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公開番号2024177071
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2024071442
出願日2024-04-25
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241212BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワーク処理装置が設置されるルーム内やルーム内を走行する搬送車のカセット内をパーティクルカウンタにより測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置を柔軟に変更できる搬送システムを提供する事。
【解決手段】搬送システム1において、搬送車10は、カセットと昇降ユニットとパーティクルカウンタ15とを有し、制御ユニット40は、走行路20の任意の位置でパーティクルカウンタ15に空気中の微粒子の数を測定させる測定部41と、パーティクルカウンタ15で測定した日時と位置と結果と含む測定情報を記録する第1記録部42と、ワーク処理装置100の位置と稼働履歴とを含む処理情報を記録する第2記録部43と、パーティクルカウンタ15の測定日時と測定日時においてそれぞれのワーク処理装置100が何を実施していたかを示す稼働履歴とを紐付けるデータ紐付け部44とを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワーク処理装置と、
該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、
該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、
制御ユニットと、
を備える搬送システムであって、
該搬送車は、
該物品を収容するカセットと、
該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、
パーティクルカウンタと、を有し、
該制御ユニットは、
該走行路の任意の位置で該パーティクルカウンタに空気中の微粒子の数を測定させる測定部と、
該パーティクルカウンタで測定した日時と、位置と、結果と、含む測定情報を記録する第１記録部と、
該ワーク処理装置の位置と、稼働履歴と、を含む処理情報を記録する第２記録部と、
該パーティクルカウンタの測定日時と、該測定日時においてそれぞれの該ワーク処理装置が何を実施していたかを示す該稼働履歴と、を紐付けるデータ紐付け部と、
を有する搬送システム。
続きを表示（約 220 文字）【請求項２】
該制御ユニットは、該走行路と、該パーティクルカウンタの測定位置と、該ワーク処理装置の位置と、を紐付けて同一のマップ上に表示する請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
該パーティクルカウンタは、該ワーク処理装置が設置されるルーム内の微粒子の数を測定する請求項１に記載の搬送システム。
【請求項４】
該パーティクルカウンタは、該カセット内の微粒子の数を測定する請求項１に記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品をワーク処理装置の上方に設置された走行路を走行する搬送車によって搬送する搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の処理装置に搬送車（自動搬送車）によって、ワークや加工工具、加工に使用する消耗品などの物品を搬送する搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワーク処理装置が設置されるルームは、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数が所望する値以下になるように管理することが求められている。従来は、ルーム内にパーティクルカウンタを固定するか、オペレータが任意の場所にハンディパーティクルカウンタを持って測定する等により、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数の監視をしている。しかしながら、パーティクルカウンタを固定した位置しか測定する事ができないという問題があったり、オペレータによる作業が必要となってしまうという問題があったりした。
【０００５】
また、搬送車が走行するルームやルーム内における位置によって、搬送車が物品を収容するカセット内に浮遊する微粒子のサイズや個数が変化するので、この微粒子のサイズや個数が所望する値以下になるように管理することが求められている。従来は、オペレータがルーム内の任意の箇所に位置した搬送車のカセット内をハンディパーティクルカウンタで測定したり、特定の場所にパーティクルカウンタを設置しそこに位置付けられた搬送車のカセット内を測定したりする等により、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数の監視をしている。しかしながら、オペレータによる作業が必要となる問題や、パーティクルカウンタを固定した位置に置いてしか測定する事ができないという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワーク処理装置が設置されるルーム内やルーム内を走行する搬送車のカセット内をパーティクルカウンタにより測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置を柔軟に変更できる搬送システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送システムは、ワーク処理装置と、該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える搬送システムであって、該搬送車は、該物品を収容するカセットと、該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、パーティクルカウンタと、を有し、該制御ユニットは、該走行路の任意の位置で該パーティクルカウンタに空気中の微粒子の数を測定させる測定部と、該パーティクルカウンタで測定した日時と、位置と、結果と、含む測定情報を記録する第１記録部と、該ワーク処理装置の位置と、稼働履歴と、を含む処理情報を記録する第２記録部と、該パーティクルカウンタの測定日時と、該測定日時においてそれぞれの該ワーク処理装置が何を実施していたかを示す該稼働履歴と、を紐付けるデータ紐付け部と、を有するものである。
【０００８】
該制御ユニットは、該走行路と、該パーティクルカウンタの測定位置と、該ワーク処理装置の位置と、を紐付けて同一のマップ上に表示してもよい。
【０００９】
該パーティクルカウンタは、該ワーク処理装置が設置されるルーム内の微粒子の数を測定してもよい。
【００１０】
該パーティクルカウンタは、該カセット内の微粒子の数を測定してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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