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公開番号2024173429
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023091841
出願日2023-06-02
発明の名称洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄中の洗浄液の飛散を抑制することができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置70は、保持面で板状物を保持する保持テーブルと、延在方向に貫通孔731を備える柱状のスポンジ材73と、板状物に洗浄液75を供給する洗浄ノズル74と、を有して保持テーブルに保持された板状物を洗浄する洗浄機構71と、保持テーブルと洗浄機構71とを保持面に平行な方向に相対的に移動させる移動機構と、を備え、洗浄ノズル74は、スポンジ材73の貫通孔731内に配設され、洗浄ノズル74から洗浄液75を板状物に対して供給しながらスポンジ材73の底面732を板状物に接触させた状態で移動機構によって保持テーブルと洗浄機構71とを相対的に移動させることでスポンジ材73によって板状物を擦って洗浄する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を洗浄する洗浄装置であって、
保持面で該板状物を保持する保持テーブルと、
延在方向に貫通孔を備える柱状のスポンジ材と、該板状物に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、を有して該保持テーブルに保持された該板状物を洗浄する洗浄機構と、
該保持テーブルと該洗浄機構とを該保持面に平行な方向に相対的に移動させる移動機構と、
を備え、
該洗浄機構の該洗浄ノズルは、該スポンジ材の該貫通孔内に配設され、該洗浄ノズルから該洗浄液を該板状物に対して供給しながら該スポンジ材の底面を該板状物に接触させた状態で該移動機構によって該保持テーブルと該洗浄機構とを相対的に移動させることで該スポンジ材によって該板状物を擦って洗浄する洗浄装置。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該洗浄液は、エアと水とを混合させた混合液であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
該スポンジ材は、該貫通孔と連通して該スポンジ材の該底面側の側面で開口する該洗浄液の排出口を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を洗浄する洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、研削装置は、保持テーブルの保持面で保持する板状物又は保持テーブルの保持面を洗浄する洗浄装置を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－０２７９２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
洗浄装置の洗浄機構は、ポリウレタン等の樹脂からなるスポンジ洗浄部材と被洗浄物やスポンジ洗浄部材に洗浄水を供給する洗浄水ノズルとから構成される。このような洗浄機構において、洗浄効率を上げるために、洗浄水ノズルからエアと水とを混合させた混合液を噴射して被洗浄物を洗浄することがある。
【０００５】
このような混合液は、ミスト化するが、洗浄装置内でミストが舞って洗浄装置のチャンバーの天井や側壁等に混合液が付着する。被洗浄物の洗浄及び乾燥後に天井等に付着した混合液が被洗浄物に再付着してしまうと被洗浄物にウォーターマークを形成するなどの問題が生じる。
【０００６】
そのため、スポンジ材と洗浄ノズルから供給される洗浄液とで板状物を洗浄する洗浄装置において、板状物に供給した洗浄液が洗浄装置内に撒き散らさないよう構成された洗浄装置を提供すべきという課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、洗浄中の洗浄液の飛散を抑制することができる洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の洗浄装置は、板状物を洗浄する洗浄装置であって、保持面で該板状物を保持する保持テーブルと、延在方向に貫通孔を備える柱状のスポンジ材と、該板状物に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、を有して該保持テーブルに保持された該板状物を洗浄する洗浄機構と、該保持テーブルと該洗浄機構とを該保持面に平行な方向に相対的に移動させる移動機構と、を備え、該洗浄機構の該洗浄ノズルは、該スポンジ材の該貫通孔内に配設され、該洗浄ノズルから該洗浄液を該板状物に対して供給しながら該スポンジ材の底面を該板状物に接触させた状態で該移動機構によって該保持テーブルと該洗浄機構とを相対的に移動させることで該スポンジ材によって該板状物を擦って洗浄することを特徴とする。
【０００９】
前記洗浄装置において、該洗浄液は、エアと水とを混合させた混合液でも良い。
【００１０】
前記洗浄装置において、該スポンジ材は、該貫通孔と連通して該スポンジ材の該底面側の側面で開口する該洗浄液の排出口を有しても良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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