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公開番号2025068854
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-30
出願番号2023178906
出願日2023-10-17
発明の名称欠陥検査装置
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類G01M 11/00 20060101AFI20250422BHJP(測定;試験)
要約【課題】センサの欠陥データを用いることなく、表示装置の欠陥を検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本開示の欠陥検査装置は、複数の画素が配列された表示装置の欠陥を検出する欠陥検査装置において、前記表示装置の前記画素の画像を取得する画像取得部と、前記画像取得部が取得した前記画像を基に前記表示装置の欠陥を判定する判定部と、を備え、前記画像取得部は、複数のセンサ画素によって前記表示装置の前記複数の画素の1画素の画像を取得する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の画素が配列された表示装置の欠陥を検出する欠陥検査装置において、
前記表示装置の前記画素の画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部が取得した前記画像を基に前記表示装置の欠陥を判定する判定部と、
を備え、
前記画像取得部は、複数のセンサ画素によって前記表示装置の前記複数の画素の１画素の画像を取得する
ことを特徴とする欠陥検査装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記判定部は、前記画像取得部が取得した前記画像に含まれる欠陥の大きさに基づいて、前記表示装置の欠陥と前記センサ画素の欠陥を区別することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
複数の画素が配列された表示装置の欠陥を検出する欠陥検査装置において、
センサ画素によって前記表示装置の前記画素の画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部が取得した前記画像における、前記表示装置の欠陥候補の位置を特定する特定部と、
前記表示装置の前記欠陥候補の位置に基づいて、前記表示装置の欠陥候補の輪郭を生成する輪郭生成部と、
前記輪郭の長さに基づいて、前記表示装置の欠陥候補から前記表示装置の欠陥を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項４】
前記画像取得部は、複数のセンサ画素によって前記表示装置の前記複数の画素の１画素の画像を取得することを特徴とする請求項３に記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、欠陥判定閾値を取得し、前記輪郭生成部が生成した前記輪郭の長さと前記欠陥判定閾値との比較を行い、前記比較の結果に基づいて前記表示装置の欠陥を判定することを特徴とする請求項３に記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記欠陥判定閾値は、前記画像取得部が取得した前記画像における前記表示装置の１画素の輪郭の長さであることを特徴とする請求項５に記載の欠陥検査装置。
【請求項７】
前記欠陥判定閾値は、視認可能な大きさの欠陥を前記判定部が判定できる輪郭の長さであることを特徴とする請求項５に記載の欠陥検査装置。
【請求項８】
前記判定部は、欠陥判定閾値を取得し、前記輪郭の長さが前記欠陥判定閾値以上である前記欠陥候補を表示装置の欠陥と判定することを特徴とする請求項３に記載の欠陥検査装置。
【請求項９】
前記判定部による前記表示装置の欠陥の判定の結果を通知する通知部をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の欠陥検査装置。
【請求項１０】
前記通知部は、前記画像取得部が取得した前記画像に、前記表示装置の欠陥または前記センサ画素の欠陥があることを通知することを特徴とする請求項９に記載の欠陥検査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、μＯＬＥＤなどの表示装置の欠陥検査装置、特に、表示装置の撮影画像から欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年の大判ＣＭＯＳセンサなどの固体撮像素子の高画素化に伴い、高画素なセンサを搭載したカメラで表示装置を検査画像として撮影し、その検査画像を欠陥検出プログラムで解析することで、高画素の表示装置の欠陥検査を行う手法が提案されている。ここで、検査画像を取得する際には、露光時間の長い、いわゆる長秒撮影が行われる。この場合、センサのダークレベルの欠陥の数がカメラに搭載されている欠陥補正が可能な数を上回ると、検査画像にセンサのダークレベルの欠陥に起因する異常なレベルの画素が映り込む。この結果、欠陥検出プログラムによって、当該画素がパネルの欠陥として誤検出されてしまう可能性がある。
【０００３】
