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公開番号2025067495
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-24
出願番号2023177526
出願日2023-10-13
発明の名称検出装置
出願人株式会社ニコン
代理人個人,個人,個人
主分類G01K 1/02 20210101AFI20250417BHJP(測定;試験)
要約【課題】消費電力の増大を抑制しつつ、複数の位置における温度を検出することができる。
【解決手段】検出装置は、予め決められた電源電圧が印加される電源線と、出力信号が出力される出力線と、前記電源線と前記出力線との間において並列に接続され、温度に応じた信号を前記出力信号として前記出力線に出力する複数の温度検出部と、前記複数の温度検出部を時分割によって駆動する駆動部と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
予め決められた電源電圧が印加される電源線と、
出力信号が出力される出力線と、
前記電源線と前記出力線との間において並列に接続され、温度に応じた信号を前記出力信号として前記出力線に出力する複数の温度検出部と、
前記複数の温度検出部を時分割によって駆動する駆動部と、
を備える検出装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記駆動部は、前記複数の温度検出部のうちの第１温度検出部を駆動する場合、前記複数の温度検出部のうちの前記第１温度検出部以外の温度検出部を停止させる、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記複数の温度検出部のそれぞれは、前記出力線との間の導通状態を切り替えるスイッチ素子を介して前記出力線と接続される、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項４】
前記複数の温度検出部のうちの少なくとも一部は、リングオシレータを含む、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項５】
クロック信号線を備え、
前記駆動部は、前記クロック信号線から供給されるクロック信号に基づいて、対応する前記温度検出部を駆動するシフトレジスタを含む、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項６】
駆動パルス信号を伝達する駆動パルス線を備え、
前記シフトレジスタは、前段から伝達される前記駆動パルス信号に基づいて、対応する前記温度検出部を駆動し、前記クロック信号に基づいて前記駆動パルス信号を後段に伝達する、
請求項５に記載の検出装置。
【請求項７】
前記クロック信号線の接続端子と、前記駆動パルス線の接続端子と、前記電源線の接続端子と、前記出力線の接続端子とが予め決められた順に並ぶ入力側の第１接続部と、
前記クロック信号線の接続端子と、前記駆動パルス線の接続端子と、前記電源線の接続端子と、前記出力線の接続端子とが前記予め決められた順に並ぶ出力側の第２接続部と、
を備える請求項６に記載の検出装置。
【請求項８】
前記複数の温度検出部において隣り合う２つの温度検出部間の距離は、予め決められた距離以上の距離である、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項９】
前記予め決められた距離は、１メートル以上である、
請求項７に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記複数の温度検出部は、略直線状に並んでいる、
請求項１に記載の検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
温度を検出する検出装置についての研究、開発が行われている。
【０００３】
これに関し、リングオシレータを用いて温度を検出する検出装置が知られている（非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
"Temperature Sensor Made of Amorphous Indium-Gallium-Zinc Oxide TFTs", Hoon Jeong, Chung Sik Kong, Sung Wook Chang, Kwon Shik Park, Sang Gul Lee, Yong Min Ha, and Jin Jang, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, VOL. 34, NO. 12, DECEMBER 2013.
【発明の概要】
【０００５】
本発明の第１の態様による検出装置は、予め決められた電源電圧が印加される電源線と、出力信号が出力される出力線と、前記電源線と前記出力線との間において並列に接続され、温度に応じた信号を前記出力信号として前記出力線に出力する複数の温度検出部と、前記複数の温度検出部を時分割によって駆動する駆動部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
検出装置１が使用されている様子の一例を示す図である。
検出装置１の構成の一例を示す図である。
リングオシレータＲＯを示す論理回路の一例を示す図である。
リングオシレータＲＯから出力される出力信号の一例を示す図である。
ＣＭＯＳインバータの論理回路の一例を示す図である。
ダイオード接続された電界効果トランジスタを含むインバータの論理回路の一例を示す図である。
擬ＣＭＯＳ型のインバータの論理回路の一例を示す図である。
図２に示した検出装置１における駆動部１２の構成の一例を示す図である。
フリップフロップＦＦ１の回路構成の一例を示す図である。
シフトレジスタＳＲにおいてＮ個のフリップフロップＦＦのそれぞれが時分割で駆動パルス信号を出力している様子の一例を示す図である。
検出装置１の回路構成の具体例を示す図である。
図１１に示した検出装置１における４個の温度検出部１１のそれぞれが出力信号を出力するタイミングをシミュレーションした結果の一例を示す図である。
検出装置１の構成の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。ここで、実施形態では、直流電力に応じた電気信号、又は交流電力に応じた電気信号を伝送する導体のことを、伝送路と称して説明する。伝送路は、例えば、基板上にプリントされた導体であってもよく、導体が線状に形成された導線であってもよく、他の導体であってもよい。また、実施形態では、電圧と称した場合、所定の基準となる電位からの電位差を意味し、基準となる電位についての図示及び説明を省略する。ここで、基準となる電位は、如何なる電位であってもよい。実施形態では、一例として、基準となる電位がグラウンド電位である場合について説明する。また、実施形態では、説明の便宜上、ある電界効果トランジスタの状態のうちドレイン端子とソース端子との間が通電している状態のことを、オン状態と称して説明する。また、実施形態では、説明の便宜上、ある電界効果トランジスタの状態のうちドレイン端子とソース端子との間が通電していない状態のことを、オフ状態と称して説明する。
【０００８】
＜検出装置の概要＞
まず、実施形態に係る検出装置の概要について説明する。
【０００９】
実施形態に係る検出装置は、電源線と、出力線と、複数の温度検出部と、駆動部を備える。電源線には、予め決められた電源電圧が印加される。出力線には、出力信号が出力される。複数の温度検出部は、電源線と出力線との間において並列に接続される。また、複数の温度検出部は、温度に応じた信号を前記出力信号として出力線に出力する。駆動部は、複数の温度検出部を時分割によって駆動する。これにより、検出装置は、消費電力の増大を抑制しつつ、複数の位置における温度を検出することができる。
【００１０】
以下では、実施形態に係る検出装置の構成について詳しく説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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