セラミックスラリーの塗布膜又は前記セラミックスラリーの塗布膜が乾燥することにより形成されるセラミックグリーンシートであり、
前記キャリアシート上にセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを形成するセラミックグリーンシートの製造装置。
【請求項９】
請求項１に記載の厚み測定装置を使用するセラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記塗布膜は、セラミックスラリーの塗布膜又は前記セラミックスラリーの塗布膜が乾燥することにより形成されるセラミックグリーンシートであり、
前記厚み測定装置により算出された前記セラミックスラリーの塗布膜又は前記セラミックグリーンシートの厚みに基づいて塗布膜形成部が塗布量を制御しながら前記キャリアシート上にセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを形成するセラミックグリーンシートの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアシート上に配置された機能シートの厚みを測定するための厚み測定装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品の製造においては、セラミックグリーンシートの厚みを制御することが重要である。セラミックグリーンシートは、通常、キャリアシート上にセラミックスラリーを所定の厚みで塗布することにより形成されるが、セラミックスラリーを塗布する工程においては、塗布膜の厚みを測定しながら、セラミックスラリーの塗布量を制御し、所定の厚みとなるように調整して行う必要がある。
【０００３】
ところで、キャリアシート上に形成されたセラミックグリーンシートの厚みを測定する場合、従来は、セラミックグリーンシートに対してダメージを与えない非接触型の厚み測定装置を用いて測定する方法が一般的に用いられており、セラミックグリーンシートの厚みとキャリアシートの厚みとの合算値を膜厚値として測定し、この膜厚値から、予め測定しておいたキャリアシートの厚みを差し引くことにより、セラミックグリーンシートの厚みを求めていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開昭５９－９９３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような非接触型の厚み測定装置を用いる測定方法においては、測定時の位置ずれなどに起因する誤差が生じ、高精度なシート厚を測定することは必ずしも容易ではないのが実情である。
【０００６】
また、Ｘ線を用いる厚み検出器とβ線を用いる厚み検出器の２種類の検出器を、キャリアシートの流れ方向と平行な一体型として配置し、それぞれの放射線吸収係数差を利用して、演算により塗工量を測定するようにした塗工量測定装置が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００７】
しかし、このような放射線を用いた測定装置においては、放射線量のばらつきから、キャリアシートの厚みに測定誤差が生じ易い。塗布膜をはじめとした特定の機能を有するものとして使用されることが予定されたシートである機能シートが測定対象の場合には、精度よく測定することが求められる。
【０００８】
本発明は、キャリアシート上に形成された機能シートの厚みを精度よく測定することが可能な厚み測定装置、また、この厚み測定装置を利用したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、塗布膜が形成される前のキャリアシートの厚み情報を、光を照射することにより取得する第１の測定部と、塗布膜が形成された後のキャリアシートと塗布膜の厚み情報を、放射線を照射することにより取得する第２の測定部と、を備え、第１の測定部からの厚み情報と第２の測定部からの厚み情報を演算処理することにより、塗布膜の厚みを精度よく測定できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、搬送されるキャリアシートの上に形成する塗布膜の厚みを測定する厚み測定装置であって、
前記塗布膜が形成される前の前記キャリアシートの厚み情報を、光を照射することにより取得するとともに、前記キャリアシートの厚み情報を取得した位置である第１の位置を取得する第１の測定部と、
前記塗布膜が形成された後の前記キャリアシートと前記塗布膜の厚み情報を、放射線を照射することにより取得するとともに、前記キャリアシートと前記塗布膜の厚み情報を取得した位置である第２の位置を取得する第２の測定部と、
前記第１の位置の前記キャリアシートの厚み情報および前記第１の位置に対して所定の範囲にある前記第２の位置における厚み情報に基づいて前記塗布膜の厚みを算出する演算処理部と、
を含む、厚み測定装置である。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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