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公開番号2025109589
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-25
出願番号2024003573
出願日2024-01-12
発明の名称スイッチング装置
出願人オムロン株式会社
代理人個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250717BHJP(測定;試験)
要約【課題】スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、高精度な測定を維持する。
【解決手段】スイッチング装置は、第1DUT端子と第1DC端子と第1RF端子と第1ローパスフィルターと第1RFスイッチと第1DCスイッチとを備える。第1ローパスフィルターは、第1DUT端子と第1DC端子とに接続される。第1RFスイッチは、第1DUT端子と第1RF端子とに接続される。第1RFスイッチは、オン状態で第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に導通させる。第1RFスイッチは、オフ状態で第1DUT端子と第1RF端子とを電気的に遮断する。第1DCスイッチは、第1ローパスフィルターと第1DC端子とに接続される。第1DCスイッチは、オン状態で第1ローパスフィルターと第1DC端子とを電気的に導通させる。第1DCスイッチは、オフ状態で第1ローパスフィルターと第1DC端子とを電気的に遮断する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定物に対する高周波特性を検査するＲＦ検査と、前記被測定物に対するＤＣ特性を検査するＤＣ検査とを切り替えるためのスイッチング装置であって、
前記被測定物用の第１ＤＵＴ端子と、
前記ＤＣ検査用の第１ＤＣ端子と、
前記ＲＦ検査用の第１ＲＦ端子と、
前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＤＣ端子とに接続される第１ローパスフィルターと、
前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とに接続され、前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第１ＤＵＴ端子と前記第１ＲＦ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第１ＲＦスイッチと、
前記第１ローパスフィルターと前記第１ＤＣ端子とに接続され、前記第１ローパスフィルターと前記第１ＤＣ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第１ローパスフィルターと前記第１ＤＣ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第１ＤＣスイッチと、
を備えるスイッチング装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第１ＤＣスイッチは、無接点リレーである、
請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項３】
前記第１ＤＵＴ端子と、前記第１ＤＣ端子と、前記第１ＲＦ端子と、前記第１ローパスフィルターと、前記第１ＤＣスイッチと、前記第１ＲＦスイッチとは、一体的にモジュール化されている、
請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項４】
前記第１ローパスフィルターに接続される第１ＤＣ中間端子をさらに備え、
前記第１ＤＵＴ端子と、前記第１ＤＣ中間端子と、前記第１ＲＦ端子と、前記第１ローパスフィルターと、前記第１ＲＦスイッチとは、リレーモジュールとして、一体的にモジュール化されており、
前記第１ＤＣスイッチは、前記リレーモジュールの外部に配置され、前記第１ＤＣ中間端子に接続されている、
請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項５】
前記第１ＲＦスイッチをオン状態とオフ状態とに切り替えるＲＦ駆動部と、
前記第１ＤＣスイッチをオン状態とオフ状態とに切り替える第１ＤＣ駆動部と、
前記ＲＦ駆動部に接続される第１駆動端子と、
前記第１ＤＣ駆動部に接続される第２駆動端子と、
前記ＲＦ駆動部と前記第１ＤＣ駆動部とに接続される第３駆動端子と、
を備える請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項６】
前記第１ＲＦスイッチがオン状態で、前記第１ＤＣスイッチはオフ状態となり、
前記第１ＲＦスイッチがオフ状態で、前記第１ＤＣスイッチはオン状態となる、
請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項７】
前記被測定物用の第２ＤＵＴ端子と、
前記ＤＣ検査用の第２ＤＣ端子と、
前記ＲＦ検査用の第２ＲＦ端子と、
前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＤＣ端子とに接続される第２ローパスフィルターと、
前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とに接続され、前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第２ＤＵＴ端子と前記第２ＲＦ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第２ＲＦスイッチと、
前記第２ローパスフィルターと前記第２ＤＣ端子とに接続され、前記第２ローパスフィルターと前記第２ＤＣ端子とを電気的に導通させるオン状態と、前記第２ローパスフィルターと前記第２ＤＣ端子とを電気的に遮断するオフ状態とに切り替え可能な第２ＤＣスイッチと、
をさらに備える請求項１に記載のスイッチング装置。
【請求項８】
前記第１ＤＣスイッチと前記第２ＤＣスイッチとは、無接点リレーである、
請求項７に記載のスイッチング装置。
【請求項９】
前記第１ＤＵＴ端子と、前記第１ＤＣ端子と、前記第１ＲＦ端子と、前記第１ローパスフィルターと、前記第１ＤＣスイッチと、前記第１ＲＦスイッチと、前記第２ＤＵＴ端子と、前記第２ＤＣ端子と、前記第２ＲＦ端子と、前記第２ローパスフィルターと、前記第２ＤＣスイッチと、前記第２ＲＦスイッチとは、一体的にモジュール化されている、
請求項７に記載のスイッチング装置。
【請求項１０】
