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公開番号2024176741
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023095518
出願日2023-06-09
発明の名称真空ポンプ
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20241212BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供すること。
【解決手段】真空ポンプ1は、真空ポンプ本体100と、底固定板120と、を備える。真空ポンプ本体100は、底面31と、側面32と、を有する。側面32は、底面31から形成されたポンプ側平面34を含む。底固定板120は、真空ポンプ本体100の底面31と締結される。底固定板120は、ポンプ側平面34と対向する固定側平面56aを有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
底面と、前記底面から形成された第１平面を含む側面と、を有する真空ポンプ本体と、
前記真空ポンプ本体の前記底面と締結される底固定部材と、を備え、
前記底固定部材は、前記第１平面と対向する第２平面を有する、
真空ポンプ。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記底固定部材は、前記真空ポンプ本体の前記底面が嵌る凹部を有し、
前記凹部は、前記底面が載置される載置面と、前記載置面の周囲に配置された内周面と、を有し、
前記第２平面は、前記内周面に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記底面と前記底固定部材は、第１締結部材によって締結されており、
前記第１締結部材は、前記第１平面と平行に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記底固定部材は、前記底面よりも外側において固定対象物と第２締結部材によって締結されており、
前記第２締結部材は、前記第１平面と平行に配置されている、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記底固定部材は、前記第２締結部材が通る貫通孔を有し、
前記第２締結部材は、前記貫通孔を通って前記固定対象物に挿入され、
前記第１平面と前記第２平面との間の隙間は、前記貫通孔の内周面と前記第２締結部材の間の隙間より小さい、
請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
固定対象物に締結される底面と、
前記底面から形成された第１平面を有する側面と、を備え、
前記固定対象物に前記底面が締結された状態において、前記第１平面は、前記固定対象物に形成された第２平面と対向する、
真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等の分野において、高真空雰囲気にするために真空ポンプの一種であるターボ分子ポンプが用いられている。ターボ分子ポンプでは、ロータがケーシング内で高速回転するため、ロータが破壊した際のエネルギーが、ターボ分子ポンプを接続する装置側に伝わりにくいようにすることを目的として、フランジ部の変形によって吸収する構造が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、真空ポンプのロータ破壊時の衝撃に対する強度を確保するために、上記特許文献１のようにフランジが設けられた上面側とともに、底面側も固定する場合がある。底面側の固定構造として、例えば、真空ポンプ本体が底固定板にポンプ固定ボルトで締結され、底固定板が固定対象物に底固定ボルトで締結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－００３０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、底固定ボルトには破壊トルクの衝撃に耐えうる強度確保が必要となるため、ボルトの本数、ボルトの強度、およびボルトピッチ円直径の大きさの確保が必要となり、底面側の固定構造が大型化していた。
【０００６】
本発明は、底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に係る真空ポンプは、真空ポンプ本体と、底固定部材と、を備える。真空ポンプ本体は、底面と、側面と、を有する。側面は、底面から形成された第１平面を含む。底固定部材は、真空ポンプ本体の底面と締結される。底固定部材は、第１平面と対向する第２平面を有する。
【０００８】
本発明の第２の態様に係る真空ポンプは、底面と、側面とを備える。底面は、固定対象物に締結される。側面は、底面から形成された第１平面を有する。固定対象物に底面が締結された状態において、第１平面は、固定対象物に形成された第２平面と対向する。
【発明の効果】
【０００９】
上述した本発明の態様によれば、真空ポンプの底面側の固定構造を小型化することが可能な真空ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る実施形態の真空ポンプの正面図である。
本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体の内部構成を示す図である。
本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体のベースの近傍および底側固定構造を示す斜視図である。
（ａ）本発明に係る実施形態の真空ポンプ本体の底面図である。（ｂ）図４（ａ）のＢ拡大図である。
本発明に係る実施形態の底固定板の斜視図である。
（ａ）本発明に係る実施形態の底固定板の上面図である。（ｂ）図６（ａ）のＣ部拡大図である。
（ａ）本発明に係る実施形態の真空ポンプのポンプ側平面と固定側平面との位置関係を示す模式平面図である。（ｂ）図７（ａ）を矢印Ｅに沿って視た模式図である。
本発明に係る実施形態の変形例の底固板の斜視図である。
本発明に係る実施形態の変形例の真空ポンプの正面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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