そこで、特許文献１では、あらかじめ検査対象のパネルのダーク画像を撮影してセンサの画素欠陥データとしてメモリに格納しておき、検査画像の撮影時に画素欠陥データを差し引くことにより、センサの欠陥補正を行う技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平８－２０１２２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献1では、センサの欠陥データを取得および格納する工程や、デ
ータを格納するためのメモリが必要であり、このことがテスト時間の増大および検査装置の構成要素の増大を招いている。特に、パネルに複数種類の画像を表示させて検査する場合（例えば、Ｗｈｉｔｅ色、Ｒｅｄ色、Ｇｒｅｅｎ色、Ｂｌｕｅ色を表示）、画像ごとに撮影条件（露光時間）が異なるため、欠陥データを画像別に用意する必要がある。また、近年のパネルの高解像度化に伴い、カメラのセンサも高画素化しているため、欠陥データの生成に伴う問題が顕著になる。さらに、センサの読み出し時におけるＲＴＳ（ＲａｎｄｏｍＴｅｌｅｇｒａｐｈＳｉｇｎａｌ）ノイズは、検査画像または欠陥データに輝点（周辺よりレベルが高いセンサの画素欠陥）として現れるが補正できない。また、このノイズが欠陥データに現れた場合、欠陥補正時に欠陥データの画素値により過剰に差し引かれることで、疑似滅点（周辺よりレベルが低いセンサの画素欠陥）が発生する可能性がある。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、センサの欠陥データを用いることなく、表示装置の欠陥を検出することが可能な欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明に係る欠陥検査装置は、複数の画素が配列された表示装置の欠陥を検出する欠陥検査装置において、前記表示装置の前記画素の画像を取得する画像取得部と、前記画像取得部が取得した前記画像を基に前記表示装置の欠陥を判定する判定部と、を備え、前記画像取得部は、複数のセンサ画素によって前記表示装置の前記複数の画素の１画素の画像を取得することを特徴とする欠陥検査装置を含む。また、本発明に係る欠陥検査装置は、複数の画素が配列された表示装置の欠陥を検出する欠陥検査
装置において、センサ画素によって前記表示装置の前記画素の画像を取得する画像取得部と、前記画像取得部が取得した前記画像における、前記表示装置の欠陥候補の位置を特定する特定部と、前記表示装置の前記欠陥候補の位置に基づいて、前記表示装置の欠陥候補の輪郭を生成する輪郭生成部と、前記輪郭の長さに基づいて、前記表示装置の欠陥候補から前記表示装置の欠陥を判定する判定部と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【０００８】
また、上記の課題を解決するために、本発明に係る有機発光素子の製造方法は、有機発光素子による複数の画素が配列された表示装置の前記画素の画像を画像取得部によって取得する取得ステップと、前記画像取得部が取得した前記画像を基に前記表示装置の欠陥を判定する判定ステップと、を含み、前記取得ステップは、前記画像取得部の複数のセンサ画素によって表示装置の前記複数の画素の１画素の画像を取得することを特徴とする有機発光素子の製造方法を含む。また、本発明に係る有機発光素子の製造方法は、有機発光素子による複数の画素が配列された表示装置の前記画素の画像を画像取得部によって取得する取得ステップと、前記画像取得部が取得した前記画像における、前記表示装置の欠陥候補の位置を特定する特定ステップと、前記表示装置の前記欠陥候補の位置に基づいて、前記表示装置の欠陥候補の輪郭を生成する輪郭生成ステップと、前記輪郭の長さに基づいて、前記表示装置の欠陥候補から前記表示装置の欠陥を判定する判定ステップと、を含むことを特徴とする有機発光素子の製造方法を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、センサの欠陥データを用いることなく、低コストで検査時間が短くかつ高精度な欠陥検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態の欠陥検査装置の構成図
第１実施形態のアドレス生成部の構成図
第１実施形態の輪郭生成部の構成図
第１実施形態の判定部の構成図
第１実施形態の欠陥検査装置が実行する処理のフローチャートの例
第１実施形態の画像取得部で取得された表示装置の画像の例
第１実施形態のアドレス生成部で生成された２値化画像の例
第１実施形態の輪郭生成部で生成された輪郭データの例
第１実施形態の輪郭生成部で生成された表示装置の欠陥の輪郭データの例
第１実施形態輪郭生成部で生成されたセンサの欠陥の輪郭データの例
第１実施形態の輪郭生成部で生成された輪郭長８の輪郭データの例
第１実施形態の欠陥情報生成部で生成された欠陥情報の例
第２実施形態のアドレス生成部の構成図
第２実施形態の補完部による２値化画像の補完の例
第３実施形態の判定部の構成図
第３実施形態の判定部の判定結果出力を説明する図
第３実施形態の判定部の輪郭バッファモードを説明する図
一実施形態に係る表示装置の一例を表す図
一実施形態に係る撮像装置および電子機器の一例を表す図
一実施形態に係る表示装置の一例を表す図
一実施形態に係る照明装置および灯具を有する自動車の一例を示す図
一実施形態に係るウェアラブルデバイスの一例を示す図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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