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公開番号2025064095
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173560
出願日2023-10-05
発明の名称フランジ機構、切削装置及び切削ブレード
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250410BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削ブレードの着脱を容易に行うことができること。
【解決手段】フランジ機構24は、切削ブレード21の中央孔251に一端288側から挿入されるボス部281と、ボス部281の他端289から径方向外側に突出したフランジ部282と、を含み、ボス部281には一端288から他端289側に向かって拡径した拡径部286が形成され、スピンドル23の先端部231に着脱自在に固定されるフランジ本体28と、ボス部281の拡径部286を囲繞するよう配設され、ボス部281が挿入された切削ブレード21の中央孔251の内周とボス部281との間に介在する弾性筒体29と、を備え、弾性筒体29は、拡径部286の一端288側に位置づけられることで縮径する切削ブレード着脱位置と、拡径部286の他端289側に位置づけられることで拡径する切削ブレード固定位置と、にそれぞれ位置づけられる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
中央に中央孔が形成されるとともに外周に切り刃を有した切削ブレードをスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、
該切削ブレードの該中央孔に一端側から挿入されるボス部と、該ボス部の他端から径方向外側に突出し該切削ブレードに当接する当接部を有したフランジ部と、を含み、該ボス部には該一端から該他端側に向かって拡径した拡径部が形成され、該スピンドルの先端に着脱自在に固定されるフランジ本体と、
該ボス部の該拡径部を囲繞するよう配設され、該ボス部が挿入された該切削ブレードの該中央孔の内周と該ボス部との間に介在する弾性筒体と、を備え、
該弾性筒体は、該拡径部の該一端側に位置づけられることで縮径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面との間に間隙が形成される切削ブレード着脱位置と、該拡径部の該他端側に位置づけられることで拡径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面とが当接した切削ブレード固定位置と、にそれぞれ位置づけられるように該一端側と該他端側の間で移動自在に構成される、フランジ機構。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
該弾性筒体を該一端側と該他端側の間で移動させる移動部材を更に備えた、請求項１に記載のフランジ機構。
【請求項３】
切削装置であって、
被加工物を保持する保持ユニットと、
該保持ユニットで保持された被加工物を切削する切り刃を外周に有し中央に中央孔が形成された切削ブレードが装着されるスピンドルと該スピンドルに該切削ブレードを装着するフランジ機構とを有した切削ユニットと、を備え、
該フランジ機構は、該切削ブレードの該中央孔に一端側から挿入されるボス部と、該ボス部の他端から径方向外側に突出し該切削ブレードに当接する当接部を有したフランジ部と、を含み、該ボス部には該一端から該他端側に向かって拡径した拡径部が形成され、該スピンドルの先端に着脱自在に固定されるフランジ本体と、
該ボス部の該拡径部を囲繞するよう配設され、該ボス部が挿入された該切削ブレードの該中央孔の内周と該ボス部との間に介在する弾性筒体と、を備え、
該弾性筒体は、該拡径部の該一端側に位置づけられることで縮径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面との間に間隙が形成される切削ブレード着脱位置と、該拡径部の該他端側に位置づけられることで拡径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面とが当接した切削ブレード固定位置と、にそれぞれ位置づけられるように該一端側と該他端側の間で移動自在に構成された、切削装置。
【請求項４】
該フランジ機構は、該弾性筒体を該一端側と該他端側の間で移動させる移動部材を更に備えた、請求項３記載の切削装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載のスピンドルに装着される切削ブレードであって、
環状基台と、
該環状基台の外径よりも大きい外径を有した環状の砥石からなる切り刃と、
該切り刃の内周側を着脱自在に保持する保持部と該環状基台に係合する係合部とを有した接合部材と、を備えた切削ブレード。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フランジ機構、切削装置及び切削ブレードに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では、半導体ウェーハを切削する切削ブレードを有した切削装置が広く利用されている。切削ブレードは、フランジ機構を用いてスピンドルに装着されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１等に記載されたフランジ機構は、切削ブレードの中央孔に挿入されるボス部を含みスピンドルに固定されるフランジ本体（固定フランジ）を有している。特許文献１等に記載されたフランジ機構は、ワッシャーブレードの場合、着脱フランジ及びナットからなる固定具、ハブブレードの場合、ナットからなる固定具とフランジ本体とで切削ブレードを挟持した状態で切削ブレードをスピンドル先端に固定している。
【０００４】
従来、切削ブレードをフランジ機構に対して着脱する際には固定具の取付け、取り外しが必要であり、改善が切望されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１３－１１０３５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１等に記載されたフランジ機構は、切削ブレードをフランジ機構に対して着脱する際には固定具の取付け、取り外しが必要であり、改善が切望されている。
【０００７】
本発明の目的は、切削ブレードの着脱を容易に行うことができるフランジ機構、切削装置及び切削ブレードを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のフランジ機構は、中央に中央孔が形成されるとともに外周に切り刃を有した切削ブレードをスピンドルに装着するためのフランジ機構であって、該切削ブレードの該中央孔に一端側から挿入されるボス部と、該ボス部の他端から径方向外側に突出し該切削ブレードに当接する当接部を有したフランジ部と、を含み、該ボス部には該一端から該他端側に向かって拡径した拡径部が形成され、該スピンドルの先端に着脱自在に固定されるフランジ本体と、該ボス部の該拡径部を囲繞するよう配設され、該ボス部が挿入された該切削ブレードの該中央孔の内周と該ボス部との間に介在する弾性筒体と、を備え、該弾性筒体は、該拡径部の該一端側に位置づけられることで縮径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面との間に間隙が形成される切削ブレード着脱位置と、該拡径部の該他端側に位置づけられることで拡径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面とが当接した切削ブレード固定位置と、にそれぞれ位置づけられるように該一端側と該他端側の間で移動自在に構成されることを特徴とする。
【０００９】
前記フランジ機構では、該弾性筒体を該一端側と該他端側の間で移動させる移動部材を更に備えても良い。
【００１０】
本発明の切削装置は、切削装置であって、被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物を切削する切り刃を外周に有し中央に中央孔が形成された切削ブレードが装着されるスピンドルと該スピンドルに該切削ブレードを装着するフランジ機構とを有した切削ユニットと、を備え、該フランジ機構は、該切削ブレードの該中央孔に一端側から挿入されるボス部と、該ボス部の他端から径方向外側に突出し該切削ブレードに当接する当接部を有したフランジ部と、を含み、該ボス部には該一端から該他端側に向かって拡径した拡径部が形成され、該スピンドルの先端に着脱自在に固定されるフランジ本体と、該ボス部の該拡径部を囲繞するよう配設され、該ボス部が挿入された該切削ブレードの該中央孔の内周と該ボス部との間に介在する弾性筒体と、を備え、該弾性筒体は、該拡径部の該一端側に位置づけられることで縮径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面との間に間隙が形成される切削ブレード着脱位置と、該拡径部の該他端側に位置づけられることで拡径し該切削ブレードの該中央孔の内周と該弾性筒体の外周面とが当接した切削ブレード固定位置と、にそれぞれ位置づけられるように該一端側と該他端側の間で移動自在に構成されたことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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