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公開番号2025126866
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-29
出願番号2024035383
出願日2024-02-19
発明の名称微小振動検出装置
出願人個人
代理人
主分類G01H 1/00 20060101AFI20250822BHJP(測定;試験)
要約【課題】微小振動を取り除く事が困難であった精密機械類を的確に、ほぼ無振動化する。
【解決手段】本発明の、各マイクロコイル1,2に、電圧が発生するのと同時に振動打ち消し増幅部で励起される電力で、振動方向の逆方向に適量駆動する事により、対象物は一定の位置を保ち続ける事が出来る。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
小形軽量磁石３とその動きを感知して発電する、磁石３とは僅かな空隙を持たせ、上下左右の４カ所に並べたマイクロコイル１、丸棒バネ６の先に取り付けた重り５とそれに取り付けた軽量高硬製のバー４で重り５の振幅を大きくして磁石３に伝える、高感度微小振動検出装置。
続きを表示（約 120 文字）【請求項２】
上下の垂直方向の振動を受ける振動版７と重り５、それらの振動の振幅を大きくする軽量高硬製バー４と、その先端に取り付けた磁石３とその動きによる磁気の変化を電気信号にかえる、上下に並べたマイクロコイル２による微小振動検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や電子顕微鏡などの、微小振動対策に適する。
続きを表示（約 420 文字）【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
本発明は、近年の半導体の小型高密度化の最大の障害になっている事の一つと思われる、微小振動の除去が難しいとされている事の対策です。
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明の微小振動検出部には、全体に小型軽量化をはかり、検出振幅の増大化と共に、磁気と電気の変換部のコイルを微小化する事とした。
【発明の効果】
【０００４】
本発明は、前後左右及び上下の全方向の微小振動を感知することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
本発明の全体を表す図であります。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
本発明は、耐震対策部分に接触して感知コイル１と２の各コイルからリ－ド線を引き出して、振動打ち消し電力増幅部に接続、振動を打ち消します。

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