特許ウォッチ

公開番号2025011941
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114400
出願日2023-07-12
発明の名称搬送方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被搬送物の反りを抑制し、かつ、被搬送物を受け渡される保持機構の損傷を防止できる搬送方法を提供する。
【解決手段】被搬送物(11)の中央領域を保持する第一保持部(30)と、中央領域を囲繞する外周領域を保持する第二保持部(31)と、第一保持部を被搬送物の面と交差する交差方向に移動させる第一移動部(34)と、第二保持部を交差方向に移動させる第二移動部(35)と、を有する搬送装置(10)によって被搬送物を搬送する際に、被搬送物の反りに合わせて、第一保持部と第二保持部とによって被搬送物を保持する保持ステップと、保持ステップ後、被搬送物の反りを矯正するように、第一保持部と第二保持部との交差方向の位置関係を調整する反り矯正ステップと、を行う。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
搬送装置によって被搬送物を搬送する搬送方法であって、
該搬送装置は、
該被搬送物の中央領域を保持する第一保持部と、
該中央領域を囲繞する外周領域を保持する第二保持部と、
該第一保持部を該被搬送物の面と交差する交差方向に移動させる第一移動部と、
該第二保持部を該交差方向に移動させる第二移動部と、
を有し、
該被搬送物の反りに合わせて、該第一保持部と、該第二保持部と、によって該被搬送物を保持する保持ステップと、
該保持ステップ後、該被搬送物の反りを矯正するように、該第一保持部と、該第二保持部との該交差方向の位置関係を調整する反り矯正ステップと、を備える搬送方法。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
該反り矯正ステップの後、該被搬送物を任意の保持機構に受け渡す受け渡しステップ、を備える請求項１に記載の搬送方法。
【請求項３】
該第一保持部は、第一吸着パッドを有し、
該第二保持部は、第二吸着パッドを有する請求項１または２に記載の搬送方法。
【請求項４】
該反り矯正ステップの後、かつ、該受け渡しステップの前に、
該搬送装置に保持されている面と反対の面を洗浄する洗浄ステップをさらに備える請求項２に記載の搬送方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送する搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
切削装置や研削装置などの加工装置では、ウエーハやパッケージ基板などの被搬送物を搬送して保持テーブルに載置するが、元は平坦な形状である被搬送物に反りが発生している場合がある。例えば、ウエーハにおいて、分割予定ラインに沿って改質層を形成した場合には、改質層からクラックが延びる側で面積が広がりやすくなるため、ウエーハの反りが生じやすい。また、樹脂封止されたパッケージ基板は、支持基台と封止材（樹脂）との収縮率の差により、反りが生じやすい。
【０００３】
被搬送物が反った状態では、加工装置において適切な加工を行うことができないため、被搬送物の反りを解消して加工装置の保持テーブルに保持させる必要がある。反りのある被搬送物を保持テーブルに搬送する際に、被搬送物が反った状態のまま搬送装置によって保持し、保持テーブルに載置する際に、反った被搬送物を、搬送装置から保持テーブルに強く押し付けて、被搬送物を平坦な形状にさせる搬送方法が知られている。（例えば、特許文献１、２）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１８８１９５号公報
特開２０１４－１５０２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような従来の搬送方法では、反った保持テーブルに被搬送物を押し付けて反りを解消させる際に、保持テーブルに強い負荷が加わって保持テーブルを傷つけるおそれがあった。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、被搬送物の反りを抑制し、かつ、被搬送物を受け渡される保持機構の損傷を防止できる搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、搬送装置によって被搬送物を搬送する搬送方法であって、該搬送装置は、該被搬送物の中央領域を保持する第一保持部と、該中央領域を囲繞する外周領域を保持する第二保持部と、該第一保持部を該被搬送物の面と交差する交差方向に移動させる第一移動部と、該第二保持部を該交差方向に移動させる第二移動部と、を有し、該被搬送物の反りに合わせて、該第一保持部と、該第二保持部と、によって該被搬送物を保持する保持ステップと、該保持ステップ後、該被搬送物の反りを矯正するように、該第一保持部と、該第二保持部との該交差方向の位置関係を調整する反り矯正ステップと、を備える。
【０００８】
該反り矯正ステップの後、被搬送物を任意の保持機構に受け渡す受け渡しステップを備える。
【０００９】
該第一保持部は、第一吸着パッドを有し、該第二保持部は、第二吸着パッドを有することが好ましい。
【００１０】
該反り矯正ステップの後、かつ、該受け渡しステップの前に、該搬送装置に保持されている面と反対の面を洗浄する洗浄ステップをさらに備えてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許