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公開番号2025014960
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117962
出願日2023-07-20
発明の名称液封式ポンプ
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類F04C 27/00 20060101AFI20250123BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】メカニカルシールの劣化を抑制し、メカニカルシールからの液漏れを防止できる液封式ポンプを提供する。
【解決手段】インペラ(12)と封液とが収容される第1収容部(16)と、インペラの回転軸(13)の周りをシールするメカニカルシール(24)が配置される第2収容部(17)と、インペラを回転させるモータ(15)と、第1収容部に連通する吸引口(19)と、第1収容部に連通して封液を排出する排出口(20)と、第1収容部に連通して封液として使われる循環水が供給される循環水供給口(18)と、を備え、補給水を、第1収容部を経由せず、第2収容部に直接供給することで、第1収容部内の異物を含んだ封液がメカニカルシールに浸入することを抑制する液封式ポンプ(10)。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液封式ポンプであって、
インペラと封液と、が収容される第１収容部と、
該インペラの回転軸の周りをシールするメカニカルシールが配置される第２収容部と、
インペラを回転させるモータと、
該第１収容部に連通する吸引口と、
該第１収容部に連通し、該封液を排出する排出口と、
該第１収容部に連通し、該封液として使われる循環水が供給される循環水供給口と、を備え、
補給水を、該第１収容部を経由せず、該第２収容部に直接供給することで、該第１収容部内の異物を含んだ該封液が該メカニカルシールに浸入することを抑制する液封式ポンプ。
続きを表示（約 60 文字）【請求項２】
該補給液は、該２収容部から該１収容部に流入する、
請求項１に記載の液封式ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液封式ポンプに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ケーシング内にインペラ（羽根車）を備え、ケーシング内に封液を入れてインペラを回転させて流体の吸入と排出を行うことで吸引力を発生させる液封式ポンプが知られている（例えば、特許文献１、２）。この種の液封式ポンプは、様々な用途で使用されており、例えば、加工装置において保持テーブルに被加工物を吸引保持するための吸引力を発生させるポンプとして適用される。
【０００３】
液封式ポンプの構成の一例として、ケーシングには、封液となる循環液を供給する循環液供給口と、補給液を補給する補給液供給口、吸引口、排出口、などが接続しており、インペラの回転によってケーシング内で封液を移動させることによって、吸引口から流体（空気、水など）を吸引し、吸引した流体を含んだ封液を排出口から排出する。循環液は液封式ポンプと循環水供給源との間を循環するうちに徐々に減少し、補給液の供給によって循環液の減少分が補われる。
【０００４】
多くの液封式ポンプにおいては、インペラの回転軸がケーシングの外部に突出してモータに接続している。ケーシングに形成した貫通孔を回転軸が貫通する構造であるため、回転軸の回転を許容しながらも、ケーシング内の封液などの流体が貫通孔を通して外部に漏出（液漏れ）することを防ぐ構成が求められる。このような要求を満たすものとして、メカニカルシールが知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２３－０５３４３２号公報
特開平５－０１８３８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
メカニカルシールは、ケーシングに取り付けられる固定環と、回転軸に取り付けられる回転環と、を備え、固定環と回転環が摺動可能に接する互いの摺動面の間に液膜を形成することによって、回転軸が回転する際のシール性を得ている。従って、固定環と回転環の位置関係を精密に管理する必要があり、互いの摺動面の間隔や面精度が適切な条件を満たさなくなると、液膜の形成が阻害されてシール性が損なわれてしまう。
【０００７】
加工に際して加工屑などの異物を発生させる加工装置に液封式ポンプを接続した場合、異物が混入した流体が吸引口から吸引され、ケーシング内の封液に異物が含まれた状態になる。そして、異物を含んだ封液がメカニカルシールに浸入すると、異物によって、適切な液膜の形成が阻害されてしまい、メカニカルシールの摺動面部分に摩擦や発熱に起因するクラックが発生し、液封式ポンプからの液漏れに繋がるという問題があった。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、メカニカルシールの劣化を抑制し、メカニカルシールからの液漏れを防止できる液封式ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係る液封式ポンプは、インペラと封液と、が収容される第１収容部と、該インペラの回転軸の周りをシールするメカニカルシールが配置される第２収容部と、インペラを回転させるモータと、該第１収容部に連通する吸引口と、該第１収容部に連通し、該封液を排出する排出口と、該第１収容部に連通し、該封液として使われる循環水が供給される循環水供給口と、を備え、補給水を、該第１収容部を経由せず、該第２収容部に直接供給することで、該第１収容部内の異物を含んだ該封液が該メカニカルシールに浸入することを抑制する。
【００１０】
該補給液は、該２収容部から該１収容部に流入することが好ましい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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