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公開番号2025062635
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-15
出願番号2023171784
出願日2023-10-03
発明の名称湾曲矯正方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250408BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】山形に湾曲している板状物を適切に平坦に矯正することができる、板状物の矯正方法を提供する。
【解決手段】紫外線UVの照射によって収縮して硬化し板状物から比較的容易に剥離する第一の樹脂G1と、紫外線UVの照射によって収縮して硬化し板状物に比較的強固に付着する第二の樹脂G2と、を準備する樹脂準備工程と、湾曲して山形になった板状物の面の中央領域16aに第一の樹脂G1を塗布すると共に外周に塗布しない不塗布領域を形成するか、又は湾曲して山形になった板状物の面の外周領域16bに第二の樹脂G2を塗布すると共に中央に塗布しない不塗布領域を形成する第一の塗布工程と、第一の塗布工程の後、第一の樹脂G1及び第二の樹脂G2のうち、第一の塗布工程によって塗布された一方の樹脂と該不塗布領域を覆うように他方の樹脂を塗布する第二の塗布工程と、紫外線を照射して、該第一の樹脂と該第二の樹脂を収縮させて硬化する紫外線照射工程と、を含み構成される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
湾曲した板状物を平坦化する板状物の矯正方法であって、
紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物から比較的容易に剥離する第一の樹脂と、紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物に比較的強固に付着する第二の樹脂と、を準備する樹脂準備工程と、
湾曲して山形になった板状物の面の中央領域に該第一の樹脂を塗布すると共に外周領域に該第一の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成するか、又は湾曲して山形になった板状物の面の外周領域に該第二の樹脂を塗布すると共に中央領域に該第二の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成する第一の塗布工程と、
該第一の塗布工程の後、該第一の樹脂及び該第二の樹脂のうち、該第一の塗布工程によって塗布された一方の樹脂と該不塗布領域とを覆うように他方の樹脂を塗布する第二の塗布工程と、
紫外線を照射して、該第一の樹脂と該第二の樹脂を収縮させて硬化する紫外線照射工程と、
を含み構成される湾曲矯正方法。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
該第一の塗布工程において該板状物の面の中央領域に第一の樹脂を塗布した場合は、該第一の塗布工程の後、該紫外線照射工程を実施して該第一の樹脂を硬化し、その後、該第一の樹脂と外周領域の該不塗布領域を覆うように該第二の樹脂を塗布する該第二の塗布工程を実施すると共に該紫外線照射工程を実施して該第二の樹脂を収縮させて硬化する請求項１に記載の湾曲矯正方法。
【請求項３】
該第一の塗布工程において該板状物の面の外周領域に第二の樹脂を塗布した場合は、該第一の塗布工程の後、該紫外線照射工程を実施して該第二の樹脂を硬化し、その後、該第二の樹脂と該中央領域の該不塗布領域を覆うように該第一の樹脂を塗布する該第二の塗布工程を実施すると共に該紫外線照射工程を実施して該第一の樹脂を収縮させて硬化する請求項１に記載の湾曲矯正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、湾曲した板状物を平坦化する板状物の矯正方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、裏面が研削装置によって研削されて所望の厚みに形成された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、デバイスチップに対応する複数の領域を備えた配線基板に個々のデバイスチップの表面を対面させて配設し、その後デバイスチップの裏面全面に樹脂をモールドしてパッケージ基板を生成する技術が実用化されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－０３２４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、裏面側に樹脂をモールドしてパッケージ基板を生成した場合、樹脂が収縮することで裏面側に引張力が作用して表面側が山形に湾曲する。そして、このようなパッケージ基板の裏面を研削すべく、表面側をチャックテーブルに載置して全体を吸引保持する際に該湾曲が大きい場合は、該パッケージ基板の表面側がチャックテーブルに密着せず、適切に吸引保持できないという問題が生じる。
【０００６】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、山形に湾曲している板状物を適切に平坦に矯正することができる、板状物の矯正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、湾曲した板状物を平坦化する板状物の矯正方法であって、紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物から比較的容易に剥離する第一の樹脂と、紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物に比較的強固に付着する第二の樹脂と、を準備する樹脂準備工程と、湾曲して山形になった板状物の面の中央領域に該第一の樹脂を塗布すると共に外周領域に該第一の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成するか、又は湾曲して山形になった板状物の面の外周領域に該第二の樹脂を塗布すると共に中央領域に該第二の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成する第一の塗布工程と、該第一の塗布工程の後、該第一の樹脂及び該第二の樹脂のうち、該第一の塗布工程によって塗布された一方の樹脂と該不塗布領域とを覆うように他方の樹脂を塗布する第二の塗布工程と、紫外線を照射して、該第一の樹脂と該第二の樹脂を収縮させて硬化する紫外線照射工程と、を含み構成される湾曲矯正方法が提供される。
【０００８】
該第一の塗布工程において該板状物の面の中央領域に第一の樹脂を塗布した場合は、該第一の塗布工程の後、該紫外線照射工程を実施して該第一の樹脂を硬化し、その後、該第一の樹脂と外周領域の該不塗布領域を覆うように該第二の樹脂を塗布する該第二の塗布工程を実施すると共に該紫外線照射工程を実施して該第二の樹脂を収縮させて硬化することが好ましい。
【０００９】
該第一の塗布工程において該板状物の面の外周領域に第二の樹脂を塗布した場合は、該第一の塗布工程の後、該紫外線照射工程を実施して該第二の樹脂を硬化し、その後、該第二の樹脂と該中央領域の該不塗布領域を覆うように該第一の樹脂を塗布する該第二の塗布工程を実施すると共に該紫外線照射工程を実施して該第一の樹脂を収縮させて硬化することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の湾曲矯正方法は、紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物から比較的容易に剥離する第一の樹脂と、紫外線の照射によって収縮して硬化し板状物に比較的強固に付着する第二の樹脂と、を準備する樹脂準備工程と、湾曲して山形になった板状物の面の中央領域に該第一の樹脂を塗布すると共に外周領域に該第一の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成するか、又は湾曲して山形になった板状物の面の外周領域に該第二の樹脂を塗布すると共に中央領域に該第二の樹脂を塗布しない不塗布領域を形成する第一の塗布工程と、該第一の塗布工程の後、該第一の樹脂及び該第二の樹脂のうち、該第一の塗布工程によって塗布された一方の樹脂と該不塗布領域とを覆うように他方の樹脂を塗布する第二の塗布工程と、紫外線を照射して、該第一の樹脂と該第二の樹脂を収縮させて硬化する紫外線照射工程と、を含み構成されることから、板状物において表面側が山形に湾曲している場合であっても平坦に矯正することが可能であり、例えば、裏面側を研削する場合に、板状物が湾曲していることで、表面側をチャックテーブルに吸引しても適切に吸引保持できないという問題が解消する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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