前記第１ローパスフィルターに接続される第１ＤＣ中間端子と、
前記第２ローパスフィルターに接続される第２ＤＣ中間端子と、
をさらに備え、
前記第１ＤＵＴ端子と、前記第１ＤＣ中間端子と、前記第１ＲＦ端子と、前記第１ローパスフィルターと、前記第１ＲＦスイッチと、前記第２ＤＵＴ端子と、前記第２ＤＣ中間端子と、前記第２ＲＦ端子と、前記第２ローパスフィルターと、前記第２ＲＦスイッチとは、リレーモジュールとして、一体的にモジュール化されており、
前記第１ＤＣスイッチは、前記リレーモジュールの外部に配置され、前記第１ＤＣ中間端子に接続され、
前記第２ＤＣスイッチは、前記リレーモジュールの外部に配置され、前記第２ＤＣ中間端子に接続される、
請求項７に記載のスイッチング装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物に対する高周波特性を検査するＲＦ検査と、被測定物に対するＤＣ特性を検査するＤＣ検査とを切り替えるためのスイッチング装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置などの検査装置では、被測定物の高周波特性の検査（以下、ＲＦ検査という）と、直流電流の入力電圧や出力電圧などのＤＣ特性の検査（以下、ＤＣ検査と呼ぶ）とを切り替えるためのスイッチング装置が用いられる。スイッチング装置は、例えばＣ接点タイプのリレーを含む。スイッチング装置は、ＲＦ検査のときには、検査装置のＲＦ検査用の回路と、被測定物とを接続する。スイッチング装置は、ＤＣ検査のときには、検査装置のＤＣ検査用の回路と、被測定物とを接続する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１８４１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のスイッチング装置では、長期間の使用により、ＲＦ検査用の回路とＤＣ検査用の回路との接続の切り替え回数が多くなると、スイッチング装置の消耗によって、検査の精度が低下することがある。例えば、スイッチング装置がＣ接点タイプのリレーを含む場合には、リレーの接点の開閉回数が多くなることで、接点の接触抵抗が高くなることがある。その場合、ＤＣ検査の精度が低下してしまう。本発明の目的は、スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定を維持することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係るスイッチング装置は、ＲＦ検査とＤＣ検査とを切り替えるためのスイッチング装置である。スイッチング装置は、第１ＤＵＴ端子と、第１ＤＣ端子と、第１ＲＦ端子と、第１ローパスフィルターと、第１ＲＦスイッチと、第１ＤＣスイッチとを備える。第１ＤＵＴ端子は、被測定物用の端子である。第１ＤＣ端子は、ＤＣ検査用の端子である。第１ＲＦ端子は、ＲＦ検査用の端子である。第１ローパスフィルターは、第１ＤＵＴ端子と第１ＤＣ端子とに接続される。第１ＲＦスイッチは、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とに接続される。第１ＲＦスイッチは、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第１ＲＦスイッチは、オン状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に導通させる。第１ＲＦスイッチは、オフ状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に遮断する。第１ＤＣスイッチは、第１ローパスフィルターと第１ＤＣ端子とに接続される。第１ＤＣスイッチは、オン状態とオフ状態とに切り替え可能である。第１ＤＣスイッチは、オン状態で、第１ローパスフィルターと第１ＤＣ端子とを電気的に導通させる。第１ＤＣスイッチは、オフ状態で、第１ローパスフィルターと第１ＤＣ端子とを電気的に遮断する。
【０００６】
本態様に係るスイッチング装置では、第１ＲＦスイッチは、オン状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に導通させる。この状態では、ＲＦ検査用の信号（以下、ＲＦ信号と呼ぶ）は、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを通って、検査装置によって検出される。一方、ＲＦ信号はローパスフィルターにおいてカットされるため、ＲＦ信号が第１ＤＣ端子に流れることが防止される。
【０００７】
また、第１ＲＦスイッチは、オフ状態で、第１ＤＵＴ端子と第１ＲＦ端子とを電気的に遮断する。この状態では、ＤＣ検査用の信号（以下、ＤＣ信号と呼ぶ）が第１ＲＦ端子に流れることが防止される。ＤＣ信号は、第１ＤＵＴ端子とローパスフィルターと第１ＤＣ端子とを通って、検査装置によって検出される。従って、ＤＣ信号は、第１ＲＦスイッチを通らずに、検査装置によって検出される。それにより、第１ＲＦスイッチが消耗しても、安定的かつ高精度なＤＣ信号の測定が可能となる。以上より、本態様に係るスイッチング装置では、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定が維持される。
【０００８】
また、上述のように、第１ＲＦスイッチがオン状態で、ＲＦ信号はローパスフィルターにおいてカットされるが、第１ＤＣ端子に接続された検査装置の浮遊容量により、ＲＦ信号が劣化することが懸念される。しかし、本態様に係るスイッチング装置では、第１ＲＦスイッチがオン状態で、第１ＤＣスイッチがオフ状態とされることで、第１ＤＣ端子からの浮遊容量の影響が低減される。それにより、検査装置の浮遊容量によるＲＦ信号の劣化が抑えられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、スイッチング装置において、長期間の使用においても、安定的、且つ、高精度な測定が維持される。また、検査装置の浮遊容量によるＲＦ信号の劣化が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態に係るスイッチング装置の構成を示す図である。
第１実施形態の変形例に係るスイッチング装置を示す図である。
第２実施形態に係るスイッチング装置の構成を示す図である。
第２実施形態の変形例に係るスイッチング装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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