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公開番号
2025074762
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-05-14
出願番号
2023185786
出願日
2023-10-30
発明の名称
X線測定装置
出願人
株式会社不二越
代理人
個人
,
個人
主分類
G01N
23/2055 20180101AFI20250507BHJP(測定;試験)
要約
【課題】機構の複雑化を抑制しつつ位置合わせを行う。
【解決手段】表面が曲面の試料2の所定位置に対してX線測定を行うX線測定装置1であって、試料2の表面へX線を照射した場合の回折環を取得する取得部と、回折環に基づいて、X線が照射された試料2の表面におけるX線の入射角を算出する算出部と、入射角に基づいて、X線を試料の表面における所定位置へ照射するためのX線測定の照射位置を補正する補正値を算出する位置補正部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
表面が曲面の試料の所定位置に対してX線測定を行うX線測定装置であって、
前記試料の表面へX線を照射した場合の回折環を取得する取得部と、
前記回折環に基づいて、X線が照射された前記試料の表面におけるX線の入射角を算出する算出部と、
前記入射角に基づいて、X線を前記試料の表面における前記所定位置へ照射するための前記X線測定の照射位置を補正する補正値を算出する位置補正部と、
を備えるX線測定装置。
続きを表示(約 480 文字)
【請求項2】
前記算出部は、前記回折環における複数のα角における強度に係るパラメータの分布をフーリエ級数展開したフーリエ係数に基づいて、前記入射角を算出する、
請求項1に記載のX線測定装置。
【請求項3】
前記フーリエ係数は、前記フーリエ級数展開における一次の余弦波の係数である、
請求項2に記載のX線測定装置。
【請求項4】
前記算出部は、前記入射角が前記フーリエ係数の二次式で対応付けられた補正情報に基づいて、前記フーリエ係数から前記入射角を算出する、
請求項2又は3に記載のX線測定装置。
【請求項5】
前記補正情報は、表面が平面である基準試料に対して、X線の前記入射角と、X線の前記照射位置から前記基準試料までの距離と、をそれぞれ複数変更して取得した複数の基準回折環に基づいて設定される、
請求項4に記載のX線測定装置。
【請求項6】
前記試料の表面のおける前記所定位置は、前記試料の表面における頂点である、
請求項1又は2に記載のX線測定装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、X線測定装置に関する。
続きを表示(約 1,100 文字)
【背景技術】
【0002】
試料を分析するために、試料へ向けてX線を照射し、試料で回折したX線の回折環を検出する方法がある。検出された回折環によることで、試料を分析することが可能である。例えば応力を測定する場合、試料の表面形状が測定精度に影響する。表面の形状は、例えば特許文献1のようなラインセンサや、試料に接触させる治具を用いて検出する場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2006-317465号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
X線測定装置において、例えば応力測定といったX線測定のために試料の表面の頂点に対して位置合わせを行うことがある。このような場合に、ラインセンサや治具を用いて試料表面の頂点を検知しようとすると、機構が複雑化する可能性がある。また、ラインセンサはコストを要する可能性が高く、接触型の治具は試料の表面を損傷させる可能性がある。
【0005】
上記課題に鑑み、本発明は、機構の複雑化を抑制しつつ位置合わせを行うことができるX線測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するために、本発明に係るX線測定装置は、表面が曲面の試料の所定位置に対してX線測定を行うX線測定装置であって、前記試料の表面へX線を照射した場合の回折環を取得する取得部と、前記回折環に基づいて、X線が照射された前記試料の表面におけるX線の入射角を算出する算出部と、前記入射角に基づいて、X線を前記試料の表面における前記所定位置へ照射するための前記X線測定の照射位置を補正する補正値を算出する位置補正部と、を備える。
【0007】
また、X線測定装置において、前記算出部は、前記回折環における複数のα角における強度に係るパラメータの分布をフーリエ級数展開したフーリエ係数に基づいて、前記入射角を算出する。
【0008】
また、X線測定装置において、前記フーリエ係数は、前記フーリエ級数展開における一次の余弦波の係数である。
【0009】
また、X線測定装置において、前記算出部は、前記入射角が前記フーリエ係数の二次式で対応付けられた補正情報に基づいて、前記フーリエ係数から前記入射角を算出する。
【0010】
また、X線測定装置において、前記補正情報は、表面が平面である基準試料に対して、X線の前記入射角と、X線の前記照射位置から前記基準試料までの距離と、をそれぞれ複数変更して取得した複数の基準回折環に基づいて設定される。
(【0011】以降は省略されています)
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