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公開番号2025074765
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-14
出願番号2023185790
出願日2023-10-30
発明の名称X線測定装置
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01B 15/02 20060101AFI20250507BHJP(測定;試験)
要約【課題】膜厚の算出精度を向上する。
【解決手段】膜が表面に形成された試料2に対して膜厚を測定するX線測定装置1であって、試料2へ照射したX線の回折環を取得する取得部と、回折環における複数のα角のそれぞれに対してピーク強度を特定する特定部と、α角に対するピーク強度の分布に対してフーリエ級数展開を行うフーリエ部と、フーリエ級数展開により算出されたフーリエ係数に基づいて、膜の膜厚を算出する算出部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
膜が表面に形成された試料に対して膜厚を測定するＸ線測定装置であって、
前記試料へ照射したＸ線の回折環を取得する取得部と、
前記回折環における複数のα角のそれぞれに対してピーク強度を特定する特定部と、
前記α角に対する前記ピーク強度の分布に対してフーリエ級数展開を行うフーリエ部と、
前記フーリエ級数展開により算出されたフーリエ係数に基づいて、前記膜の膜厚を算出する算出部と、
を備えるＸ線測定装置。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記フーリエ係数は、前記フーリエ級数展開における０次の係数である、
請求項１に記載のＸ線測定装置。
【請求項３】
前記算出部は、前記フーリエ係数が膜厚の指数関数で示された補正情報に基づいて、前記フーリエ係数から前記膜の膜厚を算出する、
請求項１又は２に記載のＸ線測定装置。
【請求項４】
前記補正情報は、異なる膜厚の基準試料のそれぞれに対してＸ線を照射して取得した複数の基準回折環に基づいて設定される、
請求項３に記載のＸ線測定装置。
【請求項５】
前記補正情報は、複数の前記基準回折環により得られたα角に対するピーク強度の分布状態に基づいて設定される、
請求項４に記載のＸ線測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線測定装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線を照射することで、試料の表面に形成された膜の厚さ（膜厚）を測定することができる。例えば特許文献１では、試料へＸ線を照射し、放出される蛍光Ｘ線の線量を計測して膜厚を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平７－１２８０４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、照射したＸ線の線量等のＸ線の減衰量に基づいて膜厚を算出する場合、試料において回折した回折環における特定の１つのα角の強度のみしか用いられないと考えられる。この場合には、α角によって検出値がばらつくと膜厚の算出精度が低下する可能性がある。
【０００５】
上記課題に鑑み、本発明は、膜厚の算出精度を向上することができるＸ線測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線測定装置は、膜が表面に形成された試料に対して膜厚を測定するＸ線測定装置であって、前記試料へ照射したＸ線の回折環を取得する取得部と、前記回折環における複数のα角のそれぞれに対してピーク強度を特定する特定部と、前記α角に対する前記ピーク強度の分布に対してフーリエ級数展開を行うフーリエ部と、前記フーリエ級数展開により算出されたフーリエ係数に基づいて、前記膜の膜厚を算出する算出部と、を備える。
【０００７】
また、Ｘ線測定装置において、前記フーリエ係数は、前記フーリエ級数展開における０次の係数である。
【０００８】
また、Ｘ線測定装置において、前記算出部は、前記フーリエ係数が膜厚の指数関数で示された補正情報に基づいて、前記フーリエ係数から前記膜の膜厚を算出する。
【０００９】
また、Ｘ線測定装置において、前記補正情報は、異なる膜厚の基準試料のそれぞれに対してＸ線を照射して取得した複数の基準回折環に基づいて設定される。
【００１０】
また、Ｘ線測定装置において、前記補正情報は、複数の前記基準回折環により得られたα角に対するピーク強度の分布状態に基づいて設定される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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